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本实用新型提供了一种智能洁净缓存设备，包括：支架；安装座，具有安装空间并吊设在支架上端；载盘，设置在安装空间内，载盘设置有进气口组和出气口组，进气口组的开口和出气口组的开口均朝向晶圆传送盒；进气管路，设置在载盘下表面，进气管路包括隔膜阀和层...
该专利属于弥费实业（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过弥费实业（上海）有限公司授权不得商用。

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