一种立式石英舟制造技术

一种立式石英舟，包括石英舟本体，石英舟本体包括上连接架

【技术实现步骤摘要】
一种立式石英舟


[0001]本技术涉及硅片加工制造领域，具体涉及一种立式石英舟
。

技术介绍

[0002]石英舟，又名石英玻璃，石英玻璃以二氧化硅为原料高温熔制而成，其二氧化硅含量比普通玻璃高得多，一般石英玻璃二氧化硅含量在
99.999
％；石英玻璃具有优异的光学性能，不仅可见光透光度特别好，而且透紫外线
、
红外线；石英玻璃主要用于电光源
、
半导体
、
光学新技术等方面
。
[0003]现有石英舟一般用于硅片的加工制造，具体用于搁置硅片，从而方便硅片进行扩散处理，然而现有硅片一般搁置于放置杆的放置槽上，其放置槽底面为水平面，硅片在搁置好后，其硅片下表面贴于放置槽底面上，因硅片与放置槽底面采用面贴面的搁置方式，其接触面积较大，而接触部分的面积因面贴面其无法扩散处理到，导致该部分面积出现加工瑕疵，因此一种可以减少硅片接触面积的立式石英舟是我们所需要的
。

技术实现思路

[0004]本技术就是为了解决提供一种可以减少硅片接触面积的立式石英舟技术问题
。
[0005]为解决上述技术问题，本技术一种立式石英舟的技术解决方案为：
[0006]包括石英舟本体；所述石英舟本体包括上连接架
、
下连接架以及多根连接在上连接架与下连接架之间的放置杆；多根所述放置杆上开皆设有放置槽，且多根所述放置杆上开设有的放置槽相互对应，还包括可拆卸固定于放置槽上的放置座；所述放置座包括两安装板以及连接于两安装板之间的上放置板与侧放置板；所述上放置板与侧放置板相邻；所述上放置板上表面为倾斜面；所述侧放置板外侧连接有凸点
。
[0007]所述倾斜面的倾斜角度为6°
至
20
°
。
[0008]所述放置座与放置槽卡接
。
[0009]两所述安装板分别通过螺栓固定于放置杆上
。
[0010]所述上连接架与下连接架之间连接有三根放置杆
。
[0011]本技术可以达到的技术效果是：本技术一种立式石英舟，包括石英舟本体，石英舟本体包括上连接架
、
下连接架以及多根连接在上连接架与下连接架之间的放置杆，多根所述放置杆上开皆设有放置槽，且多根所述放置杆上开设有的放置槽相互对应，本技术一种立式石英舟还包括可拆卸固定于放置槽上的放置座，放置座包括两安装板以及连接于两安装板之间的上放置板与侧放置板，上放置板上表面为倾斜面，侧放置板外侧连接有凸点；本技术硅片通过搁置于凸点上或倾斜面上而进行放置，当硅片搁置于凸点上时，凸点与硅片接触从而减少了硅片的接触面积；当硅片搁置于倾斜面上时，硅片外边沿与倾斜面接触从而减少了硅片的接触面积
。
附图说明
[0012]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明：
[0013]图1是本技术一种立式石英舟的结构示意图；
[0014]图2是图1的
A
部放大图；
[0015]图3是本技术一种立式石英舟未固定放置座的结构示意图；
[0016]图4是图3的
B
部放大图；
[0017]图5是放置座的结构示意图；
[0018]图6是本技术一种立式石英舟的竖向剖视图；
[0019]图7是图6的
C
部放大图；
[0020]图8是图6的
D
部放大图；
[0021]图9是本技术一种立式石英舟的横向剖视图
。
具体实施方式
[0022]下面结合附图对本技术作进一步详细的阐述
。
[0023]参阅图1至图
9。
[0024]一种立式石英舟，包括石英舟本体，石英舟本体包括上连接架
1、
下连接架2以及多根连接在上连接架1与下连接架2之间的放置杆4，具体的，上连接架1与下连接架2之间连接有三根放置杆4；三根放置杆4上开皆设有放置槽5，且三根放置杆4上开设有的放置槽5相互对应，具体的，三根放置杆4上开设有相互对应的放置槽5位于同一高度，从而在相互对应的放置槽5上放置硅片3时，硅片3不易倾斜掉落
。
[0025]本技术一种立式石英舟，还包括可拆卸固定于放置槽5上的放置座，具体的，放置座可以采用卡接的方式与放置槽5连接，也可以通过螺栓与放置槽5连接；当放置座通过螺栓与放置槽5连接时，两安装板6分别通过螺栓固定于放置杆4上
。
[0026]放置座包括两安装板6以及连接于两安装板6之间的上放置板7与侧放置板8，上放置板7与侧放置板8相邻
(
参考图2或图
5)
；上放置板7上表面为倾斜面9，具体的，倾斜面9的倾斜角度为6°
至
20
°
；侧放置板8外侧连接有凸点
10。
使用时，本技术通过在三根放置杆4其同一高度的放置槽5上安装放置座，且同一高度放置槽5上安装的放置座皆以倾斜面9为支撑，即上放置板7位于放置槽5内
(
参考图
8)
，这时硅片3放置于三个上放置板7的倾斜面9上从而进行支撑，具体的，硅片3外边沿分别搁置于三个上放置板7的倾斜面9上进行支撑，相对现有面与面的接触方式其接触面积较小；当然本技术还可以通过在三根放置杆4其同一高度的放置槽5上安装放置座，且同一高度放置槽5上安装的放置座皆以侧放置板8为支撑，即侧放置板8位于放置槽5内
(
参考图
7)
，这时硅片3放置于侧放置板8的凸点
10
上方进行支撑，相对现有面与面的接触方式其接触面积较小
。
综上所述，本技术可以根据情况，改变放置座的安装方式，从而决定硅片3的放置方式
(
即可以采用倾斜面9支撑也可以采用凸点
10
支撑
)
；本技术因放置槽5内空间较小，其加工倾斜面9或凸点
10
较为困难，因此放置座采用可拆卸的固定方式，放置座在加工倾斜面9或凸点
10
相对方便；本技术在硅片3放置好后，其硅片3与放置槽5侧壁存在间距
L1(
参考图
7)
，间距距离在
0.5
至
2.5
毫米，且硅片3中心位于三根放置杆4的支撑点形成的三角区域内，具体的，硅片3离侧边两根放置杆4支撑点的横向间距
L2
为5‑
10
毫米
(
参考图
9)
，这样硅片3放置较为稳固
。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种立式石英舟，包括石英舟本体；所述石英舟本体包括上连接架
(1)、
下连接架
(2)
以及多根连接在上连接架
(1)
与下连接架
(2)
之间的放置杆
(4)
；多根所述放置杆
(4)
上开皆设有放置槽
(5)
，且多根所述放置杆
(4)
上开设有的放置槽
(5)
相互对应，其特征在于：还包括可拆卸固定于放置槽
(5)
上的放置座；所述放置座包括两安装板
(6)
以及连接于两安装板
(6)
之间的上放置板
(7)
与侧放置板
(8)
；所述上放置板
(7)
与侧放置板
(8)
相邻；所述上放...

【专利技术属性】
技术研发人员：王卫良，李士昌，刘超平，戴瀚焘，
申请(专利权)人：盛吉盛精密制造绍兴有限公司，
类型：新型
国别省市：