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本说明书提供一种空中运输小车的行走定位控制装置和方法，应用于半导体晶圆传送控制技术领域。其中，空中运输小车的行走定位控制装置包括：标定板和图像采集装置；标定板设置在轨道第一侧的下方，标定板上设置有识别标识，识别标识用于在图像采集装置中形成对...
该专利属于弥费实业（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过弥费实业（上海）有限公司授权不得商用。

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