一种通用硅材目检装置制造方法及图纸

本技术公开了一种通用硅材目检装置，涉及硅材目检技术领域，包括由下至上依次设置的底座、旋转件和检验平台，所述旋转件与所述底座转轴承连接，所述检验平台与所述旋转件滑动连接。所述检验平台包括若干块扇形的检验板，每一块所述检验板均与所述旋转件滑动连接，若干块所述检验板滑动聚拢时拼接成一个圆板，若干块所述检验板通过连接件连接，若干块所述检验板同步滑动。本方案将检验平台设置为可以移动式，通过设置若干块检验板，检验板可以在旋转件上进行滑动，以实现检验平台的尺寸调节，满足不同规格的硅材检测，相较于固定尺寸的检验平台，本方案的目检装置通用性较高，满足多种规格硅材检测，硅片和硅环同时适用，降低检测成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术硅材目检，更具体地说，涉及一种通用硅材目检装置。

技术介绍

1、硅片或者硅环在进行目检时，是将硅片或者硅环放置在可旋转的转盘上，然后是利用转盘做旋转运动，分区块进行硅片目检，及厚度量测。现有的检测机构旋转平台的尺寸都是固定的，但是硅材的尺寸种类繁多，因此现有的硅材目检装置通用性较差。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种通用硅材目检装置，用以解决上述
技术介绍
中存在的技术问题。

2、本技术技术方案提供一种通用硅材目检装置，包括由下至上依次设置的底座、旋转件和检验平台，所述旋转件与所述底座转轴承连接，所述检验平台与所述旋转件滑动连接；

3、所述检验平台包括若干块扇形的检验板，每一块所述检验板均与所述旋转件滑动连接，若干块所述检验板滑动聚拢时拼接成一个圆板，若干块所述检验板通过连接件连接，若干块所述检验板同步滑动。

4、在一个优选地实施例中，所述检验板上设置有防滑条，所述防滑条的长度与所述检验板的侧边长度相适应。

5、在一个优选地实施例中，所述旋转件包括下本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种通用硅材目检装置，其特征在于：包括由下至上依次设置的底座、旋转件和检验平台，所述旋转件与所述底座转轴承连接，所述检验平台与所述旋转件滑动连接；

2.根据权利要求1所述的一种通用硅材目检装置，其特征在于：所述检验板上设置有防滑条，所述防滑条的长度与所述检验板的侧边长度相适应。

3.根据权利要求1所述的一种通用硅材目检装置，其特征在于：所述旋转件包括下层的夹板和上层的支撑板，所述支撑板与所述夹板螺栓连接，所述夹板与所述底座轴承连接，所述检验板与所述支撑板滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种通用硅材目检装置，其特征在于：所述支撑板上设置有所述检验...

【技术特征摘要】

1.一种通用硅材目检装置，其特征在于：包括由下至上依次设置的底座、旋转件和检验平台，所述旋转件与所述底座转轴承连接，所述检验平台与所述旋转件滑动连接；

2.根据权利要求1所述的一种通用硅材目检装置，其特征在于：所述检验板上设置有防滑条，所述防滑条的长度与所述检验板的侧边长度相适应。

3.根据权利要求1所述的一种通用硅材目检装置，其特征在于：所述旋转件包括下层的夹板和上层的支撑板，所述支撑板与所述夹板螺栓连接，所述夹板与所述底座轴承连接，所述检验板与所述支撑板滑动连接。

【专利技术属性】
技术研发人员：郑人豪，
申请(专利权)人：合盟精密工业合肥有限公司，
类型：新型
国别省市：