下载一种晶舟装载器及传片系统的技术资料

文档序号:32466544

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本发明公开了一种晶舟装载器及传片系统,涉及半导体技术领域。该晶舟装载器包括存片仓及活动门组件,存片仓设置有仓口,活动门组件包括门框、第一驱动件、支撑件、第二驱动件及门体,门框与存片仓连接,第一驱动件设置于门框内并与支撑件连接,第二驱动件设置...
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