一种显示基板及其制作方法技术

技术编号:15693007 阅读:133 留言:0更新日期:2017-06-24 07:29
本发明专利技术实施例公开了一种显示基板及其制作方法。该方案中,在绝缘层用于连接第一导电层与第二导电层的连接孔中设置有导电垫层,使得连接孔变浅,第二导电层与导电垫层电连接即可实现与第一导电层的电连接,降低了第二导电层在连接孔台阶处的铺设难度,第二导电层在连接孔台阶处较平缓,改善了连接孔中的断线问题。

Display substrate and manufacturing method thereof

The embodiment of the invention discloses a display substrate and a manufacturing method thereof. In this scheme, the insulating layer is used for connecting the first and second conductive layers connected to a conductive cushion hole, the connecting hole becomes shallow, electrically connected to the second conductive layer and the conductive layer is electrically connected with the first conductive layer can be realized, reducing the second conductive layer in the connecting hole where the laying of difficulty, second the conductive layer in the connecting hole at the step slowly, improve the connection disconnection in the hole.

【技术实现步骤摘要】
一种显示基板及其制作方法
本专利技术涉及显示
,尤其涉及一种显示基板及其制作方法。
技术介绍
在显示装置中,当需要将两个不同膜层之间的导电层进行电连接时,通常在两个膜层之间的绝缘层中设置连接孔,实现两个导电层的连接。如果绝缘层相对导电层过厚,导电层很薄,非常容易出现断线问题,下面通过图1进行举例说明:现有的一种如图1所示的阵列基板结构,包括衬底基板,在衬底基板1上层叠设置的第一导电层2、绝缘层3、第二导电层4,第一导电层2通过绝缘层3中的连接孔5与第二导电层4电连接,从图中可以看出,绝缘层越厚,第二导电层越薄,在连接孔台阶处的第二导电层越难铺设,越容易出现断线问题。例如,液晶显示屏中,由于有机膜层作为绝缘层具有减小像素电极与数据线之间的耦合电容等优势,在薄膜晶体管(ThinFilmTransistor,TFT)阵列基板侧有机膜的应用越来越广泛,但是一般有机膜层的厚度约为而一般的导电层的厚度只有几百或上千如氧化铟锡(IndiumTinOxide,ITO)层,厚度约为两者的厚度差异较大,有时需要设置位于ITO层通过有机膜层的连接孔与该有机膜层另一侧的导电层进行电连接,由于有机膜层非常厚,在有机膜层的连接孔的台阶处,ITO层铺设很困难,就很容易出现断线问题。
技术实现思路
本专利技术实施例的目的是提供一种显示基板及其制作方法,用于解决现有技术中连接孔处容易断线的问题。本专利技术实施例的目的是通过以下技术方案实现的:一种显示基板,包括:衬底基板,在衬底基板上层叠设置的第一导电层、绝缘层、第二导电层;所述绝缘层内设置有用于连接所述第一导电层和所述第二导电层的连接孔;所述显示基板还包括:设置于所述连接孔中的导电垫层;所述第二导电层在所述连接孔中通过所述导电垫层与所述第一导电层电连接。较佳地,所述导电垫层与所述第二导电层接触的表面为曲面。较佳地,所述导电垫层与所述第一导电层接触表面的面积大于所述连接孔与所述第二导电层接触端的开孔的面积。较佳地,所述绝缘层的厚度大于所述第二导电层的厚度。较佳地,所述绝缘层的材料包括有机材料;所述第二导电层的材料包括氧化铟锡ITO。较佳地,所述导电垫层的厚度小于所述绝缘层的厚度,且不小于所述绝缘层的厚度与所述第二导电层的厚度之差。较佳地,所述导电垫层的材料为金属、合金、高分子有机物的导电材料或石墨烯。一种如以上任一项所述的显示基板的制作方法,包括:在衬底基板上形成第一导电层;在形成有所述第一导电层的衬底基板上形成具有连接孔的绝缘层以及位于所述连接孔中的导电垫层;在形成有所述绝缘层和导电垫层的衬底基板上形成第二导电层;其中,所述第二导电层在所述连接孔中通过所述导电垫层与所述第一导电层电连接。较佳地,在形成有所述第一导电层的衬底基板上形成具有连接孔的绝缘层以及位于所述连接孔中的导电垫层,包括:在形成有所述第一导电层的衬底基板上待形成连接孔的区域形成导电垫层;形成覆盖所述第一导电层和所述导电垫层的绝缘层;在所述绝缘层中与所述导电垫层对应的区域内形成连接孔。较佳地,在形成有所述第一导电层的衬底基板上形成具有连接孔的绝缘层以及位于所述连接孔中的导电垫层,包括:在形成有所述第一导电层的衬底基板上形成覆盖所述第一导电层的绝缘层;在所述绝缘层中形成连接孔;在所述连接孔中填充导电垫层。本专利技术实施例的有益效果如下:本专利技术实施例提供的显示基板及其制作方法中,在绝缘层用于连接第一导电层与第二导电层的连接孔中设置有导电垫层,使得连接孔变浅,第二导电层与导电垫层电连接即可实现与第一导电层的电连接,降低了第二导电层在连接孔台阶处的铺设难度,第二导电层在连接孔台阶处较平缓,改善了连接孔中的断线问题。附图说明图1为现有技术中的一种显示基板的结构示意图;图2为本专利技术实施例提供的一种显示基板的结构示意图;图3为本专利技术实施例提供的另一种显示基板的结构示意图;图4为本专利技术实施例提供的一种显示基板的制作方法流程图;图5为本专利技术实施例提供的又一种显示基板的结构示意图;图6a~图6g为本专利技术实施例提供的一种显示基板的制作过程中的结构示意图;图7a~图7i为本专利技术实施例提供的另一种显示基板的制作过程中的结构示意图。具体实施方式为了解决以上技术问题,本专利技术实施例提供一种显示基板及其制作方法。其中,本专利技术实施例提供的一种显示基板,包括:衬底基板,在衬底基板上层叠设置的第一导电层、绝缘层、第二导电层;绝缘层内设置有用于连接第一导电层和第二导电层的连接孔;显示基板还包括:设置于连接孔中的导电垫层;第二导电层在连接孔中通过导电垫层与第一导电层电连接。本专利技术实施例中,在绝缘层用于连接第一导电层与第二导电层的连接孔中设置有导电垫层,使得连接孔变浅,第二导电层与导电垫层电连接即可实现与第一导电层的电连接,降低了第二导电层在连接孔台阶处的铺设难度,第二导电层在连接孔台阶处较平缓,改善了连接孔中的断线问题。下面结合附图和实施例对本专利技术的方案进行更加详细地说明。如图2和图3所示,本专利技术实施例提供一种显示基板,包括:衬底基板21,在衬底基板21上层叠设置的第一导电层22、绝缘层23、第二导电层24;绝缘层内设置有用于连接第一导电层和第二导电层的连接孔25;显示基板还包括:设置于连接孔25中的导电垫层26;第二导电层24在连接孔25中通过导电垫层26与第一导电层22电连接。结合图2和图3,与上述现有技术的图1对比可以看出,绝缘层的厚度与第二导电层的厚度差异越大,本专利技术实施例的方案的效果越明显。因此,较佳地,绝缘层的厚度大于第二导电层的厚度。例如,在一种可能的实施例中,绝缘层的材料包括有机材料;第二导电层的材料包括ITO。由于有机材料的膜层可以减小耦合电容,因此采用有机材料形成绝缘层,该结构中,包括有机材料的膜层的厚度与ITO层的厚度相比,相差非常大,因而,采用本专利技术的方案改善效果更加明显。为了进一步改善断线不良的问题,具体实施时,如图2所示,较佳地,导电垫层与第二导电层接触的表面为曲面。由于接触曲面相对接触平面来说,接触面积更大,这样,可以使得导电垫层与第二导电层之间的连接就更为牢固,从而进一步改善了断线的问题,并且二者接触面积增大之后,还利于降低接触电阻,利于降低功耗。以上是从导电垫层与第二导电层一侧的连接来说的,同样,也可以增大导电垫层与第一导电层之间的接触面积,具体实施时,如图2所示,较佳地,导电垫层与第一导电层接触表面的面积大于连接孔与第二导电层接触端的开孔的面积。这样,不仅增大了导电垫层与第一导电层的接触面积,使得导电垫层与第一导电层之间的连接更为牢固,改善了断线的问题,也降低了二者的接触电阻,进一步降低功耗。具体实施时,为了使得第二导电层铺设的更加平缓,进一步改善断线不良的问题,较佳地,导电垫层的厚度小于绝缘层的厚度,且不小于绝缘层的厚度与第二导电层的厚度之差。基于以上任意实施例,较佳地,导电垫层的材料为金属、合金、高分子有机物的导电材料或石墨烯。其中,导电垫层的材料可以是低电阻金属或合金材料,例如,Al,Mo,Cu,Al/Mo,AlNd/Mo,等等。其中,高分子有机物的导电材料可以但不限于是聚3,4-乙撑二氧噻吩单体(PEDOT)。其中,导电垫层与第一导电层的材料可以相同,同种材料之间的连接更加牢固。本专利技术实施例的方案中,显示基板可以但不限于本文档来自技高网...
一种显示基板及其制作方法

