本实用新型专利技术公开了一种微型遮蔽蚀刻承载装置，包括相对设置的上遮蔽组件、下遮蔽组件、用于对硅盘定位的第一定位组件和用于对上遮蔽组件和所述下遮蔽组件定位的第二定位组件。所述上遮蔽组件和所述下遮蔽组件均包括环形遮蔽板和卡固在所述环形遮蔽板上的环形橡胶垫，所述环形橡胶垫突出所述环形遮蔽板设置，硅盘放置在所述下遮蔽组件上，所述上遮蔽组件盖设在硅盘上。呈上下设置的两个环形遮蔽板将硅盘固定在中间同时对硅盘的外圈进行遮蔽，避免无需刻蚀区域被污染或者损坏。同时设置环形橡胶垫起到对硅盘的防护作用，避免硅盘直接与环形遮蔽板接触造成磨损。环形遮蔽板接触造成磨损。环形遮蔽板接触造成磨损。
【技术实现步骤摘要】
一种微型遮蔽蚀刻承载装置
[0001]本技术涉及承载治具
，更具体地说，涉及一种微型遮蔽蚀刻承载装置。
技术介绍
[0002]硅材蚀刻工艺广泛，但针对不同产品的工艺也有不同要求，在特定的加工工艺要求下，硅材部分区域需要蚀刻而部分区域不需蚀刻，为了避免在刻蚀过程中对无需刻蚀区域的污染和损坏，需要对无需刻蚀的区域进行遮蔽，现有的承载装置不具有遮蔽功能。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种微型遮蔽蚀刻承载装置，用以解决上述
技术介绍
中存在的技术问题。
[0004]本技术技术方案一种微型遮蔽蚀刻承载装置，包括相对设置的上遮蔽组件、下遮蔽组件、用于对硅盘定位的第一定位组件和用于对上遮蔽组件和所述下遮蔽组件定位的第二定位组件；
[0005]所述上遮蔽组件和所述下遮蔽组件均包括环形遮蔽板和卡固在所述环形遮蔽板上的环形橡胶垫，所述环形橡胶垫突出所述环形遮蔽板设置，硅盘放置在所述下遮蔽组件上，所述上遮蔽组件盖设在硅盘上。
[0006]在一个优选地实施例中，所述上遮蔽组件和所述下遮蔽组件上均设置有一个环形卡槽，所述环形橡胶垫卡固在所述环形卡槽中。
[0007]在一个优选地实施例中，所述第一定位组件包括两间隔设置在下遮蔽组件的所述环形遮蔽板上的两个定位柱，所述定位柱靠近所述环形橡胶垫设置，且两个所述定位柱位于与所述环形遮蔽板同圆形的同一圆周上。
[0008]在一个优选地实施例中，所述环形遮蔽板上位于所述环形卡槽外周向设置有有若干个定位孔，所述第二定位组件穿过所述定位孔设置。
[0009]在一个优选地实施例中，所述第二定位组件包括若干个定位销，所述定位销依次穿两所述环形遮蔽板上的定位孔。
[0010]本技术技术方案的有益效果是：
[0011]1.呈上下设置的两个环形遮蔽板将硅盘固定在中间同时对硅盘的外圈进行遮蔽，避免无需刻蚀区域被污染或者损坏。同时设置环形橡胶垫起到对硅盘的防护作用，避免硅盘直接与环形遮蔽板接触造成磨损。
[0012]2.通过第一定位组件使硅盘位置放置准确，即与环形遮蔽板呈同心设置，避免其发生位置偏移。第二定位组件对上方的环形遮蔽板进行定位，使得上下两个环形遮蔽板在位置重合，保证硅盘、上下两个环形遮蔽板位置对齐。
附图说明
[0013]图1为本技术结构拆解图，
[0014]图2为本技术环形遮蔽板与环形橡胶垫固定图，
[0015]图3为本技术硅盘放置在环形橡胶垫上结构图，
[0016]图4为本技术固定后结构图。
[0017]附图标记说明：1上遮蔽组件、2下遮蔽组件、3环形遮蔽板、4环形卡槽、5环形橡胶垫、6定位柱、7定位销、8定位孔、9硅盘。
具体实施方式
[0018]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。本技术的实施例是为了示例和描述方便起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本技术限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本技术的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本技术从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
