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本实用新型涉及硅材料蚀刻技术领域，具体涉及表面蚀刻吊篮，包括两个侧板以及保持二者相对位置不变的连接件，所述侧板镂空设置，两个所述侧板之间设置有多个可转动的夹持件，相对的两个所述夹持件之间活动连接有硅晶圆工件，所述硅晶圆工件跟随所述夹持件的转...
该专利属于合盟精密工业（合肥）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合盟精密工业（合肥）有限公司授权不得商用。

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