【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备，具体涉及一种腔体进气装置及气体处理设备。
技术介绍
1、随着太阳能发电的普及，光伏电池片的需求量也越来越大。太阳能电池片的制备包括许多处理步骤，例如扩散、沉积、热处理等，这些步骤都会影响到太阳能电池片的效率，这些步骤中通常会有气体的参与。在电池片生产过程中，为了实现高产能会在同一步骤中同时对大批量的硅片进行处理，在该过程中需要大量的硅片在同一处理条件下进行，在气体参与的步骤中，需要保证大量硅片间的气体均匀性，例如，ald(原子层沉积)工艺作是制造光伏电池片的一项核心镀膜工艺，镀膜膜厚的均匀性影响光伏电池片的效率，而腔体内气体的均匀性将会影响硅片间的膜厚的均匀性。
2、现有技术中，常用喷淋板和反应装置结构贴合，工艺气体从喷淋板喷向反应装置内。然而，在存在不同气体时，受到进气口位置及相配合装置的空间限制，喷淋板上的进气口无法直接布置在喷淋板的中心线上，导致工艺气体在喷淋板内部的流道形成左右不相等的情况，相关的气流分布会出现不对称的情况，影响腔体内气体的均匀分布，从而影响镀膜平均性。
技术实现思路
1、因此，本技术要解决现有技术中处理气体在喷淋板内部的流道形成左右不相等的问题，从而提供一种腔体进气装置及气体处理设备。
2、为了解决上述问题，本技术提供了一种腔体进气装置，包括匀流组件和喷淋板。所述匀流组件内部开设有匀流管路，所述匀流管路贯穿所述匀流组件以形成气体进口和气体出口，所述气体出口设置有若干个，所述匀流管路在所述匀流组件内对称设置；所述
3、可选地，所述匀流组件包括进气分流板，所述进气分流板与所述喷淋板连接，所述匀流管路、所述气体进口和所述气体出口均对应所述进气分流板设置。
4、可选地，所述匀流管路在所述进气分流板的顶部形成一个所述气体进口。
5、可选地，所述匀流组件包括进气分流板和分流过渡件，所述进气分流板与所述分流过渡件连接，所述分流过渡件与所述喷淋板连通，所述匀流管路包括分流管路和过渡管路，所述分流管路贯穿所述进气分流板以形成所述气体进口和分流出气口，所述过渡管路贯穿所述分流过渡件以形成过渡进气口和所述气体出口，所述分流出气口与所述过渡进气口对应连通，所述分流管路和所述过渡管路分别在所述进气分流板和所述分流过渡件内对称设置。
6、可选地，所述分流管路在所述进气分流板的顶部形成一个所述气体进口，所述分流出气口开设于所述进气分流板的底部，所述过渡进气口设置于所述分流过渡件的顶部。
7、可选地，所述气体出口设置于所述分流过渡件的靠近所述喷淋板的侧面，所述喷淋进气口设置于所述喷淋板靠近所述分流过渡件的侧面。
8、可选地，所述分流出气口设置有若干个，所述过渡进气口设置有若干个，若干个所述分流出气口与若干个所述过渡进气口对应连通。
9、可选地，所述分流过渡件开设有气幕管路，所述分流过渡件围合形成有空腔，所述气幕管路与所述空腔连通。
10、可选地，所述喷淋管路包括喷淋总路和喷淋分路，所述喷淋进气口对应所述喷淋总路设置，所述喷淋分路的两端均连通设置有所述喷淋总路，所述喷淋孔对应所述喷淋分路设置，所述喷淋分路间隔设置有若干个。
11、可选地，所述喷淋管路沿所述喷淋板的厚度方向间隔设置有若干个，所述匀流管路设置有若干个，若干个所述匀流管路与若干个所述喷淋管路对应连通。
12、一种气体处理设备，包括上述的腔体进气装置，所述气体处理设备还包括反应装置，所述反应装置内设置有反应腔，所述腔体进气装置为所述反应腔供气。
13、可选地，所述喷淋板与所述反应装置贴合连接。
14、可选地，分流过渡件与所述反应装置贴合连接，喷淋板设置于分流过渡件背离反应装置的一侧。
15、本技术具有以下优点：
16、1.本技术提供的一种腔体进气装置，通过将匀流管路和喷淋管路分别在匀流组件和喷淋板内对称设置，使工艺气体由气体进口进入匀流组件后通过匀流管路进入喷淋板中的喷淋管路，保证由喷淋孔喷出的工艺气体相对于喷淋板左右相等，从而使工艺气体分布均匀性更好，提高了镀膜的均匀性，提高硅片的质量。
17、2.本技术提供的一种腔体进气装置，通过设置分流过渡件，可以在不改变反应装置的前提下实现气路的改造，分流过渡件可以根据需求更改。
18、3.本技术提供的一种腔体进气装置，通过向气幕管路通入惰性气体，气幕管路向空腔内输出的惰性气体形成气幕，阻挡并改变喷淋孔输出的气体的流动方向。
19、4.本技术提供的一种腔体进气装置，通过设置若干个喷淋管路和若干个匀流管路，在腔体进气装置需要通入不同的工艺气体时，不同的工艺气体由不同的管路传输，防止不同的工艺气体在腔体进气装置内互相掺杂污染。
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1.一种腔体进气装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的腔体进气装置，其特征在于，所述匀流组件(10)包括进气分流板(14)，所述进气分流板(14)与所述喷淋板(20)连通，所述匀流管路(11)、所述气体进口(12)和所述气体出口(13)均对应所述进气分流板(14)设置。
