一种空中运输小车的行走定位控制装置和方法制造方法及图纸

本说明书提供一种空中运输小车的行走定位控制装置和方法，应用于半导体晶圆传送控制技术领域。其中，空中运输小车的行走定位控制装置包括：标定板和图像采集装置；标定板设置在轨道第一侧的下方，标定板上设置有识别标识，识别标识用于在图像采集装置中形成对应的站点位置信息；图像采集装置设置在行走基板第一侧的上方，其中，行走基板第一侧在轨道第一侧下方的预设位置，图像采集装置被配置为执行以下操作：获取标定板上的识别标识；对识别标识进行数据处理，确定识别标识在图像采集装置中对应的站点位置信息。通过使用图像采集装置解析空中运输小车的位置信息，使得更为直观的得到空中运输小车与站点信息的位置关系。得到空中运输小车与站点信息的位置关系。得到空中运输小车与站点信息的位置关系。

【技术实现步骤摘要】
一种空中运输小车的行走定位控制装置和方法


[0001]本说明书涉及半导体晶圆传送控制
，具体涉及一种空中运输小车的行走定位控制装置和方法。

技术介绍

[0002]在半导体制造企业中，通常使用空中运输小车来搬运晶圆盒，较重要的步骤便在于对空中运输小车的定位。然而，在现有技术中，一般通过条码读头和反射传感器的配合，确定站点位置信息，但在实际使用过程中，反射传感器对环境的适应性比较差，并且通过发射传感器读取站点位置信息的数据显示不直观。
[0003]基于以上，本申请提供了解决以上技术问题的技术方案。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术提供一种空中运输小车的行走定位控制装置和方法，以更直观的视觉识别判断站点位置信息，使得在对晶圆的搬运过程中，空中运输小车的实时定位信息与站点位置信息的匹配数据更精确，信息数据的比较更为直观，提高了空中运输的位置精确性。
[0005]本说明书实施例提供以下技术方案：
[0006]本说明书实施例提供一种空中运输小车的行走定位控制装置，应用于自动晶圆搬运系统中，其中，空本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种空中运输小车的行走定位控制装置，应用于半导体晶圆传送系统中，其特征在于，所述空中运输小车的行走定位控制装置包括：标定板和图像采集装置；所述标定板设置在轨道第一侧的下方，所述标定板上设置有识别标识，所述识别标识用于在所述图像采集装置中形成对应的站点位置信息；所述图像采集装置设置在所述行走基板第一侧的上方，其中，所述行走基板第一侧在所述轨道第一侧下方的预设位置，所述图像采集装置被配置为执行以下操作：获取所述标定板上的识别标识；对所述识别标识进行数据处理，确定所述识别标识在所述图像采集装置中对应的站点位置信息。2.根据权利要求1所述的空中运输小车的行走定位控制装置，其特征在于，所述图像采集装置包括图象处理软件，所述图像处理软件被配置为执行以下操作：预先存储所述轨道上的各个站点位置信息；对所述识别标识进行解析并分析所述识别标识是否包含预先存储的所述轨道上的各个站点位置信息。3.根据权利要求1所述的空中运输小车的行走定位控制装置，其特征在于，所述图像采集装置还包括：光源、相机和视觉处理模块，其中，所述光源安装在所述相机的周围，所述视觉处理模块安装在所述相机的一侧，所述相机朝向所述标定板的方向设置。4.根据权利要求1述的空中运输小车的行走定位控制装置，其特征在于，所述标定板包括两块相互垂直的带有标记的板子。5.根据权利要求1所述的空中运输小车的行走定位控制装置，其特征在于，所述空中运输小车的行走定位控制装置还包括：条码模块和条码定位传感器；所述条码模块设置在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭璜，缪峰，
申请(专利权)人：弥费实业上海有限公司，
类型：发明
国别省市：