【技术实现步骤摘要】
本申请实施例涉及半导体制造领域，更特定来说，涉及用于监控边缘钝化效果的装置与方法。
技术介绍
1、近年来，在半导体领域特别是光伏领域中，为提高光伏组件的发电密度，日渐兴起了半片组件、多分片组件、拼片组件或叠瓦组件等组件技术。制作上述光伏组件的过程中需要使用小片光伏电池。为此，可在硅片、半成品电池或成品电池上通过激光无损切割等方式将整片硅片/电池分割成两片或更多片的小片硅片/电池。由于切割后的边缘表面是缺乏钝化层保护的裸硅，导致严重的表面电荷复合现象，降低少数载流子的寿命，影响电池的光电转换效率，进而影响光伏组件的发电功率。
2、为此，可在切割面上形成氧化硅、氧化铝、氮化硅、氮氧化硅等钝化膜，从而实现切割面的边缘钝化，以减少切割面的表面电荷复合。在对小片电池/硅片的切割面进行钝化膜沉积时，须避免沉积的钝化膜进入到电池或硅片的正、背面，以确保仅对切割面实施边缘钝化。因此，在设计边缘钝化载具/装置时，须掩盖住切割小片的正、背面，避免产生色差、光电转换效率异常等问题，仅裸露出切割面，从而确保仅将钝化膜沉积在切割面上。虽然此种边缘钝化...
【技术保护点】
1.一种用于监控边缘钝化效果的装置，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述监控片的表面与经曝露的所述至少一侧切割后侧表面平行。
3.根据权利要求1所述的装置，进一步包括：
4.根据权利要求3所述的装置，其中所述监控片载板经由卡点和卡槽中的至少一者固持所述监控片。
5.根据权利要求4所述的装置，其中所述卡槽可进一步经配置以包含分段和/或底托。
6.根据权利要求1所述的装置，其中所述监控片由多片监控子片拼接而成。
7.一种用于监控边缘钝化效果的方法，包括：
8.根据权利要求7所述的...
【技术特征摘要】
1.一种用于监控边缘钝化效果的装置，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述监控片的表面与经曝露的所述至少一侧切割后侧表面平行。
3.根据权利要求1所述的装置，进一步包括：
4.根据权利要求3所述的装置，其中所述监控片载板经由卡点和卡槽中的至少一者固持所述监控片。
5.根据权利要求4所述的装置，其中所述卡槽可进一步经配置以包含分段和/或底托。
6.根据权利要求1所述的装置，其中所述监控片由多片监控子片拼接而成。
7.一种用于监控边缘钝化效果的方...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖宝臣，杨柳，张鹏，范方宇，严大，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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