基板收纳容器制造技术

本发明专利技术提供基板收纳容器，具备：盖体侧基板支承部(73)，在通过盖体封闭时能够支承基板(W)的边缘部；后侧基板支承部，与其成对地配置，能够支承基板的边缘部，在封闭时与盖体侧基板支承部(73)协作，在使基板的边缘部排列的状态下支承基板；基板边缘部辅助部(75)，在封闭时配置在与基板收纳空间对置的部分，形成有具有比基板的边缘部的厚度宽的开口的多个辅助槽(76)，以便能够插入基板的边缘部。辅助槽(76)具有对置的槽形成面(761、762)，在封闭时，多个基板的边缘部逐个地插入。在封闭时，基板的边缘部在基板的边缘部与槽形成面(761、762)之间形成空间而基板的边缘部不与槽形成面接触的非接触的状态下插入辅助槽(76)。触的非接触的状态下插入辅助槽(76)。触的非接触的状态下插入辅助槽(76)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板收纳容器


[0001]本专利技术涉及在收纳、保管、搬运、输送由半导体晶片等构成的基板等时使用的基板收纳容器。

技术介绍

[0002]作为用于收纳并搬运由半导体晶片构成的基板的基板收纳容器，以往已知有一种具备容器主体以及盖体的构成的基板收纳容器。
[0003]容器主体具有在一端部形成有容器主体开口部且另一端部被封闭的筒状的壁部。在容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围而形成，能够收纳多个基板。盖体能够相对于容器主体开口部拆装，能够封闭容器主体开口部。
[0004]在盖体的一部分且在封闭容器主体开口部时与基板收纳空间对置的部分设置有前部保持构件(front retainer)。在通过盖体封闭容器主体开口部时，前部保持构件能够支承多个基板的边缘部。另外，后部保持构件以与前部保持构件成对的方式设置于壁部。后部保持构件能够支承多个基板的边缘部。在通过盖体封闭容器主体开口部时，后部保持构件通过与前部保持构件协作来支承多个基板，在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离并排列的状态下保持多个基板。
[0005]前部保持构件具有向从基板收纳空间离开的方向凹陷的多个槽(例如参照专利文献1、2、3)。在所述公报记载的以往的基板收纳容器中，在通过盖体封闭容器主体开口部并搬运收纳在基板收纳空间中的基板时，基板的端部始终与前部保持构件抵接。因此，在利用基板收纳容器搬运基板时，当基板收纳容器受到冲击时，基板在前部保持构件容易破损。
[0006]专利文献1：日本专利第4903893号公报
[0007]专利文献2：日本专利第4412235号公报
[0008]专利文献3：日本专利第5483351号公报