3.根据权利要求2所述的腔体进气装置，其特征在于，所述匀流管路(11)在所述进气分流板(14)的顶部形成一个所述气体进口(12)。
4.根据权利要求1所述的腔体进气装置，其特征在于，所述匀流组件(10)包括进气分流板(14)和分流过渡件(15)，所述进气分流板(14)与所述分流过渡件(15)连接，所述分流过渡件(15)与所述喷淋板(20)连通，所述匀流管路(11)包括分流管路(141)和过渡管路(151)，所述分流管路(141)贯穿所述进气分流板(14)以形成所述气体进口(12)和分流出气口(142)，所述过渡管路(151)贯穿所述分流过渡件(15)以形成过渡进气口(152)和所述气体出口(13)，所述分流出气口(142)与所述过渡进气口(152)对应连通，所述分流
5.根据权利要求4所述的腔体进气装置，其特征在于，所述分流管路(141)在所述进气分流板(14)的顶部形成一个所述气体进口(12)，所述分流出气口(142)开设于所述进气分流板(14)的底部，所述过渡进气口(152)设置于所述分流过渡件(15)的顶部。
6.根据权利要求4或5所述的腔体进气装置，其特征在于，所述气体出口(13)设置于所述分流过渡件(15)的靠近所述喷淋板(20)的侧面，所述喷淋进气口(22)设置于所述喷淋板(20)靠近所述分流过渡件(15)的侧面。
7.根据权利要求4或5所述的腔体进气装置，其特征在于，所述分流出气口(142)设置有若干个，所述过渡进气口(152)设置有若干个，若干个所述分流出气口(142)与若干个所述过渡进气口(152)对应连通。
8.根据权利要求4或5所述的腔体进气装置，其特征在于，所述分流过渡件(15)开设有气幕管路(153)，所述分流过渡件(15)围合形成有空腔(154)，所述气幕管路(153)与所述空腔(154)连通。
9.根据权利要求1-5任一项所述的腔体进气装置，其特征在于，所述喷淋管路(21)包括喷淋总路(211)和喷淋分路(212)，所述喷淋进气口(22)对应所述喷淋总路(211)设置，所述喷淋分路(212)的两端均连通设置有所述喷淋总路(211)，所述喷淋孔(23)对应所述喷淋分路(212)设置，所述喷淋分路(212)间隔设置有若干个。
10.根据权利要求1-5任一项所述的腔体进气装置，其特征在于，所述喷淋管路(21)沿所述喷淋板(20)的厚度方向间隔设置有若干个，所述匀流管路(11)设置有若干个，若干个所述匀流管路(11)与若干个所述喷淋管路(21)对应连通。
11.一种气体处理设备，其特征在于，包括权利要求1-10任一项所述的腔体进气装置，所述气体处理设备还包括反应装置(40)，所述反应装置(40)内设置有反应腔，所述腔体进气装置为所述反应腔供气。
12.根据权利要求11所述的气体处理设备，其特征在于，所述喷淋板(20)与所述反应装置(40)贴合连接。
13.根据权利要求11所述的气体处理设备，其特征在于，分流过渡件(15)与所述反应装置(40)贴合连接，喷淋板(20)设置于分流过渡件(15)背离反应装置(40)的一侧。
...【技术特征摘要】
1.一种腔体进气装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的腔体进气装置，其特征在于，所述匀流组件(10)包括进气分流板(14)，所述进气分流板(14)与所述喷淋板(20)连通，所述匀流管路(11)、所述气体进口(12)和所述气体出口(13)均对应所述进气分流板(14)设置。
3.根据权利要求2所述的腔体进气装置，其特征在于，所述匀流管路(11)在所述进气分流板(14)的顶部形成一个所述气体进口(12)。
4.根据权利要求1所述的腔体进气装置，其特征在于，所述匀流组件(10)包括进气分流板(14)和分流过渡件(15)，所述进气分流板(14)与所述分流过渡件(15)连接，所述分流过渡件(15)与所述喷淋板(20)连通，所述匀流管路(11)包括分流管路(141)和过渡管路(151)，所述分流管路(141)贯穿所述进气分流板(14)以形成所述气体进口(12)和分流出气口(142)，所述过渡管路(151)贯穿所述分流过渡件(15)以形成过渡进气口(152)和所述气体出口(13)，所述分流出气口(142)与所述过渡进气口(152)对应连通，所述分流管路(141)和所述过渡管路(151)分别在所述进气分流板(14)和所述分流过渡件(15)内对称设置。
5.根据权利要求4所述的腔体进气装置，其特征在于，所述分流管路(141)在所述进气分流板(14)的顶部形成一个所述气体进口(12)，所述分流出气口(142)开设于所述进气分流板(14)的底部，所述过渡进气口(152)设置于所述分流过渡件(15)的顶部。
6.根据权利要求4或5所述的腔体进气装置，其特征在于，所述气体出口(13)设置于所述分流过渡件(15)的靠近所述喷淋板(20)的侧面，所述喷淋进气口(22)设置于所述喷淋板(20)靠...
【专利技术属性】
技术研发人员：康旭，严大，施述鹏，张鹏，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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