【技术实现步骤摘要】
本申请涉及样品存放设备的领域，尤其是涉及一种用于易氧化样品的真空储存装置。
技术介绍
1、聚焦离子束（focused ion beam，简称fib）是一种利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器。fib是将离子源（大多数fib都用ga，也有设备具有he和ne离子源）产生的离子束经过离子枪加速，聚焦后作用于样品表面。
2、常用的fib机台样品制作完成后，直接将样品存放于fib机台内的真空腔体，从而避免样品接触空气而被氧化。
3、fib机台的真空腔体内通常会存放多个样品，当需要取出其中某一样品时，需要将真空腔体内放真空，再取出该样品。但是，在取出某一样品的过程中，其他样品有接触空气的风险，进而无法满足样品储存的抗氧化需求。
技术实现思路
1、为了提高样品储存设备的抗氧化效果，本申请提供一种用于易氧化样品的真空储存装置，将各样品分别存放于单独的真空腔内，避免存取某一样品对其他样品产生干扰，具有抗氧化效果好、可快速抽真空及稳定性好的优点。
2、本申请提供的一种用于易氧化样品的真空储存装置采用如下的技术方案：
3、一种用于易氧化样品的真空储存装置，包括真空管、真空泵和若干样品盒，所述样品盒用于存放样品，所述样品盒连通有泄压管和连接管，所述连接管与真空管相连通，所述真空管与真空泵相连通，所述真空泵用于将样品盒抽真空，所述连接管设置有用于封闭连接管的真空阀，所述泄压管上设置有用于封闭泄压管的泄压阀。
4、通过采用上述技术方案，将
5、可选的，所述样品盒包括盒体、样品台和密封盖，所述盒体内开设有储存腔，所述盒体上开设有存放口，所述存放口与储存腔相连通，所述密封盖盖设于盒体的存放口处并用于封闭存放口，所述密封盖与盒体之间设置有密封结构，所述样品台用于承载样品并设置于密封盖一侧，且所述样品台由存放口伸入至储存腔内，所述泄压管和连接管均与储存腔相连通。
6、通过采用上述技术方案，利用密封盖将盒体的存放口封堵，且当真空泵将储存腔抽真空时，密封盖会在压力差的作用下紧贴在盒体上并形成密闭空间，进而确保样品保持在真空环境中。
7、可选的，所述盒体与密封盖磁吸连接。
8、通过采用上述技术方案，能够进一步提高盒体与密封盖之间的稳定性，使得储存腔被抽真空以前，盒体与密封盖之间能够紧紧贴合，提高密封效果。
9、可选的，所述密封结构为密封圈，所述密封盖盖设于盒体上时，所述密封圈被夹持于密封盖与盒体之间。
10、通过采用上述技术方案，利用密封圈能够进一步提高密封效果，且密封盖在内外压差作用下会进一步压紧密封圈，确保储存腔内能长时间保持在真空状态，提高密封效果，避免样品被氧化。
11、可选的，所述密封盖上设置有用于查看样品的观察窗。
12、通过采用上述技术方案，利用观察窗无需打开密封盖即可确认储存腔内是否已经放置有样品，同时也可以对样品的状态、品类等进行确认，提高了样品存放的便捷性。
13、可选的，所述样品盒内设置有用于检测储存腔真空度的真空计。
14、通过采用上述技术方案，利用真空计对储存腔内的真空度进行监测，当真空计检测到真空度低于要求时，系统会自动打开真空阀，并将储存腔再次抽真空，确保样品始终处于真空状态。
15、可选的，所述样品盒上设置有真空指示灯，所述真空计检测到真空度低于设定值时，所述真空指示灯亮起。
16、通过采用上述技术方案，利用真空指示灯能够及时提醒工作人员样品盒的密封结构是否损坏，进而准确把握样品盒内的真空状态，提高真空储存装置的可靠性。
17、可选的，多个所述样品盒沿竖直方向堆叠设置。
18、通过采用上述技术方案，通过将多个样品盒在竖直方向上堆叠设置，能够有效节约样品盒所占用的空间，提高空间利用效率。
19、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
20、1.通过将样品单独存放在样品盒中，打开真空阀，利用真空泵配合真空管将样品盒抽真空，即可使样品处于真空环境内，避免接触空气而氧化，且由于样品单独存放，存取某一样品时，不会影响其他样品所在样品盒的真空度，根据需要打开对应样品所在样品盒的泄压阀即可存取样品，能够有效降低存取样品时其他样品接触空气的可能，提高了样品储存装置的抗氧化效果；