技术实现思路

[0009]近年来，要求针对作用于基板收纳容器的冲击的进一步的基板保护。另外，也强烈要求抑制发生由于作用于基板收纳容器的冲击而使支承在前部保持构件的规定的位置的基板从该规定的位置脱离而向与该规定的位置相邻的位置移动并插入配置的所谓的“交叉插入(cross slot)”。
[0010]本专利技术的目的在于提供一种基板收纳容器，在前部保持构件中，能够针对作用于基板收纳容器的冲击保护基板，并且能够抑制发生交叉插入。
[0011]本专利技术涉及一种基板收纳容器，具备：容器主体，具备筒状的壁部，该壁部在一端部形成有容器主体开口部且另一端部被封闭，利用所述壁部的内表面形成能够收纳多个基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；盖体，能够相对于所述容器主体开口部拆装，能够封闭所述容器主体开口部；盖体侧基板支承部，配置在所述盖体的一部分且是在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时与所述基板收纳空间对置的部分，在通过所述盖
体封闭所述容器主体开口部时，能够支承所述多个基板的边缘部；后侧基板支承部，在所述基板收纳空间内与所述盖体侧基板支承部成对地配置，能够支承所述多个基板的边缘部，在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，与所述盖体侧基板支承部协作，在使所述多个基板的边缘部排列的状态下支承所述多个基板；以及基板边缘部辅助部，配置在所述盖体的一部分且是在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时与所述基板收纳空间对置的部分，形成有多个辅助槽，所述多个辅助槽具有比所述基板的边缘部的厚度宽的开口，以便能够插入所述基板的边缘部，所述多个辅助槽具有对置的槽形成面，至少在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，逐个地插入所述多个基板的边缘部，另外，相对于筒状的壁部的中心轴，配置在比所述盖体侧基板支承部靠所述基板的边缘部的周向的外侧或内侧，
[0012]在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，所述基板的边缘部在所述基板的边缘部与所述槽形成面之间形成空间而所述基板的边缘部不与所述槽形成面接触的非接触的状态下插入所述辅助槽。
[0013]另外优选为，与同一所述基板对应的所述盖体侧基板支承部与所述基板边缘部辅助部连结。
[0014]另外优选为，所述槽形成面为大致直平面状，所述基板的表面或背面与所述槽形成面所成的角度为30度以下。
[0015]另外优选为，所述基板收纳容器具备侧方基板支承部，所述侧方基板支承部在所述基板收纳空间内成对地配置，在未通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，能够在使所述多个基板中相邻的基板彼此以规定的间隔分离并排列的状态下支承所述多个基板的边缘部，所述辅助槽具有如下的深度：在未通过所述盖体封闭所述容器主体开口部且通过所述侧方基板支承部支承所述多个基板的边缘部时所述基板的边缘部未插入所述辅助槽，在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时所述基板的边缘部插入所述辅助槽。
[0016]另外优选为，在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，所述盖体侧基板支承部能够以第一位移量向从所述容器主体的另一端部朝向一端部的方向弹性地位移，在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，所述基板边缘部辅助部能够以比所述第一位移量小的第二位移量向从所述容器主体的另一端部朝向一端部的方向弹性地位移。
[0017]根据本专利技术，能够提供基板收纳容器，在前部保持构件中，能够针对作用于基板收纳容器的冲击保护基板，并且能够抑制发生交叉插入。
附图说明
[0018]图1是表示在本专利技术的第一实施方式的基板收纳容器1中收纳有多个基板W的状态的分解立体图。
[0019]图2是表示本专利技术的第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的立体图。
[0020]图3是表示本专利技术的第一实施方式的基板收纳容器1的盖体3的立体图。
[0021]图4是表示本专利技术的第一实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7的立体图。
[0022]图5是表示本专利技术的第一实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7的局部主视图。
[0023]图6是图5所示的A
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A线剖视图。
[0024]图7A是图6所示的B
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B线剖视图。
[0025]图7B是图6所示的C
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C线剖视图。
[0026]图8是表示闭盖状态下的基板收纳容器1与基板W的位置关系的俯视剖视图。
[0027]图9是图8的局部放大图(与图6对应的图)。
[0028]图10A是图9所示的D
‑
D线剖视图。
[0029]图10B是图9所示的E
‑
E线剖视图。
[0030]图11是表示开盖状态与闭盖状态下的盖体侧基板支承部以及基板边缘部辅助部各自的位移量的局部放大图。
[0031]图12是本专利技术的第二实施方式的前部保持构件7A的剖视图(与图6对应的图)。
[0032]图13是本专利技术的第三实施方式的前部保持构件7B的剖视图(与图6对应的图)。
[0033]图14是本专利技术的第四实施方式的前部保持构件7C的剖视图(与图6对应的图)。
[0034]附图标记说明：
[0035]1基板收纳容器
[0036]2容器主体
[0037]3盖体
[0038]5基板支承板状本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板收纳容器，其特征在于，所述基板收纳容器具备：容器主体，具备筒状的壁部，该壁部在一端部形成有容器主体开口部且另一端部被封闭，利用所述壁部的内表面形成能够收纳多个基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；盖体，能够相对于所述容器主体开口部拆装，能够封闭所述容器主体开口部；盖体侧基板支承部，配置在所述盖体的一部分且是在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时与所述基板收纳空间对置的部分，在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，能够支承所述多个基板的边缘部；后侧基板支承部，在所述基板收纳空间内与所述盖体侧基板支承部成对地配置，能够支承所述多个基板的边缘部，在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，与所述盖体侧基板支承部协作，在使所述多个基板的边缘部排列的状态下支承所述多个基板；以及基板边缘部辅助部，配置在所述盖体的一部分且是在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时与所述基板收纳空间对置的部分，形成有多个辅助槽，所述多个辅助槽具有比所述基板的边缘部的厚度宽的开口，以便能够插入所述基板的边缘部，所述多个辅助槽具有对置的槽形成面，至少在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，逐个地插入所述多个基板的边缘部，另外，相对于筒状的壁部的中心轴，配置在比所述盖体侧基板支承部靠所述基板的边缘部的周向的外侧或内侧，在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，所述基板的边缘部在所述基板的边缘部与所述槽形成...

【专利技术属性】
技术研发人员：久保田幸二，
申请(专利权)人：未来儿股份有限公司，
类型：发明
国别省市：