一种晶舟装载器及传片系统技术方案

本发明专利技术公开了一种晶舟装载器及传片系统，涉及半导体技术领域。该晶舟装载器包括存片仓及活动门组件，存片仓设置有仓口，活动门组件包括门框、第一驱动件、支撑件、第二驱动件及门体，门框与存片仓连接，第一驱动件设置于门框内并与支撑件连接，第二驱动件设置于支撑件上并与门体连接，第一驱动件用于驱动支撑件在第一方向上运动，以使支撑件带动门体运动至与仓口在第二方向上对齐或错位，第二驱动件用于驱动门体相对支撑件在第二方向上运动，以使门体封盖仓口或解除对仓口的封盖。本发明专利技术提供的晶舟装载器能够自动开启或关闭仓门，提升传片效率，密封性更佳。密封性更佳。密封性更佳。

【技术实现步骤摘要】
一种晶舟装载器及传片系统


[0001]本专利技术涉及半导体
，具体而言，涉及一种晶舟装载器及传片系统。

技术介绍

[0002]目前，晶舟装载器（Vacuum Cassette Elevator，VCE）的存片仓用于建立一定程度的真空环境存放晶片。
[0003]目前，市面上的晶舟装载器采用手动开启或关闭存片仓的仓口，导致传片效率低，且密封性难以保障。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种晶舟装载器，其能够自动开启或关闭仓口，提升传片效率，密封性更佳。
[0005]本专利技术的另一目的在于提供一种传片系统，其能够自动开启或关闭仓门，提升传片效率，密封性更佳。
[0006]本专利技术提供一种技术方案：一种晶舟装载器，包括存片仓及活动门组件，所述存片仓设置有仓口，所述活动门组件包括门框、第一驱动件、支撑件、第二驱动件及门体，所述门框与所述存片仓连接，所述第一驱动件设置于所述门框内并与所述支撑件连接，所述第二驱动件设置于所述支撑件上并与所述门体连接，所述第一驱动件用于驱动所述支撑件在第一方向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶舟装载器，其特征在于，包括存片仓及活动门组件，所述存片仓设置有仓口，所述活动门组件包括门框、第一驱动件、支撑件、第二驱动件及门体，所述门框与所述存片仓连接，所述第一驱动件设置于所述门框内并与所述支撑件连接，所述第二驱动件设置于所述支撑件上并与所述门体连接，所述第一驱动件用于驱动所述支撑件在第一方向上运动，以使所述支撑件带动所述门体运动至与所述仓口在第二方向上对齐或错位，所述第二驱动件用于驱动所述门体相对所述支撑件在所述第二方向上运动，以使所述门体封盖所述仓口或解除对所述仓口的封盖。2.根据权利要求1所述的晶舟装载器，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向垂直。3.根据权利要求1所述的晶舟装载器，其特征在于，所述第一方向为竖直方向，所述第一驱动件为气缸，用于驱动所述支撑件在竖直方向上做直线往复运动。4.根据权利要求1所述的晶舟装载器，其特征在于，所述第二方向为水平方向，所述第二驱动件为气缸，用于驱动所述门体相对所述支撑件在水平方向上做直线往复运动。5.根据权利要求1所述的晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：张璞，孙文彬，林政勋，戴建波，
申请(专利权)人：无锡邑文电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：