【技术实现步骤摘要】
本申请涉及喷淋设备，具体涉及一种喷淋装置及处理设备。
技术介绍
1、处理设备包括腔部和喷淋装置，其中，腔部的端部设有法兰，喷淋装置向腔部内喷入工艺气体，以实现相应的反应，喷淋装置包括基板，基板的内侧表面能够与法兰沿周向贴合，基板设有进气口，用于向基板内的流道部供气，工艺气体由设于基板表面的喷淋孔喷出至腔部内。
2、在通过喷淋装置向腔部内喷入工艺气体时，如何保证密封性，避免出现向腔部外漏气的情况，提高气体利用率、避免对工艺造成影响，是本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
1、本申请的目的是提供一种喷淋装置及处理设备，喷淋装置在向处理设备的腔部内喷入工艺气体时，能够提高气体利用率、避免由于漏气对工艺造成影响。
2、为解决上述技术问题，本申请提供一种喷淋装置，包括基板，所述基板设有流道部和多个喷淋孔；所述流道部包括连通设置的进气口和流道，所述进气口设于所述基板的内侧表面，所述流道设于所述基板内，所述喷淋孔间隔设于所述基板的内侧表面，且各所述喷淋孔分别与所述流道连通；所述喷淋装置还包括沿所述进气口周向布置的第一密封件。
3、可选地，所述喷淋装置还包括第二密封件，所述第二密封件沿所述基板的内侧表面的周向布置。
4、可选地，所述进气口位于所述第二密封件的周向外侧。
5、可选地，所述第二密封件和所述第一密封件均与所述基板的内侧表面固定。
6、可选地，所述基板的内侧表面沿周向还设有用于安装所述第二密封件的第一密封槽
7、和/或，所述基板的内侧表面沿所述进气口的周向还设有用于安装所述第一密封件的第二密封槽。
8、可选地，所述第一密封槽和/或所述第二密封槽为燕尾槽或c型槽。
9、可选地，所述第二密封件和/或所述第一密封件为橡胶垫，并通过螺栓与所述基板固定。
10、可选地，所述流道部的流道包括分配流道和多条喷淋流道，所述分配流道分别与所述进气口以及各所述喷淋流道的中部位置连通，所述喷淋流道分布于所述分配流道的两侧。
11、可选地，每条所述分配流道分别与至少两个所述进气口连通，各所述进气口与所述分配流道的连接处沿所述分配流道的长度方向间隔布置。
12、可选地，所述进气口通过进口流道与所述分配流道连通，所述进口流道与各所述喷淋流道平行布置。
13、可选地，所述基板内设置有至少两个喷淋组，各所述喷淋组彼此独立，且各所述喷淋组的所述流道部沿所述基板的厚度方向间隔布置，各所述喷淋组的所述喷淋孔依次间隔错开布置。
14、本申请还提供了一种处理设备，包括如上所述的喷淋装置。
15、可选地，所述处理设备还包括腔部，所述腔部的端部设有法兰，所述法兰设有进气流道，所述进气流道与气源连通，且所述进气流道与所述流道部的进气口连通。
16、本申请相较于现有技术，具有如下技术效果：
17、将进气口设于基板的内侧表面，即朝向腔部的一侧，处理设备的腔部的法兰设有进气流道，该进气流道的一端与外部气源连通，当炉门关闭时，基板与法兰贴合，进气流道远离气源的一端与流道部的进气口连通，气源通过进气流道向进气口供气，然后进入流道并通过喷淋孔喷出至腔部内。
18、也就是说，当炉门关闭时，外部气源、进气流道、进气孔、流道、喷气孔依次连通并形成进气通路，当炉门开启时，进气通路断开，喷淋装置无需直接通过管路与外部气源连通，炉门在开闭的过程中，无需带动与外部气源连通的管路等结构移动，如此一来，相较于将进气口设置在基板的外侧表面(即远离腔部的一侧表面)或者周向壁面，并将外部气源直接与进气口连通的方案来说，能够进一步简化整体结构，并可保证与外部气源连通的稳定性。
19、喷淋装置还包括沿进气口周向布置的第一密封件，当基板与法兰贴合时，第一密封件也能够夹设于基板和法兰之间并形成密封，避免在进气口出发生气体泄漏，提高密封性。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种喷淋装置，其特征在于，包括基板(1)，所述基板(1)设有流道部(2)和多个喷淋孔(3)；
2.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋装置还包括第二密封件(4)，所述第二密封件(4)沿所述基板(1)的内侧表面(11)的周向布置。
3.根据权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于，所述进气口(23)位于所述第二密封件(4)的周向外侧。
4.根据权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于，所述第二密封件(4)和所述第一密封件(5)均与所述基板(1)的内侧表面(11)固定。
5.根据权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于，所述基板(1)的内侧表面(11)沿周向还设有用于安装所述第二密封件(4)的第一密封槽(13)；
6.根据权利要求5所述的喷淋装置，其特征在于，所述第一密封槽(13)和/或所述第二密封槽(14)为燕尾槽或C型槽。
7.根据权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于，所述第二密封件(4)和/或所述第一密封件(5)为橡胶垫，并通过螺栓与所述基板(1)固定。
8.根据权利要求1-7任一项所述的
9.根据权利要求8所述的喷淋装置，其特征在于，每条所述分配流道(21)分别与至少两个所述进气口(23)连通，各所述进气口(23)与所述分配流道(21)的连接处沿所述分配流道(21)的长度方向间隔布置。
10.根据权利要求8所述的喷淋装置，其特征在于，所述进气口(23)通过进口流道(24)与所述分配流道(21)连通，所述进口流道(24)与各所述喷淋流道(22)平行布置。
11.根据权利要求1-7任一项所述的喷淋装置，其特征在于，所述基板(1)内设置有至少两个喷淋组，各所述喷淋组彼此独立，且各所述喷淋组的所述流道部(2)沿所述基板(1)的厚度方向间隔布置，各所述喷淋组的所述喷淋孔(3)依次间隔错开布置。
12.一种处理设备，其特征在于，包括如权利要求1-11任一项所述的喷淋装置。
13.根据权利要求12所述的处理设备，其特征在于，所述处理设备还包括腔部(20)，所述腔部(20)的端部设有法兰(201)，所述法兰(201)设有进气流道，所述进气流道与气源连通，且所述进气流道与所述流道部(2)的进气口(23)连通。
...【技术特征摘要】
1.一种喷淋装置，其特征在于，包括基板(1)，所述基板(1)设有流道部(2)和多个喷淋孔(3)；
2.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋装置还包括第二密封件(4)，所述第二密封件(4)沿所述基板(1)的内侧表面(11)的周向布置。
3.根据权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于，所述进气口(23)位于所述第二密封件(4)的周向外侧。
4.根据权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于，所述第二密封件(4)和所述第一密封件(5)均与所述基板(1)的内侧表面(11)固定。
5.根据权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于，所述基板(1)的内侧表面(11)沿周向还设有用于安装所述第二密封件(4)的第一密封槽(13)；
6.根据权利要求5所述的喷淋装置，其特征在于，所述第一密封槽(13)和/或所述第二密封槽(14)为燕尾槽或c型槽。
7.根据权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于，所述第二密封件(4)和/或所述第一密封件(5)为橡胶垫，并通过螺栓与所述基板(1)固定。
8.根据权利要求1-7任一项所述的喷淋装置，其特征在于，所述流道部(2)的流道包括分配流道(21)和多条喷淋流道(22)，所述分配流道(21)...
【专利技术属性】
技术研发人员：张鹏，施述鹏，严大，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。