【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板收纳容器
[0001]本专利技术涉及在收纳
、
保管
、
搬运
、
输送半导体晶片
、
掩膜板
、
印刷基板等基板等时使用的基板收纳容器
。
技术介绍
[0002]作为收纳各种基板的基板收纳容器，以往已知有一种具备容器主体和盖体的构成
。
[0003]容器主体的一端部具有容器主体开口部
。
容器主体的另一端部具有封闭的筒状的壁部
。
在容器主体内形成有基板收纳空间
。
基板收纳空间由壁部包围形成，能够收纳基板
。
盖体相对于容器主体开口部可装拆，能够封闭容器主体开口部
。
侧方基板支承部以在基板收纳空间内成对的方式设置在壁部
。
当容器主体开口部未被盖体封闭时，侧方基板支承部能够在使相邻的基板之间以规定的间隔分开排列的状态下支承基板的边缘部
。
[0004]在作为盖体一部分且当封闭容器主体开口部时与基板收纳空...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种基板收纳容器，其特征在于，包括：容器主体，具备在一端部具有形成容器主体开口部的开口周缘部且另一端部封闭的筒状的壁部，并由所述壁部的内表面形成能够收纳基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；盖体，相对于所述容器主体开口部能够装拆，能够封闭所述容器主体开口部；通气通道，能够将所述基板收纳空间与所述容器主体的外部的空间连通；气体喷出喷嘴部，具有将流入所述通气通道的气体向所述基板收纳空间供给的多个开口部；以及气体流量均匀化部，能够使气体以均匀化后的流量从所述多个开口部流出，所述气体流量均匀化部具有气体滞留室
、
气体流出前保持室以及室间间隔部，所述室间间隔部阻止将所述气体滞留室与所述气体流出前保持室直线地连通，并形成将所述气体滞留室与所述气体流出前保持室连通的室间流道
。2.
根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，所述气体流量均匀化部具有划分壁，所述划分壁将所述气体流出前保持室划分成多个气体流出前保持分室
。3.
根据权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，所述多个气体流出前保持分室具有均匀的容积
。4.
根据权利要求3或3所述的基板收纳容器，其特征在于，所述气体滞留室被分室间间隔部隔开成多个气体滞留分室
。5.
根据权利要...
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