【技术实现步骤摘要】
一种承载舟及扩散设备
[0001]本专利技术涉及光伏电池制造
,具体而言,涉及一种承载舟及扩散设备
。
技术介绍
[0002]在光伏电池的生产制造过程中,石英舟承载硅片,舟托支撑起石英舟并送入扩散炉中对硅片进行扩散处理
。
现有的石英舟通常由左
、
右侧板和上
、
下齿杆围合形成长方体形的框架型结构,使得装载于石英舟的硅片大致处于竖直状态,而为了进行单面镀膜,以及提高产能,通常在石英舟齿杆上的每一齿槽内装载有两个硅片,由于硅片所受重力与其自身板面的夹角几乎为零,使得两个硅片在重力作用下均保持竖直状态,从而在两个硅片之间产生缝隙,导致进行扩散工艺处理时,扩散气流大量进入两个硅片之间的缝隙而造成背面绕扩,不仅增加生产成本,还会影响产品的性能
。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的在于提供一种承载舟,其可使基片
、
例如硅片获得角度倾斜而相互贴合,从而改善基片在扩散工序中发生背面绕扩的状况,降低生产成本
、
提高产品性能;为此,本专利技术的另一目的还在于提供一种扩散设备
。
[0004]本专利技术提供一种技术方案:
[0005]一种承载舟,包括左侧板
、
右侧板
、
上齿杆及下齿杆,所述上齿杆
、
所述下齿杆分别开设有齿槽,所述上齿杆的两端
、
所述下齿杆的两端分别与所述左侧板
、
所述右侧板连接
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种承载舟,包括左侧板
(110)、
右侧板
(120)、
上齿杆
(130)
及下齿杆
(140)
,所述上齿杆
(130)、
所述下齿杆
(140)
分别开设有齿槽
(150)
,所述上齿杆
(130)
的两端
、
所述下齿杆
(140)
的两端分别与所述左侧板
(110)、
所述右侧板
(120)
连接,其特征在于,所述左侧板
(110)、
所述右侧板
(120)
均为折弯状,所述左侧板
(110)
和所述右侧板
(120)
相对且交错布置,所述上齿杆
(130)
平行于所述下齿杆
(140)。2.
根据权利要求1所述的承载舟,其特征在于,所述左侧板
(110)
设置有第一舟耳
(113)
,所述右侧板
(120)
设置有第二舟耳
(123)
,所述左侧板
(110)
具有相连接的第一板段
(111)
与第二板段
(112)
;所述右侧板
(120)
具有相连接的第三板段
(121)
与第四板段
(122)
;以所述第一舟耳
(113)
与所述第二舟耳
(123)
的连线为基准线,所述第一板段
(111)
与所述第三板段
(121)
均垂直于所述基准线,所述第二板段
(112)
与所述第四板段
(122)
相对于所述基准线倾斜设置,并处于所述第一板段
(111)
与所述第三板段
(121)
之间
。3.
根据权利要求2所述的承载舟,其特征在于,所述上齿杆
(130)
的两端分别连接所述第一板段
(111)
与所述第四板段
(122)
,所述下齿杆
(140)
的两端分别连接所述第二板段
(112)
与所述第三板段
(121)
,所述上齿杆
(130)
与所述下齿杆
(140)
各自的中心线均与所述基准线呈夹角
。4.
根据权利要求2所述的承载舟,其特征在于,所述上齿杆
(130)
的一端与所述第一板段
(111)
远离所述第二板段
(112)
的一端连接,所述下齿杆
(140)
的一端与所述第二板段
(112)
远离所述第一板段
(111)
的一端连接,所述第一板段
(111)
的长度与所述第二板段
(112)
的长度之比处于
1/4
~1的范围内
。5.
根据权利要求2所述的承载舟,其特征在于,所述上齿杆
(130)
的另一端与所述第四板段
(122)
远离所述第三板段
(...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈云,廖宝臣,张敏,种世平,曹炜博,陈程,黎微明,
申请(专利权)人:江苏微导纳米科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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