【技术实现步骤摘要】
本申请实施例涉及半导体制造领域，更特定来说，涉及用于监控边缘钝化效果的装置与方法。
技术介绍
1、近年来，在半导体领域特别是光伏领域中，为提高光伏组件的发电密度，日渐兴起了半片组件、多分片组件、拼片组件或叠瓦组件等组件技术。制作上述光伏组件的过程中需要使用小片光伏电池。为此，可在硅片、半成品电池或成品电池上通过激光无损切割等方式将整片硅片/电池分割成两片或更多片的小片硅片/电池。由于切割后的边缘表面是缺乏钝化层保护的裸硅，导致严重的表面电荷复合现象，降低少数载流子的寿命，影响电池的光电转换效率，进而影响光伏组件的发电功率。
2、为此，可在切割面上形成氧化硅、氧化铝、氮化硅、氮氧化硅等钝化膜，从而实现切割面的边缘钝化，以减少切割面的表面电荷复合。在对小片电池/硅片的切割面进行钝化膜沉积时，须避免沉积的钝化膜进入到电池或硅片的正、背面，以确保仅对切割面实施边缘钝化。因此，在设计边缘钝化载具/装置时，须掩盖住切割小片的正、背面，避免产生色差、光电转换效率异常等问题，仅裸露出切割面，从而确保仅将钝化膜沉积在切割面上。虽然此种边缘钝化载具能够确保仅裸露出切割面，但由于电池/硅片的切割片厚度非常薄，通常为50～150μm,这样会带来一个新的问题，在此切割面上现有的表征设备，无法评估或者监控在切割小片边缘所沉积的钝化膜的钝化效果，例如膜厚、膜厚均匀性及钝化性能等性能特征。边缘钝化性能无法评估，易导致光电转换效率不同的切割小片电池被封装在同一块光伏组件内，造成光伏组件el明暗片等不良。即，无法监控上述性能特征，就无法判定边缘钝化效果
3、然而，现有技术中尚缺乏对于切割面上沉积的钝化膜性能特征实施有效监控的技术手段。
技术实现思路
1、为解决上述问题，本专利技术创新性地提出了一种用于监控边缘钝化效果的装置与方法，其可在边缘钝化载具上对切割小片的切割面进行钝化膜沉积时，有效地监控所沉积钝化膜的各项性能特征。
2、本申请的一些实施例提供一种用于监控边缘钝化效果的装置，包括：一或多个载具，其中所述一或多个载具的每一者经配置以容置一或多片切割小片并曝露所述一或多片切割小片的至少一侧切割后侧表面；以及一或多个监控片，其邻近所述一或多片切割小片的至少一侧切割后侧表面，其中所述一或多个监控片中的至少一者经配置以与所述一或多片切割小片的至少一侧切割后侧表面同时沉积钝化膜。
3、本申请的另一些实施例提供一种用于监控边缘钝化效果的装置，其中所述监控片的表面与经曝露的所述至少一侧切割后侧表面平行。
4、本申请的另一些实施例提供一种用于监控边缘钝化效果的装置，进一步包括：承托载板，其经配置以承托所述一或多个载具；以及一或多个监控片载板，其垂直于所述承托载板设置，其中所述一或多个监控片载板中的至少一者经配置以固持所述一或多个监控片。
5、本申请的另一些实施例提供一种用于监控边缘钝化效果的装置，其中所述监控片载板经由卡点和卡槽中的至少一者固持所述监控片。
6、本申请的另一些实施例提供一种用于监控边缘钝化效果的装置，其中所述卡槽可进一步经配置以包含分段和/或底托。
7、在本申请的一些实施例中提供一种用于监控边缘钝化效果的方法，包括：曝露一或多片切割小片的切割后侧表面；将监控片固定安置于邻近所述切割后侧表面；在所述监控片和所述切割后侧表面上同时沉积钝化膜；以及检测所述监控片上的钝化膜，以确定所述切割后侧表面上的边缘钝化效果。
8、本申请的另一些实施例提供一种用于监控边缘钝化效果的方法，其中所述监控片与经曝露的所述切割后侧表面平行。
9、本申请的另一些实施例提供一种用于监控边缘钝化效果的方法，其中所述监控片固定安置于所述切割后侧表面的相对一侧。
10、本申请的另一些实施例提供一种用于监控边缘钝化效果的方法，其中所述监控片与所述一或多片切割小片具有相同或相近的材质。
11、本申请的另一些实施例提供一种用于监控边缘钝化效果的方法，其中所述监控片经由卡点和卡槽中的至少一者固定安置于所述切割后侧表面的所述相对一侧。
12、应了解，本公开的广泛形式及其各自特征可以结合使用、可互换及/或独立使用，并且不用于限制参考单独的广泛形式。
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1.一种用于监控边缘钝化效果的装置，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述监控片的表面与经曝露的所述至少一侧切割后侧表面平行。
3.根据权利要求1所述的装置，进一步包括：
4.根据权利要求3所述的装置，其中所述监控片载板经由卡点和卡槽中的至少一者固持所述监控片。
5.根据权利要求4所述的装置，其中所述卡槽可进一步经配置以包含分段和/或底托。
6.根据权利要求1所述的装置，其中所述监控片由多片监控子片拼接而成。
7.一种用于监控边缘钝化效果的方法，包括：
8.根据权利要求7所述的方法，其中所述监控片与经曝露的所述切割后侧表面平行。
9.根据权利要求7所述的方法，其中所述监控片固定安置于所述切割后侧表面的相对一侧。
10.根据权利要求7所述的方法，其中所述监控片与所述一或多片切割小片具有相同或相近的材质。
11.根据权利要求7至9中任一者所述的方法，其中所述监控片经由卡点和卡槽中的至少一者固定安置于所述切割后侧表面的所述相对一侧。
12.根据权利
...【技术特征摘要】
1.一种用于监控边缘钝化效果的装置，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述监控片的表面与经曝露的所述至少一侧切割后侧表面平行。
3.根据权利要求1所述的装置，进一步包括：
4.根据权利要求3所述的装置，其中所述监控片载板经由卡点和卡槽中的至少一者固持所述监控片。
5.根据权利要求4所述的装置，其中所述卡槽可进一步经配置以包含分段和/或底托。
6.根据权利要求1所述的装置，其中所述监控片由多片监控子片拼接而成。
7.一种用于监控边缘钝化效果的方...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖宝臣，杨柳，张鹏，范方宇，严大，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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