【技术实现步骤摘要】
本申请涉及镀膜，特别是涉及电极馈入装置和镀膜设备。
技术介绍
1、在镀膜设备中，电极馈入装置可以向载片舟内馈入电流，从而起到电离工艺气体，为晶片镀膜的目的。相关技术中，电极馈入装置中用于承载载片舟的承舟块通过卡合机构安装在桨杆上。随着使用时间增加，承舟块会产生损耗，需要定期进行维护和清理表面的镀膜。然而，镀膜工艺通常在工艺管内的高温环境下进行，对承舟块的维护需要等待工艺管降温后，才能拆卸维护。在这种情况下，会浪费大量的时间，降低了生产效率。
技术实现思路
1、本申请的实施例提供电极馈入装置和镀膜设备，能够方便地将承舟馈入件进行拆卸维护，减少了镀膜设备的维护时间，提高了生产效率。
2、第一方面，本申请实施例提供一种电极馈入装置。电极馈入装置包括桨杆、固定件和承舟馈入件。固定件套设于桨杆。承舟馈入件可拆卸安装于固定件。其中，固定件和承舟馈入件的其中一者设置有安装轴，另一者设置有与安装轴对应的安装槽，安装轴与安装槽配合，以将承舟馈入件安装于固定件。
3、可选地，承舟馈入件包括承载部和支撑部，承载部在重力方向上设置于桨杆的上方，且承载部上表面为水平面；支撑部的一端与承载部连接，另一端可拆卸安装于固定件。
4、可选地，安装轴设置有至少两个，安装槽设置有至少两个，安装轴和安装槽的延伸方向与桨杆的延伸方向平行。
5、可选地，安装轴包括第一安装轴和第二安装轴，第一安装轴的延伸长度大于第二安装轴的延伸长度；安装槽包括分别与第一安装轴和第二安装轴对应的第
6、可选地，承舟馈入件包括承载部和支撑部，承载部在重力方向上设置于桨杆的上方，且承载部上表面为水平面；支撑部的一端与承载部连接，另一端可拆卸安装于固定件，支撑部沿着垂直于承载部的方向延伸；第一安装轴和第二安装轴分别安装于承载部远离支撑部的一端和支撑部远离承载部的一端。
7、可选地，第一安装槽具有第一开口，第一开口的开口方向在重力方向上朝上；
8、和/或，第二安装槽具有第二开口，第二开口的开口方向在重力方向上朝上。
9、可选地，桨杆凸设有定位块，定位块沿着桨杆的长度方向延伸，定位块至少部分伸入固定件，且至少部分与承载部配合，以限制承舟馈入件的转动。
10、可选地，电极馈入装置还包括电极杆，电极杆的延伸方向与桨杆的延伸方向平行，电极杆与承舟馈入件连接。
11、第二方面，本申请实施例提供一种镀膜设备。镀膜设备包括工艺管和前述的电极馈入装置。电极馈入装置设置于工艺管中。
12、可选地，电极馈入装置包括两根桨杆，每根桨杆上设置有至少一个承舟件，至少一个承舟馈入件和固定件所构成的整体与承舟件间隔设置，承舟件与承舟馈入件用于承载载片舟；其中，在两根桨杆的间隔方向上，承舟件对应于承舟馈入件和固定件构成的整体。
13、本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，桨杆能够用于承载和安装固定件，而固定件能够用于安装承舟馈入件。可拆卸设置的承舟馈入件能够用于支撑载片舟，并且能够向载片舟内馈入电流。本申请所提出的电极馈入装置，承舟馈入件能够方便地从固定件上拆卸和安装，无需等待设备降温，承舟馈入件能够直接拆卸和维护，节省了设备的维护时间，提高了生产效率。
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1.一种电极馈入装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电极馈入装置，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的电极馈入装置，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的电极馈入装置，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的电极馈入装置，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的电极馈入装置，其特征在于：
7.根据权利要求2所述的电极馈入装置，其特征在于：
8.根据权利要求1所述的电极馈入装置，其特征在于：
9.如权利要求1所述的电极馈入装置，其特征在于：
10.一种镀膜设备，其特征在于，包括：
【技术特征摘要】
1.一种电极馈入装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电极馈入装置，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的电极馈入装置，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的电极馈入装置，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的电极馈入装置，其特征在于：
【专利技术属性】
技术研发人员：严大，徐兴文，张胜，李挺，廖宝臣，王亨，张良俊，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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