21、2.利用密封盖将盒体的存放口封堵，且当真空泵将储存腔抽真空时，密封盖会在压力差的作用下紧贴在盒体上并形成密闭空间，进而确保样品保持在真空环境中；
22、3.利用真空计对储存腔内的真空度进行监测，当真空计检测到真空度低于要求时，系统会自动打开真空阀，并将储存腔再次抽真空，确保样品始终处于真空状态。
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1.一种用于易氧化样品的真空储存装置，其特征在于：包括真空管（1）、真空泵（2）和若干样品盒（3），所述样品盒（3）用于存放样品，所述样品盒（3）连通有泄压管（4）和连接管（5），所述连接管（5）与真空管（1）相连通，所述真空管（1）与真空泵（2）相连通，所述真空泵（2）用于将样品盒（3）抽真空，所述连接管（5）设置有用于封闭连接管（5）的真空阀（51），所述泄压管（4）上设置有用于封闭泄压管（4）的泄压阀（41）。
2.根据权利要求1所述的一种用于易氧化样品的真空储存装置，其特征在于：所述样品盒（3）包括盒体（31）、样品台（32）和密封盖（33），所述盒体（31）内开设有储存腔（34），所述盒体（31）上开设有存放口，所述存放口与储存腔（34）相连通，所述密封盖（33）盖设于盒体（31）的存放口处并用于封闭存放口，所述密封盖（33）与盒体（31）之间设置有密封结构（6），所述样品台（32）用于承载样品并设置于密封盖（33）一侧，且所述样品台（32）由存放口伸入至储存腔（34）内，所述泄压管（4）和连接管（5）均与储存腔（34）相连通。
3.根据权利要求
4.根据权利要求2所述的一种用于易氧化样品的真空储存装置，其特征在于：所述密封结构（6）为密封圈（61），所述密封盖（33）盖设于盒体（31）上时，所述密封圈（61）被夹持于密封盖（33）与盒体（31）之间。
5.根据权利要求2所述的一种用于易氧化样品的真空储存装置，其特征在于：所述密封盖（33）上设置有用于查看样品的观察窗（7）。
6.根据权利要求1所述的一种用于易氧化样品的真空储存装置，其特征在于：所述样品盒（3）内设置有用于检测储存腔（34）真空度的真空计。
7.根据权利要求6所述的一种用于易氧化样品的真空储存装置，其特征在于：所述样品盒（3）上设置有真空指示灯（8），所述真空计检测到真空度低于设定值时，所述真空指示灯（8）亮起。
8.根据权利要求1所述的一种用于易氧化样品的真空储存装置，其特征在于：多个所述样品盒（3）沿竖直方向堆叠设置。
...【技术特征摘要】
1.一种用于易氧化样品的真空储存装置，其特征在于：包括真空管（1）、真空泵（2）和若干样品盒（3），所述样品盒（3）用于存放样品，所述样品盒（3）连通有泄压管（4）和连接管（5），所述连接管（5）与真空管（1）相连通，所述真空管（1）与真空泵（2）相连通，所述真空泵（2）用于将样品盒（3）抽真空，所述连接管（5）设置有用于封闭连接管（5）的真空阀（51），所述泄压管（4）上设置有用于封闭泄压管（4）的泄压阀（41）。
2.根据权利要求1所述的一种用于易氧化样品的真空储存装置，其特征在于：所述样品盒（3）包括盒体（31）、样品台（32）和密封盖（33），所述盒体（31）内开设有储存腔（34），所述盒体（31）上开设有存放口，所述存放口与储存腔（34）相连通，所述密封盖（33）盖设于盒体（31）的存放口处并用于封闭存放口，所述密封盖（33）与盒体（31）之间设置有密封结构（6），所述样品台（32）用于承载样品并设置于密封盖（33）一侧，且所述样品台（32）由存放口伸入至储存腔（34）内，所述泄压管（4）和连接管（5）均与储存腔（34...
【专利技术属性】
技术研发人员：邢智文，马绍晏，李伯良，褚耕颉，
申请(专利权)人：闳康技术检测上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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