表面蚀刻吊篮制造技术

本实用新型专利技术涉及硅材料蚀刻技术领域，具体涉及表面蚀刻吊篮，包括两个侧板以及保持二者相对位置不变的连接件，所述侧板镂空设置，两个所述侧板之间设置有多个可转动的夹持件，相对的两个所述夹持件之间活动连接有硅晶圆工件，所述硅晶圆工件跟随所述夹持件的转动发生旋转。本实用新型专利技术中，相邻滚轮之间设置有硅晶圆工件，硅晶圆工件的环壁与滚轮端面上的锥面抵接，可有效降低工件与滚轮的接触面积，均匀且稳定地蚀刻，通过调整相邻滚轮之间的间隙和锥面的斜度还可以灵活适用于多种产品的蚀刻。锥面的斜度还可以灵活适用于多种产品的蚀刻。锥面的斜度还可以灵活适用于多种产品的蚀刻。

【技术实现步骤摘要】
表面蚀刻吊篮


[0001]本技术涉及硅材料蚀刻
，具体涉及表面蚀刻吊篮。

技术介绍

[0002]在硅晶圆的加工工序中，需要对其表面进行蚀刻，以传统方式对硅晶圆表面进行蚀刻时，尚没有有效载具来控制其表面蚀刻作业，常使产品尺寸预留值难以调整，也可以使用物理遮蔽方式确保部分区域不过量蚀刻，但操作繁琐，耗时费力，极大地降低了加工效率，有待进一步优化。

技术实现思路

[0003]为了克服上述的技术问题，本技术的目的在于提供表面蚀刻吊篮，本装置作为硅晶圆蚀刻专用载具，能够有效控制硅晶圆的单位蚀刻量，并维持蚀刻稳定度，操作简单，使用方便。
[0004]本技术的目的可以通过以下技术方案实现：
[0005]表面蚀刻吊篮，包括两个侧板以及保持二者相对位置不变的连接件，两个所述侧板之间设置有多个可转动的夹持件，相对的两个所述夹持件之间活动连接有硅晶圆工件，所述硅晶圆工件跟随所述夹持件的转动发生旋转。
[0006]进一步在于，所述侧板镂空设置。
[0007]进一步在于，所述连接件包括镜像对称设置的四个固定杆一以及两个固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.表面蚀刻吊篮，其特征在于，包括两个侧板(1)以及保持二者相对位置不变的连接件，两个所述侧板(1)之间设置有多个可转动的夹持件，相对的两个所述夹持件之间活动连接有硅晶圆工件，所述硅晶圆工件跟随所述夹持件的转动发生旋转。2.根据权利要求1所述的表面蚀刻吊篮,其特征在于，所述侧板(1)镂空设置。3.根据权利要求1或2所述的表面蚀刻吊篮,其特征在于，所述连接件包括镜像对称设置的四个固定杆一(11)以及两个固定杆二(12)，其中，所述固定杆一(11)位于所述侧板(1)的上侧，所述固定杆二(12)位于所述侧板(1)的下侧。4.根据权利要求3所述的表面蚀刻吊篮,其特征在于，所述侧板(1)的中部开设有镜像对称的多个卡槽一(2)和卡槽二(21)，所述夹持件在相对的两个所述卡槽一(2)或所述卡槽二(21)之间转动连接。5.根据权利要求4所述的表面蚀刻吊篮...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑人豪，
申请(专利权)人：合盟精密工业合肥有限公司，
类型：新型
国别省市：