一种新型镀膜设备制造技术

本发明专利技术公开了一种新型镀膜设备，包括底板，底板的顶面均匀固定有多个支撑柱体，支撑柱体的顶面固定有真空室，真空室的顶面对称固定有支撑板，支撑板的顶面固定有顶板，顶板的底面中部有电机，真空室的底面中部有T形盲孔A，T形盲孔A内旋转连接有圆形板块C，电机的驱动端固定连接有连杆，连杆的底端伸入真空室与圆形板块C相固定，连杆的外部套有滑动环形板，顶板的底面有千斤顶。本发明专利技术设计有相互啮合的齿轮和齿条，根据需要调整基片的镀膜面，便于溅射镀膜，并且仅需一次将真空室抽气为真空即可完成基片的多层镀膜，降低了成本的同时提高了镀膜质量，而且一次可以加工完成多个基片的镀膜，速度快，提高了生产效率，非常的实用、可靠。

A new type of coating equipment

【技术实现步骤摘要】
一种新型镀膜设备
本专利技术涉及镀膜设备领域，具体涉及一种新型镀膜设备。
技术介绍
镀膜主要有减少反射的功能，在现代镜头制造工艺上对镜头进行镀膜，能够有效提高镜头的透光率和影像的质量。镀膜是根据光学的干涉原理，在镜头表面镀上一层厚度为四分之一波长的物质，使镜头对这一波长的色光的反射降至最低。并且一层膜只对一种色光起作用，而多层镀膜则可对多种色光起作用。多层镀膜通常采用不同的材料重复地在透镜表面镀上不同厚度的膜层，因此多层镀膜可大大提高镜头的透光率，而磁控溅射技术在镀膜工艺中经常使用，磁控溅射镀膜就是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面，使被轰击出的粒子沉积在基片上的技术；但是现有的镀膜设备通常仅能实现单个基片的镀膜工作，想要加工基片的另一面时还需重新调整设备的参数，并且根据需要向基片进行多层镀膜时，还要进行多次更换靶座上的靶材，多次对真空室进行抽气放气，加工工时长，工作效率低，非常的不实用、不可靠。
技术实现思路
为了解决上述存在的问题，本专利技术提供一种新型镀膜设备。本专利技术是通过以下技术方案实现：一种新型镀膜设备，包括底板，所述底板的顶面均匀固定有多个支撑柱体，所述支撑柱体的顶面固定有真空室，所述真空室的顶面对称固定有支撑板，所述支撑板的顶面固定有顶板，所述顶板的底面中部固定有电机，所述真空室的底面中部设有T形盲孔A，所述T形盲孔A内旋转连接有圆形板块C，所述电机的驱动端固定连接有连杆，连杆的底端伸入真空室与圆形板块C相固定，所述连杆的外部套有滑动环形板，所述顶板的底面固定有千斤顶，所述千斤顶的活塞杆底面设有弧形凹槽，弧形凹槽内旋转连接有滚珠，滚珠的底端伸出弧形凹槽与滑动环形板的顶面接触，所述真空室的顶面中部设有通孔A，所述通孔A的内壁设有环形凹槽，环形凹槽的截面为T形，所述通孔A内贴合设有固定在连杆上的圆形板块A，所述圆形板块A的外环面固定有与环形凹槽相匹配的环形滑块，环形滑块与环形凹槽旋转连接，所述圆形板块A与滑动环形板之间均匀固定有多个弹簧A，所述真空室内部设有环形固定块，环形固定块套在连杆外部，所述环形固定块与连杆之间均匀固定有多个支撑肋板，所述环形固定块的顶面均匀设有多个方形通孔A，所述方形通孔A的侧壁中部旋转连接有横杆B，横杆B的端部穿过环形固定块的内环面指向环形固定块的圆心，所述方形通孔A的另一侧壁设有T形盲孔B，所述T形盲孔B内旋转连接有圆形板块B，所述圆形板块B的侧面固定有横杆A，横杆A与横杆B的中心线相同，所述横杆A和横杆B的端部均设有夹板，所述夹板的侧面固定有下夹块，所述夹板的侧面上部设有滑槽A，所述滑槽A内滑动设有方形滑杆，所述夹板的侧面上部固定有固定板，所述固定板与方形滑杆之间固定有弹簧B，所述固定板的顶面螺纹连接有螺栓(25)，所述方形滑杆的底面固定有上夹块，所述上夹块与下夹块之间夹放设有基片，所述横杆