【技术实现步骤摘要】
包括分隔图案的图像传感器
本专利文献中所公开的技术和实现方式总体上涉及一种图像传感器、形成该图像传感器的方法以及包括该图像传感器的电子装置。
技术介绍
最近，随着信息和通信技术的发展以及图像信息的数字化，如今越来越多的电子装置(例如，数字相机、摄像机、移动电话、个人通信系统(PCS)、游戏机、安全相机和医疗微型相机)配备有图像传感器。图像传感器包括多个像素，并且多个像素中的每一个包括光电二极管、滤色器和微透镜。通常，多个像素包括用于将像素光学隔离的栅格图案。然而，由于栅格图案独自无法充分地引导光，所以难以充分地改进量子效率和串扰现象。
技术实现思路
除了别的以外，本专利文献提供包括分隔图案以改进量子效率和串扰现象的图像传感器的设计。另外，各种实施方式涉及一种用于形成包括分隔图案的图像传感器的方法。此外，各种实施方式涉及一种包括图像传感器的电子装置，该图像传感器包括分隔图案。在所公开的技术的实施方式中，一种图像传感器可包括：基板；形成在基板中的感光元件，各个感光元件响应光以生成感光电信号；抗反射层，其形成在感光元件上方并被构造为减小光学反射以方便入射光通过抗反射层光学透...
【技术保护点】
1.一种图像传感器，该图像传感器包括：基板；形成在所述基板中的感光元件，各个感光元件响应光以生成感光电信号；抗反射层，该抗反射层形成在所述感光元件上方并被构造为减小光学反射以方便入射光通过所述抗反射层光学透射到所述感光元件；滤色器，所述滤色器形成在所述抗反射层上方并被布置为在空间上分别与所述感光元件对应，各个滤色器被构造为选择所述入射光中的指定颜色透射通过到对应感光元件；分隔图案，所述分隔图案形成在所述抗反射层上方并被布置为在空间上分别与所述感光元件对应，以将所述感光元件上方的光接收区域分隔成单独的多个光接收区域，各个分隔图案包围对应滤色器以与相邻滤色器分离；凹槽，所述凹槽...
【技术特征摘要】
2018.02.26 KR 10-2018-00226881.一种图像传感器，该图像传感器包括：基板；形成在所述基板中的感光元件，各个感光元件响应光以生成感光电信号；抗反射层，该抗反射层形成在所述感光元件上方并被构造为减小光学反射以方便入射光通过所述抗反射层光学透射到所述感光元件；滤色器，所述滤色器形成在所述抗反射层上方并被布置为在空间上分别与所述感光元件对应，各个滤色器被构造为选择所述入射光中的指定颜色透射通过到对应感光元件；分隔图案，所述分隔图案形成在所述抗反射层上方并被布置为在空间上分别与所述感光元件对应，以将所述感光元件上方的光接收区域分隔成单独的多个光接收区域，各个分隔图案包围对应滤色器以与相邻滤色器分离；凹槽，所述凹槽形成在所述分隔图案的上部中，并在相邻分隔图案之间提供气隙；以及微透镜，所述微透镜形成在所述分隔图案和所述滤色器上方以分别将入射光通过所述滤色器引导到所述感光元件，其中，所述微透镜通过所述凹槽彼此分离。2.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述凹槽的下端凹陷以低于所述滤色器的顶表面。3.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，在俯视图中，所述分隔图案和所述凹槽按照彼此交叠的网格形式布置。4.根据权利要求1所述的图像传感器，该图像传感器还包括：防眩光层，所述防眩光层适形地形成在所述微透镜的表面上以减少眩光并延伸以填充所述凹槽。5.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述分隔图案包括折射率低于所述滤色器的聚合物有机材料或无机材料。6.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述微透镜具有低于所述滤色器的折射率。7.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述分隔图案具有低于所述微透镜的折射率。8.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述分隔图案和所述微透镜包括相同的材料。9.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述分隔图案的顶表面被定位在比所述滤色器的顶表面高的水平处。10.根据权利要求1所述的图像传感器，该图像传感器还包括：设置在所述抗反射层和所述分隔图...
【专利技术属性】
技术研发人员：李庚寅，
申请(专利权)人：爱思开海力士有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。