基板收纳容器制造技术

基板收纳容器

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板收纳容器


[0001]本专利技术涉及在收纳
、
保管
、
搬运
、
输送半导体晶片
、
掩膜板
、
印刷基板等基板等时使用的基板收纳容器
。

技术介绍

[0002]作为收纳各种基板的基板收纳容器，以往已知有一种具备容器主体和盖体的构成
。
[0003]容器主体的一端部具有容器主体开口部
。
容器主体的另一端部具有封闭的筒状的壁部
。
在容器主体内形成有基板收纳空间
。
基板收纳空间由壁部包围形成，能够收纳基板
。
盖体相对于容器主体开口部可装拆，能够封闭容器主体开口部
。
侧方基板支承部以在基板收纳空间内成对的方式设置在壁部
。
当容器主体开口部未被盖体封闭时，侧方基板支承部能够在使相邻的基板之间以规定的间隔分开排列的状态下支承基板的边缘部
。
[0004]在作为盖体一部分且当封闭容器主体开口部时与基板收纳空间相对的部分上，设置有前部保持构件
(
盖体侧基板支承部
)。
在容器主体开口部被盖体封闭时，前部保持构件能够支承基板的边缘部
。
另外，以与前部保持构件成对的方式，在壁部设置有后侧基板支承部
。
后侧基板支承部能够支承基板的边缘部
。
在容器主体开口部被盖体封闭时，后侧基板支承部与前部保持构件协同动作支承基板，由此在使相邻的基板之间以规定的间隔分开排列的状态下支承基板
。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本技术公开公报特表
2016
‑
538732
号
[0008]专利文献2：日本专利公开公报
2017
‑
17264
号
[0009]专利文献3：日本专利公开公报
2016
‑
004949
号

技术实现思路

[0010]本专利技术要解决的技术问题
[0011]在具有将基板收纳空间与基板收纳容器的外部连通的通气孔亦即扫气孔的基板收纳容器中，在将盖体取下的状态下，使用清洁干燥空气
(CDA)、
氮气
(N2)
作为吹扫气体，从基板收纳容器的外部的装入口供给的该吹扫气体从容器主体的下表面
(
外表面
)
通过贯通孔向设置在基板收纳容器内表面的气体喷出喷嘴部供给
。
由此进行气体吹扫
。
此时，为了可靠地进行利用气体吹扫的吹扫气体的置换，要求从气体喷出喷嘴部的多个开口部均匀地供给吹扫气体
。
[0012]本专利技术的目的在于提供在基板收纳空间中能够从气体喷出喷嘴部的多个开口部均匀地供给气体的基板收纳容器
。
[0013]用于解决技术问题的技术方案
[0014]本专利技术提供一种基板收纳容器，其包括：容器主体，具备在一端部具有形成容器主
体开口部的开口周缘部且另一端部封闭的筒状的壁部，并由所述壁部的内表面形成能够收纳基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；盖体，相对于所述容器主体开口部能够装拆，能够封闭所述容器主体开口部；通气通道，能够将所述基板收纳空间与所述容器主体的外部的空间连通；气体喷出喷嘴部，具有将流入所述通气通道的气体向所述基板收纳空间供给的多个开口部；以及气体流量均匀化部，能够使气体以均匀化后的流量从所述多个开口部流出，所述气体流量均匀化部具有气体滞留室
、
气体流出前保持室以及室间间隔部，所述室间间隔部阻止将所述气体滞留室与所述气体流出前保持室直线地连通，并形成将所述气体滞留室与所述气体流出前保持室连通的室间流道
。
[0015]另外优选的是，所述气体流量均匀化部具有划分壁，所述划分壁将所述气体流出前保持室划分成多个气体流出前保持分室
。
另外优选的是，所述多个气体流出前保持分室具有均匀的容积
。
另外优选的是，所述气体滞留室被分室间间隔部隔开成多个气体滞留分室
。
另外优选的是，形成有与全部的所述气体滞留分室连通的气体供给流道
。
[0016]另外优选的是，所述气体喷出喷嘴部具有与开口部连通的喷嘴部室，所述喷嘴部室通过疏水性膜与所述气体流出前保持室连通
。
另外优选的是，所述喷嘴部室与所有开口部以及所有所述气体流出前保持分室连通
。
另外优选的是，所述气体喷出喷嘴部具有规定方向流出部，所述规定方向流出部使气体从所述开口部朝向规定的方向流出
。
[0017]另外优选的是，所述开口部分别与收纳于所述基板收纳空间的多个所述基板的每一个对应地形成
。
另外优选的是，所述基板收纳容器具备具有所述气体喷出喷嘴部以及所述气体流量均匀化部的柱状的突出部，所述突出部的基部插入形成于所述容器主体的所述壁部且形成所述通气通道的孔的
、
设置有密封部件的孔中，并且将所述突出部的前端侧的部分相对于所述容器主体的所述壁部固定，由此所述突出部固定在所述容器主体
。
[0018]专利技术效果
[0019]按照本专利技术，可提供一种在基板收纳空间中能够从气体喷出喷嘴部的多个开口部均匀地供给气体的基板收纳容器
。
附图说明
[0020]图1是表示在本专利技术实施方式的基板收纳容器1中收纳有多个基板
W
的情况的分解立体图
。
[0021]图2是表示本专利技术实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的上方立体图
。
[0022]图3是表示本专利技术实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的下方立体图
。
[0023]图4是表示在图3的
A
‑
A
线切断的容器主体2的侧方断面图
。
[0024]图5是表示基板收纳容器1的突出部8的立体图
。
[0025]图6是表示基板收纳容器1的突出部8的分解立体图
。
[0026]图7是表示构成基板收纳容器1的突出部8的突出部主体部
81
内部的吹扫气体流动的分解立体图
。
[0027]图8是表示基板收纳容器1的突出部8的后方立体断面图
。
[0028]图9是表示基板收纳容器1的突出部8的前方立体断面图
。
[0029]图
10
是表示构成基板收纳容器1的突出部8的喷嘴部室形成部
84
的侧视图
。
具体实施方式
[0030][
基板收纳容器1的整体构成
][0031]以下，边参照附图边对本实施方式的基板收纳容器1进行说明
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种基板收纳容器，其特征在于，包括：容器主体，具备在一端部具有形成容器主体开口部的开口周缘部且另一端部封闭的筒状的壁部，并由所述壁部的内表面形成能够收纳基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；盖体，相对于所述容器主体开口部能够装拆，能够封闭所述容器主体开口部；通气通道，能够将所述基板收纳空间与所述容器主体的外部的空间连通；气体喷出喷嘴部，具有将流入所述通气通道的气体向所述基板收纳空间供给的多个开口部；以及气体流量均匀化部，能够使气体以均匀化后的流量从所述多个开口部流出，所述气体流量均匀化部具有气体滞留室
、
气体流出前保持室以及室间间隔部，所述室间间隔部阻止将所述气体滞留室与所述气体流出前保持室直线地连通，并形成将所述气体滞留室与所述气体流出前保持室连通的室间流道
。2.
根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，所述气体流量均匀化部具有划分壁，所述划分壁将所述气体流出前保持室划分成多个气体流出前保持分室
。3.
根据权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，所述多个气体流出前保持分室具有均匀的容积
。4.
根据权利要求3或3所述的基板收纳容器，其特征在于，所述气体滞留室被分室间间隔部隔开成多个气体滞留分室
。5.
根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：松鸟千明，
申请(专利权)人：未来儿股份有限公司，
类型：发明
国别省市：