B的端部固定连接有齿轮，所述环形固定块的上方设有固定在连杆上的环形固定板，所述环形固定板的顶面均匀设有多个方形通孔B，所述方形通孔B内滑动设有齿条，齿条与齿轮相互啮合，所述齿条的侧面设有滑槽B，滑槽B的截面为T形，所述滑槽B内滑动连接有与其相匹配的T形滑块，T形滑块固定在方形通孔B的侧壁上，齿条的顶面固定有与圆形板块A滑动连接的固定杆，固定杆的顶端穿过圆形板块A与滑动环形板相固定，所述真空室的两侧面均设有通孔B，所述真空室的两侧面均固定有套筒，套筒通过通孔B与真空室连通，所述套筒的外壁螺纹连接有密封箱盖，所述密封箱盖的内壁贴附有密封片，所述密封箱盖侧面中部固定有U形把手，所述真空室的内部底面均匀固定有靶座，每个方形通孔A的正下方的相对位置均设有至少一个靶座，所述底板的顶面固定有前级泵、油扩散泵和真空泵，前级泵、油扩散泵和真空泵对应连接配合用于抽离真空室内的气体，所述真空室的底面固定有真空度检测仪。优选的，所述弹簧A为压缩弹簧。优选的，所述弹簧B为拉伸弹簧。优选的，所述套筒与真空室之间通过焊接固定。优选的，所述密封片的材料为天然橡胶。与现有的技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术设计有相互啮合的齿轮和齿条，根据需要调整基片的镀膜面，便于溅射镀膜，并且仅需一次将真空室抽气为真空即可完成基片的多层镀膜，降低了成本的同时提高了镀膜质量，而且一次可以加工完成多个基片的镀膜，速度快，提高了生产效率，非常的实用、可靠。附图说明图1是本专利技术所述结构的示意图；图2是本专利技术所述结构的工作示意图；图3是本专利技术所述结构的俯视图；图4是本专利技术所述图1的A-A视图；图5是本专利技术所述图4的B-B视图；图6是本专利技术所述环形固定板的示意图；图7是本专利技术所述图1的C处放大示意图；图8是本专利技术所述图2的D处放大示意图；图9是本专利技术所述图4的E处放大示意图。图中：底板1、支撑柱体2、真空室3、支撑板4、顶板5、电机6、连杆7、滑动环形板8、千斤顶9、滚珠10、圆形板块A11、环形滑块12、弹簧A13、环形固定块14、支撑肋板15、圆形板块B16、横杆A17、横杆B18、基片19、夹板20、下夹块21、方形滑杆22、固定板23、弹簧B24、螺栓25、上夹块26、齿轮27、环形固定板28、齿条29、固定杆30、套筒31、密封箱盖32、密封片33、U形把手34、靶座35、前级泵36、油扩散泵37、真空泵38、真空度检测仪39、圆形板块C40、通孔A3-1、环形凹槽3-2、T形盲孔A3-3、通孔B3-4、方形通孔A14-1、T形盲孔B14-2、滑槽A20-1、方形通孔B28-1、T形滑块28-2、滑槽B29-1。具体实施方式下面结合附图与具体实施方式对本专利技术作进一步详细描述：如图1-图9所示，一种新型镀膜设备，包括底板1，所述底板1的顶面均匀固定有多个支撑柱体2，所述支撑柱体2的顶面固定有真空室3，所述真空室3的顶面对称固定有支撑板4，所述支撑板4的顶面固定有顶板5，所述顶板5的底面中部固定有电机6，所述真空室3的底面中部设有T形盲孔A3-3，所述T形盲孔A3-3内旋转连接有圆形板块C40，所述电机6的驱动端固定连接有连杆7，连杆7的底端伸入真空室3与圆形板块C40相固定，所述连杆7的外部套有滑动环形板8，所述顶板5的底面固定有千斤顶9，所述千斤顶9的活塞杆底面设有弧形凹槽，弧形凹槽内旋转连接有滚珠10，滚珠10的底端伸出弧形凹槽与滑动环形板8的顶面接触，所述真空室3的顶面中部设有通孔A3-1，所述通孔A3-1的内壁设有环形凹槽3-2，环形凹槽3-2的截面为T形，所述通孔A3-1内贴合设有固定在连杆7上的圆形板块A11，所述圆形板块A11的外环面固定有与环形凹