【技术实现步骤摘要】
一种便于检测芯片的载板
本申请涉及芯片检测
,尤其是涉及一种便于检测芯片的载板。
技术介绍
芯片/晶片、微电路、微芯片在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上。在芯片的生产过程中,需要对芯片成品做取样检测,在检测时需要先将待测芯片表层的塑封料去除,由于直接将塑封料完全去除干净就可能会损害待测试的芯片,所以通常先将待测芯片表侧研磨至露出晶背和锡球表层,再将经过研磨处理的待测芯片放入烧杯中,采用酸法去除多余的塑封料和锡球,进而不会对待测芯片产生破坏。针对上述中的相关技术,专利技术人认为采用酸法去除残留塑封料和锡球时,将待测芯片直接放入装有酸的烧杯中,待测芯片周侧拐角处时常受到碰撞或摩擦而发生损坏,从而影响对待测芯片做取样检测的效果。
技术实现思路
为了能够使芯片在去除塑封料和锡球的过程中,减少对芯片拐角造成的损害,本申请提供一种便于检测芯片的载板。本申请提供的一种便于检测芯片的载板采用如下的技术方案:一种便于检测 ...
【技术保护点】
1.一种便于检测芯片的载板,其特征在于:包括载板本体(1),所述载板本体(1)包括基板(2),所述基板(2)上一体设置有用于盛放待测芯片(10)的盛放部(3),所述基板(2)上位于盛放部(3)的周侧一体设置有保护部(4)。/n
【技术特征摘要】
1.一种便于检测芯片的载板,其特征在于:包括载板本体(1),所述载板本体(1)包括基板(2),所述基板(2)上一体设置有用于盛放待测芯片(10)的盛放部(3),所述基板(2)上位于盛放部(3)的周侧一体设置有保护部(4)。
2.根据权利要求1所述的一种便于检测芯片的载板,其特征在于:所述基板(2)与所述保护部(4)的周侧拐角上设置有导弧面(5)。
3.根据权利要求2所述的一种便于检测芯片的载板,其特征在于:所述导弧面(5)的侧壁上设置有减震层(6)。
4.根据权利要求1所述的一种便于检测芯片的载板,其特征在于:所述基板(2)远离盛放部(3)的一侧壁上设置有多个夹持槽(7),...
【专利技术属性】
技术研发人员:高峰,李苏佼,叶金明,孙敏杰,陈磊,
申请(专利权)人:闳康技术检测上海有限公司,
类型:新型
国别省市:上海;31
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