一种晶舟装载器及传片系统技术方案

本发明专利技术公开了一种晶舟装载器及传片系统，涉及半导体技术领域。该晶舟装载器包括存片仓及活动门组件，存片仓设置有仓口，活动门组件包括门框、第一驱动件、支撑件、第二驱动件及门体，门框与存片仓连接，第一驱动件设置于门框内并与支撑件连接，第二驱动件设置于支撑件上并与门体连接，第一驱动件用于驱动支撑件在第一方向上运动，以使支撑件带动门体运动至与仓口在第二方向上对齐或错位，第二驱动件用于驱动门体相对支撑件在第二方向上运动，以使门体封盖仓口或解除对仓口的封盖。本发明专利技术提供的晶舟装载器能够自动开启或关闭仓门，提升传片效率，密封性更佳。密封性更佳。密封性更佳。

【技术实现步骤摘要】
一种晶舟装载器及传片系统


[0001]本专利技术涉及半导体
，具体而言，涉及一种晶舟装载器及传片系统。

技术介绍

[0002]目前，晶舟装载器（Vacuum Cassette Elevator，VCE）的存片仓用于建立一定程度的真空环境存放晶片。
[0003]目前，市面上的晶舟装载器采用手动开启或关闭存片仓的仓口，导致传片效率低，且密封性难以保障。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种晶舟装载器，其能够自动开启或关闭仓口，提升传片效率，密封性更佳。
[0005]本专利技术的另一目的在于提供一种传片系统，其能够自动开启或关闭仓门，提升传片效率，密封性更佳。
[0006]本专利技术提供一种技术方案：一种晶舟装载器，包括存片仓及活动门组件，所述存片仓设置有仓口，所述活动门组件包括门框、第一驱动件、支撑件、第二驱动件及门体，所述门框与所述存片仓连接，所述第一驱动件设置于所述门框内并与所述支撑件连接，所述第二驱动件设置于所述支撑件上并与所述门体连接，所述第一驱动件用于驱动所述支撑件在第一方向上运动，以使所述支撑件带动所述门体运动至与所述仓口在第二方向上对齐或错位，所述第二驱动件用于驱动所述门体相对所述支撑件在所述第二方向上运动，以使所述门体封盖所述仓口或解除对所述仓口的封盖。
[0007]进一步地，所述第一方向与所述第二方向垂直。
[0008]进一步地，所述第一方向为竖直方向，所述第一驱动件为气缸，用于驱动所述支撑件在竖直方向上做直线往复运动。r/>[0009]进一步地，所述第二方向为水平方向，所述第二驱动件为气缸，用于驱动所述门体相对所述支撑件在水平方向上做直线往复运动。
[0010]进一步地，所述支撑件与所述门体为在竖直方向上并列设置的两个板体，所述第二驱动件的数量为多个，多个所述第二驱动件在所述门体上均匀分布。
[0011]进一步地，所述存片仓的外壁上环绕所述仓口设置有密封圈，在所述门体封盖所述仓口的情况下，所述门体贴合并抵持所述密封圈。
[0012]进一步地，所述存片仓上设置有门楣，所述门楣上设置有第一固定件，所述支撑件上设置有第二固定件，在所述门体与所述仓口在所述第二方向上对齐的情况下，所述第二固定件与所述第一固定件相配合。
[0013]进一步地，所述第一固定件处于所述仓口在竖直方向上的上端，所述第二固定件设置于所述支撑件的竖直上端。
[0014]进一步地，所述第一固定件与所述第二固定件均为磁铁。
[0015]本专利技术还提供一种传片系统，包括所述的晶舟装载器，所述晶舟装载器包括存片仓及活动门组件，所述存片仓设置有仓口；所述活动门组件包括门框、第一驱动件、支撑件、第二驱动件及门体，所述门框与所述存片仓连接，所述第一驱动件设置于所述门框内并与所述支撑件连接，所述第二驱动件设置于所述支撑件上并与所述门体连接，所述第一驱动件用于驱动所述支撑件在第一方向上运动，以使所述支撑件带动所述门体运动至与所述仓口在第二方向上对齐或错位，所述第二驱动件用于驱动所述门体相对所述支撑件在所述第二方向上运动，以使所述门体封盖所述仓口或解除对所述仓口的封盖。
[0016]相比现有技术，本专利技术提供的晶舟装载器，在存片仓上设置有活动门组件，活动门组件的第一驱动件用于驱动支撑件在第一方向上运动，以使支撑件带动门体运动至与仓口在第二方向上对齐或错位，第二驱动件用于驱动门体相对支撑件在第二方向上运动，以使门体封盖仓口或解除对仓口的封盖。可见，在实际应用中，通过协同控制第一驱动件与第二驱动件，即可实现门体自动化封闭与开启仓口。因此，本专利技术提供的晶舟装载器的有益效果包括：能够自动开启或关闭仓门，提升传片效率，密封性更佳。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定。对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0018]图1为本专利技术的实施例提供的晶舟装载器的结构示意图；图2为本专利技术的实施例提供的晶舟装载器在第一视角下的剖视图；图3为本专利技术的实施例提供的晶舟装载器在第二视角下的剖视图；图4为图1中存片仓的结构示意图；图5为图2中A区域的放大示意图。
[0019]图标：100
‑
晶舟装载器；110
‑
存片仓；111
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仓口；113
‑
密封圈；115
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门楣；1151
‑
第一固定件；130
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活动门组件；131
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门框；132
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第一驱动件；133
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支撑件；1331
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第二固定件；134
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第二驱动件；135
‑
门体。
具体实施方式
[0020]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0021]因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0022]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一
个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0023]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0024]此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0025]在本专利技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“设置”、“连接”等术语应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0026]下面结合附图，对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。
[0027]实施例请参阅图1、图2及图3，图1所示为本实施例提供本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶舟装载器，其特征在于，包括存片仓及活动门组件，所述存片仓设置有仓口，所述活动门组件包括门框、第一驱动件、支撑件、第二驱动件及门体，所述门框与所述存片仓连接，所述第一驱动件设置于所述门框内并与所述支撑件连接，所述第二驱动件设置于所述支撑件上并与所述门体连接，所述第一驱动件用于驱动所述支撑件在第一方向上运动，以使所述支撑件带动所述门体运动至与所述仓口在第二方向上对齐或错位，所述第二驱动件用于驱动所述门体相对所述支撑件在所述第二方向上运动，以使所述门体封盖所述仓口或解除对所述仓口的封盖。2.根据权利要求1所述的晶舟装载器，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向垂直。3.根据权利要求1所述的晶舟装载器，其特征在于，所述第一方向为竖直方向，所述第一驱动件为气缸，用于驱动所述支撑件在竖直方向上做直线往复运动。4.根据权利要求1所述的晶舟装载器，其特征在于，所述第二方向为水平方向，所述第二驱动件为气缸，用于驱动所述门体相对所述支撑件在水平方向上做直线往复运动。5.根据权利要求1所述的晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：张璞，孙文彬，林政勋，戴建波，
申请(专利权)人：无锡邑文电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：