槽3-2相匹配的环形滑块12，环形滑块12与环形凹槽3-2旋转连接，所述圆形板块A11与滑动环形板8之间均匀固定有多个弹簧A13，所述真空室3内部设有环形固定块14，环形固定块14套在连杆7外部，所述环形固定块14与连杆7之间均匀固定有多个支撑肋板15，所述环形固定块14的顶面均匀设有多个方形通孔A14-1，所述方形通孔A14-1的侧壁中部旋转连接有横杆B18，横杆B18的端部穿过环形固定块14的内环面指向环形固定块14的圆心，所述方形通孔A14-1的另一侧壁设有T形盲孔B14-2，所述T形盲孔B14-2内旋转连接有圆形板块B16，所述圆形板块B16的侧面固定有横杆A17本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型镀膜设备，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)的顶面均匀固定有多个支撑柱体(2)，所述支撑柱体(2)的顶面固定有真空室(3)，所述真空室(3)的顶面对称固定有支撑板(4)，所述支撑板(4)的顶面固定有顶板(5)，所述顶板(5)的底面中部固定有电机(6)，所述真空室(3)的底面中部设有T形盲孔A(3‑3)，所述T形盲孔A(3‑3)内旋转连接有圆形板块C(40)，所述电机(6)的驱动端固定连接有连杆(7)，连杆(7)的底端伸入真空室(3)与圆形板块C(40)相固定，所述连杆(7)的外部套有滑动环形板(8)，所述顶板(5)的底面固定有千斤顶(9)，所述千斤顶(9)的活塞杆底面设有弧形凹槽，弧形凹槽内旋转连接有滚珠(10)，滚珠(10)的底端伸出弧形凹槽与滑动环形板(8)的顶面接触，所述真空室(3)的顶面中部设有通孔A(3‑1)，所述通孔A(3‑1)的内壁设有环形凹槽(3‑2)，环形凹槽(3‑2)的截面为T形，所述通孔A(3‑1)内贴合设有固定在连杆(7)上的圆形板块A(11)，所述圆形板块A(11)的外环面固定有与环形凹槽(3‑2)相匹配的环形滑块(12)，环形滑块(12)与环形凹槽(3‑2)旋转连接，所述圆形板块A(11)与滑动环形板(8)之间均匀固定有多个弹簧A(13)，所述真空室(3)内部设有环形固定块(14)，环形固定块(14)套在连杆(7)外部，所述环形固定块(14)与连杆(7)之间均匀固定有多个支撑肋板(15)，所述环形固定块(14)的顶面均匀设有多个方形通孔A(14‑1)，所述方形通孔A(14‑1)的侧壁中部旋转连接有横杆B(18)，横杆B(18)的端部穿过环形固定块(14)的内环面指向环形固定块(14)的圆心，所述方形通孔A(14‑1)的另一侧壁设有T形盲孔B(14‑2)，所述T形盲孔B(14‑2)内旋转连接有圆形板块B(16)，所述圆形板块B(16)的侧面固定有横杆A(17)，横杆A(17)与横杆B(18)的中心线相同，所述横杆A(17)和横杆B(18)的端部均设有夹板(20)，所述夹板(20)的侧面固定有下夹块(21)，所述夹板(20)的侧面上部设有滑槽A(20‑1)，所述滑槽A(20‑1)内滑动设有方形滑杆(22)，所述夹板(20)的侧面上部固定有固定板(23)，所述固定板(23)与方形滑杆(22)之间固定有弹簧B(24)，所述固定板(23)的顶面螺纹连接有螺栓(25)，所述方形滑杆(22)的底面固定有上夹块(26)，所述上夹块(26)与下夹块(21)之间夹放设有基片(19)，所述横杆B(18)的端部固定连接有齿轮(27)，所述环形固定块(14)的上方设有固定在连杆(7)上的环形固定板(28)，所述环形固定板(28)的顶面均匀设有多个方形通孔B(28‑1)，所述方形通孔B(28‑1)内滑动设有齿条(29)，齿条(29)与齿轮(27)相互啮合，所述齿条(29)的