【技术保护点】
一种显示基板,其特征在于,包括:衬底基板,在衬底基板上层叠设置的第一导电层、绝缘层、第二导电层;所述绝缘层内设置有用于连接所述第一导电层和所述第二导电层的连接孔;所述显示基板还包括:设置于所述连接孔中的导电垫层;所述第二导电层在所述连接孔中通过所述导电垫层与所述第一导电层电连接。

【技术特征摘要】
1.一种显示基板,其特征在于,包括:衬底基板,在衬底基板上层叠设置的第一导电层、绝缘层、第二导电层;所述绝缘层内设置有用于连接所述第一导电层和所述第二导电层的连接孔;所述显示基板还包括:设置于所述连接孔中的导电垫层;所述第二导电层在所述连接孔中通过所述导电垫层与所述第一导电层电连接。2.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述导电垫层与所述第二导电层接触的表面为曲面。3.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述导电垫层与所述第一导电层接触表面的面积大于所述连接孔与所述第二导电层接触端的开孔的面积。4.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述绝缘层的厚度大于所述第二导电层的厚度。5.根据权利要求4所述的显示基板,其特征在于,所述绝缘层的材料包括有机材料;所述第二导电层的材料包括氧化铟锡ITO。6.根据权利要求4所述的显示基板,其特征在于,所述导电垫层的厚度小于所述绝缘层的厚度,且不小于所述绝缘层的厚度与所述第二导电层的厚度之差。7.根据权利要求1~6任一项所述的显示基板,其特征在于,所述导电垫层的材料为金属、合...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵娜元淼
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司合肥京东方光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:北京,11

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