一种硅片清洗架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片清洗架，包括清洗箱和架体，清洗箱的上端设有冲水盘，冲水盘上设有冲洗喷头，冲水盘的一端通过输液管连接有储液箱，架体沿圆周方向均匀排布有插片孔，插片孔的两端设有固定块，固定块的一侧设有缓冲垫，架体的下端设有伸缩的底板，底板上设有漏液孔，架体的中心处设有螺纹孔，螺纹孔内转动设有丝杆，丝杆的另一端通过联轴器连接有驱动电机，清洗箱的底部设有蓄水池。本实用新型专利技术与现有技术相比的优点在于：架体的圆周方向上插入硅片，单件进行存储，存储量大；倾斜设置的插片孔与底部可伸缩的底板配合，方便容纳多尺寸的硅片；通过丝杆与螺纹孔配合，实现架体的上下移动，从而控制架体内的硅片冲洗和浸泡工作。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗架
本技术涉及硅片加工设备
，具体是指一种硅片清洗架。
技术介绍
硅片的制备工艺主要包括清洗、去损伤层、制绒、扩散制结、刻蚀、沉积减反射膜、丝网印刷、烧结、电池片测试等。现有的清洗架就是一个过滤篮结构，将硅片叠放在一起，进行清洗，相邻的硅片会因为叠放紧贴，局部压力过大，导致硅片碎裂，而且硅片与硅片贴合的一面清洗不到，清洗效果差。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服上述技术的缺陷，提供一种硅片清洗架。为解决上述技术问题，本技术提供的技术方案为：一种硅片清洗架，包括清洗箱和设置在清洗箱内的架体，所述清洗箱的上端设有冲水盘，所述冲水盘上设有冲洗喷头，所述冲水盘的一端通过输液管连接有储液箱，所述储液箱内设有泵机，所述架体为圆盘形结构，所述架体沿圆周方向均匀排布有放置硅片的插片孔，所述插片孔倾斜设置，所述插片孔的两端设有固定块，所述固定块朝向硅片的一侧设有缓冲垫，所述架体的下端设有伸缩的底板，所述底板上设有漏液孔，所述架体的中心处设有螺纹孔，所述螺纹孔内转动设有丝杆，所述丝杆的一端与清洗箱转动连接，所述丝本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片清洗架，包括清洗箱(1)和设置在清洗箱(1)内的架体(2)，其特征在于：所述清洗箱(1)的上端设有冲水盘(3)，所述冲水盘(3)上设有冲洗喷头(4)，所述冲水盘(3)的一端通过输液管(5)连接有储液箱(6)，所述储液箱(6)内设有泵机(7)，所述架体(2)为圆盘形结构，所述架体(2)沿圆周方向均匀排布有放置硅片的插片孔(8)，所述插片孔(8)倾斜设置，所述插片孔(8)的两端设有固定块(9)，所述固定块(9)朝向硅片的一侧设有缓冲垫(10)，所述架体(2)的下端设有伸缩的底板(11)，所述底板(11)上设有漏液孔(12)，所述架体(2)的中心处设有螺纹孔，所述螺纹孔内转动设有丝杆(1...

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗架，包括清洗箱(1)和设置在清洗箱(1)内的架体(2)，其特征在于：所述清洗箱(1)的上端设有冲水盘(3)，所述冲水盘(3)上设有冲洗喷头(4)，所述冲水盘(3)的一端通过输液管(5)连接有储液箱(6)，所述储液箱(6)内设有泵机(7)，所述架体(2)为圆盘形结构，所述架体(2)沿圆周方向均匀排布有放置硅片的插片孔(8)，所述插片孔(8)倾斜设置，所述插片孔(8)的两端设有固定块(9)，所述固定块(9)朝向硅片的一侧设有缓冲垫(10)，所述架体(2)的下端设有伸缩的底板(11)，所述底板(11)上设有漏液孔(12)，所述架体(2)的中心处设有螺纹孔，所述螺纹孔内转动设有丝杆(13)，所述丝杆(13)的一端与清洗箱(1)转动连接，所述丝杆(13)的另一端通过联轴器连接有驱动电机(14)，所述驱动电机(14)固定在清洗箱(1)上，所述清洗箱(1)的底部设有蓄水池(15)，所述蓄水池(15)内设有超声波清洗器...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫善韵，
申请(专利权)人：昆山林赛自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32