侧面设有滑槽B(29‑1)，滑槽B(29‑1)的截面为T形，所述滑槽B(29‑1)内滑动连接有与其相匹配的T形滑块(28‑2)，T形滑块(28‑2)固定在方形通孔B(28‑1)的侧壁上，齿条(29)的顶面固定有与圆形板块A(11)滑动连接的固定杆(30)，固定杆(30)的顶端穿过圆形板块A(11)与滑动环形板(8)相固定，所述真空室(3)的两侧面均设有通孔B(3‑4)，所述真空室(3)的两侧面均固定有套筒(31)，套筒(31)通过通孔B(3‑4)与真空室(3)连通，所述套筒(31)的外壁螺纹连接有密封箱盖(32)，所述密封箱盖(32)的内壁贴附有密封片(33)，所述密封箱盖(32)侧面中部固定有U形把手(34)，所述真空室(3)的内部底面均匀固定有靶座(35)，每个方形通孔A(14‑1)的正下方的相对位置均设有至少一个靶座(35)，所述底板(1)的顶面固定有前级泵(36)、油扩散泵(37)和真空泵(38)，前级泵(36)、油扩散泵(37)和真空泵(38)对应连接配合用于抽离真空室(3)内的气体，所述真空室(3)的底面固定有真空度检测仪(39)。...

【技术特征摘要】
1.一种新型镀膜设备，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)的顶面均匀固定有多个支撑柱体(2)，所述支撑柱体(2)的顶面固定有真空室(3)，所述真空室(3)的顶面对称固定有支撑板(4)，所述支撑板(4)的顶面固定有顶板(5)，所述顶板(5)的底面中部固定有电机(6)，所述真空室(3)的底面中部设有T形盲孔A(3-3)，所述T形盲孔A(3-3)内旋转连接有圆形板块C(40)，所述电机(6)的驱动端固定连接有连杆(7)，连杆(7)的底端伸入真空室(3)与圆形板块C(40)相固定，所述连杆(7)的外部套有滑动环形板(8)，所述顶板(5)的底面固定有千斤顶(9)，所述千斤顶(9)的活塞杆底面设有弧形凹槽，弧形凹槽内旋转连接有滚珠(10)，滚珠(10)的底端伸出弧形凹槽与滑动环形板(8)的顶面接触，所述真空室(3)的顶面中部设有通孔A(3-1)，所述通孔A(3-1)的内壁设有环形凹槽(3-2)，环形凹槽(3-2)的截面为T形，所述通孔A(3-1)内贴合设有固定在连杆(7)上的圆形板块A(11)，所述圆形板块A(11)的外环面固定有与环形凹槽(3-2)相匹配的环形滑块(12)，环形滑块(12)与环形凹槽(3-2)旋转连接，所述圆形板块A(11)与滑动环形板(8)之间均匀固定有多个弹簧A(13)，所述真空室(3)内部设有环形固定块(14)，环形固定块(14)套在连杆(7)外部，所述环形固定块(14)与连杆(7)之间均匀固定有多个支撑肋板(15)，所述环形固定块(14)的顶面均匀设有多个方形通孔A(14-1)，所述方形通孔A(14-1)的侧壁中部旋转连接有横杆B(18)，横杆B(18)的端部穿过环形固定块(14)的内环面指向环形固定块(14)的圆心，所述方形通孔A(14-1)的另一侧壁设有T形盲孔B(14-2)，所述T形盲孔B(14-2)内旋转连接有圆形板块B(16)，所述圆形板块B(16)的侧面固定有横杆A(17)，横杆A(17)与横杆B(18)的中心线相同，所述横杆A(17)和横杆B(18)的端部均设有夹板(20)，所述夹板(20)的侧面固定有下夹块(21)，所述夹板(20)的侧面上部设有滑槽A(20-1)，所述滑槽A(20-1)内滑动设有方形滑杆(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：李峰，
申请(专利权)人：中山国鳌智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44