[0019]如图1
‑
4所示，本技术技术方案一种微型遮蔽蚀刻承载装置，包括相对设置的上遮蔽组件1、下遮蔽组件2、用于对硅盘9定位的第一定位组件和用于对上遮蔽组件1和所述下遮蔽组件2定位的第二定位组件。所述上遮蔽组件1和所述下遮蔽组件2均包括环形遮蔽板3和卡固在所述环形遮蔽板3上的环形橡胶垫5，所述环形橡胶垫5突出所述环形遮蔽板3设置，硅盘9放置在所述下遮蔽组件2上，所述上遮蔽组件1盖设在硅盘9上。
[0020]呈上下设置的两个环形遮蔽板3将硅盘9固定在中间同时对硅盘9的外圈进行遮蔽，避免无需刻蚀区域被污染或者损坏。在进行硅盘9的遮蔽固定时，通过第一定位组件使硅盘9位置放置准确，即与环形遮蔽板3呈同心设置，避免其发生位置偏移。第二定位组件对上方的环形遮蔽板3进行定位，使得上下两个环形遮蔽板3在位置重合，然后再通过螺栓将上下两个环形遮蔽板3固定，即可实现对硅盘9的遮蔽和固定。
[0021]所述上遮蔽组件1和所述下遮蔽组件2上均设置有一个环形卡槽4，所述环形橡胶垫5卡固在所述环形卡槽4中。进行固定前，将环形橡胶垫5卡在环形卡槽4中即可，卡入后环形橡胶垫5突出环形卡槽4。环形橡胶垫5起到对硅盘9的防护作用，避免硅盘9直接与环形遮蔽板3接触造成磨损。
[0022]所述第一定位组件包括两间隔设置在下遮蔽组件2的所述环形遮蔽板3上的两个定位柱6，所述定位柱6靠近所述环形橡胶垫5设置，且两个所述定位柱6位于与所述环形遮蔽板3同圆形的同一圆周上。硅盘9上肢在位于下方的环形橡胶垫5上，然后推动其至侧边与两个所述定位柱6想抵，即可完成对硅盘9的定位。
[0023]所述环形遮蔽板3上位于所述环形卡槽4外周向设置有有若干个定位孔8，所述第二定位组件穿过所述定位孔8设置。所述第二定位组件包括若干个定位销7，所述定位销7依次穿两所述环形遮蔽板3上的定位孔8。硅盘9定位后，将上遮蔽组件1盖在硅盘9上，然后将定位销7依次穿过上下两个环形遮蔽板3上的定位孔8，即可完成上下两个环形遮蔽板3的位置对齐。然后通过螺栓锁紧，螺栓也通过定位孔8对上下两个环形遮蔽板3固定。
[0024]显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域及相关领域的普通技术人员在没有作出创造性劳动的
前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本技术保护的范围。本技术中未具体描述和解释说明的结构、装置以及操作方法，如无特别说明和限定，均按照本领域的常规手段进行实施。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微型遮蔽蚀刻承载装置，其特征在于：包括相对设置的上遮蔽组件、下遮蔽组件、用于对硅盘定位的第一定位组件和用于对上遮蔽组件和所述下遮蔽组件定位的第二定位组件；所述上遮蔽组件和所述下遮蔽组件均包括环形遮蔽板和卡固在所述环形遮蔽板上的环形橡胶垫，所述环形橡胶垫突出所述环形遮蔽板设置，硅盘放置在所述下遮蔽组件上，所述上遮蔽组件盖设在硅盘上。2.根据权利要求1所述的一种微型遮蔽蚀刻承载装置，其特征在于：所述上遮蔽组件和所述下遮蔽组件上均设置有一个环形卡槽，所述环形橡胶垫卡固在所述环形卡槽中。3.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑人豪，
申请(专利权)人：合盟精密工业合肥有限公司，
类型：新型
国别省市：
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