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本技术提供一种腔体进气装置及气体处理设备，属于镀膜设备技术领域，腔体进气装置包括匀流组件和喷淋板。匀流组件内部开设有匀流管路，匀流管路在匀流组件内对称设置；喷淋板与匀流组件相接，喷淋板内开设有喷淋管路，喷淋管路在喷淋板内对称设置，喷淋板上开...
该专利属于江苏微导纳米科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏微导纳米科技股份有限公司授权不得商用。

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