一种半导体石英板材无缝弯曲设备制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体石英板材无缝弯曲设备，炙烤装置包括设置在一对竖直支撑板的左部上方的炙烤组件；还包括弯曲装置和冷却装置；弯曲装置包括左右移动设置在一对竖直支撑板左部之间的“凵”字型的左右移动座；左右移动座的开口内竖直移动设置有“凵”字型的竖直移动座；竖直移动座的一对竖直部上端之间成型有弯曲导向辊；左右移动座的上端之间旋转设置有折弯组件；折弯组件包括旋转设置在左右移动座的上端之间的折弯支座和设置在折弯支座上的折弯驱动板；冷却装置设置在一对竖直支撑板的左上端之间并且用于冷却弯曲导向辊和水平状态的折弯驱动板。本发明专利技术具有使得加工所得的半导体石英板材的弯曲部分不留缝隙并且光滑的效果。效果。效果。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体石英板材无缝弯曲设备


[0001]本专利技术涉及石英板材加工的领域，尤其是涉及一种半导体石英板材无缝弯曲设备。

技术介绍

[0002]在半导体设备中，有时候需要用到一些体积较大的石英部件，例如石英板材，而在具体应用时，有时候需要带有弯曲部分的石英板，目前获得此类板材一般通过将两块平直的石英板拼合焊接。
[0003]针对上述中的相关技术，专利技术人认为存在有以下缺陷：焊接过程中存在局部漏焊的情况，而石英部件在半导体设备中进行应用时要求必须完全密封；通过此方式得到的石英板在其焊接部位通常较为扭曲，后续需要对此部分进行机加工，这样既增加工序步骤，同时也存在加工破坏的风险。

技术实现思路

[0004]为了解决通过焊接方式得到的石英板存在漏焊和焊接部分还需再机加工的技术问题，本专利技术提供一种半导体石英板材无缝弯曲设备。
[0005]本专利技术提供的一种半导体石英板材无缝弯曲设备采用如下的技术方案：一种半导体石英板材无缝弯曲设备，包括支架和炙烤装置；支架包括一对前后分布的竖直支撑板；半导体石英板材从一对所述竖直支本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体石英板材无缝弯曲设备，包括支架和炙烤装置（30）；支架包括一对前后分布的竖直支撑板（10）；半导体石英板材（40）从一对所述竖直支撑板（10）的右端开口进入；一对所述竖直支撑板（10）的右上部之间旋转设置有若干驱动辊（12）；所有的所述驱动辊（12）处于同一水平面上；所述炙烤装置（30）包括设置在一对所述竖直支撑板（10）的左部上方的炙烤组件；所述炙烤组件用于竖直向下喷出高温火焰；其特征在于：还包括弯曲装置（50）和冷却装置（60）；所述弯曲装置（50）包括左右移动设置在一对所述竖直支撑板（10）左部之间的“凵”字型的左右移动座（53）；所述左右移动座（53）的开口内竖直移动设置有“凵”字型的竖直移动座（551）；所述竖直移动座（551）的一对竖直部上端之间成型有弯曲导向辊（55）；所述左右移动座（53）的上端之间旋转设置有折弯组件（56）；所述折弯组件（56）包括旋转设置在所述左右移动座（53）的上端之间的折弯支座和设置在所述折弯支座上的折弯驱动板（563）；所述折弯驱动板（563）的长度方向与所述弯曲导向辊（55）的轴向平行；所述冷却装置（60）设置在一对所述竖直支撑板（10）的左上端之间并且用于冷却所述弯曲导向辊（55）和水平状态的所述折弯驱动板（563）。2.根据权利要求1所述的一种半导体石英板材无缝弯曲设备，其特征在于：所述冷却装置（60）包括设置在一对所述竖直支撑板（10）的左上端之间的冷却座（61）；所述冷却座（61）的右端面上部成型有供折弯驱动板（563）水平插入的上冷却槽（610）、下部成型有供弯曲导向辊（55）水平插入的下冷却槽（6100）；所述上冷却槽（610）和所述下冷却槽（6100）的上侧壁、左侧壁和下侧壁上分别设置有若干均匀分布的空气喷嘴（62）；所述空气喷嘴（62）与外部的供气装置连接。3.根据权利要求1所述的一种半导体石英板材无缝弯曲设备，其特征在于：所述弯曲装置（50）还包括间歇等角度旋转机构（57）；所述间歇等角度旋转机构（57）驱动所述折弯支座间歇等角度旋转。4.根据权利要求3所述的一种半导体石英板材无缝弯曲设备，其特征在于：所述折弯支座包括旋转设置在所述左右移动座（53）的竖直部上端的折弯中心轴（562）；所述折弯中心轴（562）的外侧端固定有折弯从动齿轮（565）；所述折弯中心轴（562）的外侧端套设有扭簧（566）；所述扭簧（566）的一端固定在所述左右移动座（53）的竖直部上、另一端固定在折弯从动齿轮（565）上；一对所述竖直支撑板（10）相互靠近的端面中部上端左右滑行设置有中心传递座（573）...

【专利技术属性】
技术研发人员：王卫良，李士昌，刘超平，蒋建新，戴瀚焘，
申请(专利权)人：盛吉盛精密制造绍兴有限公司，
类型：发明
国别省市：