下载一种硅片清洗架的技术资料

文档序号:28041532

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本实用新型公开了一种硅片清洗架,包括清洗箱和架体,清洗箱的上端设有冲水盘,冲水盘上设有冲洗喷头,冲水盘的一端通过输液管连接有储液箱,架体沿圆周方向均匀排布有插片孔,插片孔的两端设有固定块,固定块的一侧设有缓冲垫,架体的下端设有伸缩的底板,底...
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