一种点蒸发源、蒸镀设备及点蒸发源的控制方法技术

本发明专利技术实施例提供的一种点蒸发源、蒸镀设备及点蒸发源的控制方法，该点蒸发源，包括：用于填充蒸镀材料的坩埚，用于对坩埚进行分段加热的至少三个加热部，以及与各加热部一一对应电连接的多个电源系统；其中，各加热部在坩埚的外壁沿着垂直于坩埚底面的方向分布；各电源系统，用于根据加热部对应位置处坩埚内的蒸镀材料的填充状态，控制存在蒸镀材料对应位置处的加热部以第一温度加热，以及控制不存在填充材料对应位置处的加热部以第二温度加热；其中，第一温度为使蒸镀材料的表面不断蒸发的温度；第二温度为使蒸发的蒸镀材料保持均匀排出的温度。本发明专利技术实施例提供的点蒸发源，提高了点蒸发源中蒸镀材料的使用效率。

A control method of point steam source, evaporation equipment and point steaming source

An embodiment of the invention provides the evaporation source, steam control method of plating equipment and evaporation, the evaporation source, including: steam plating material used to fill the crucible, for at least three of the heating crucible heating section, and the heating part is electrically connected with the corresponding multiple power supply system; among them, the heating part in the crucible wall along the perpendicular to the direction of the bottom of the crucible distribution; power supply system, according to the filling state at the corresponding position of the heating part in the crucible of evaporation materials, control of evaporation materials of the corresponding position of the heating with the first heating temperature, and heating control does not exist filling material at the corresponding position with second temperature heating; the first temperature to make steam surface plating material evaporating temperature; second temperature make the evaporation evaporation material to maintain a uniform row The temperature out. The point steaming source provided by the embodiment of the invention improves the use efficiency of the evaporation material in the point steaming source.

【技术实现步骤摘要】
一种点蒸发源、蒸镀设备及点蒸发源的控制方法
本专利技术涉及显示装置的制造
，尤指一种点蒸发源、蒸镀设备及点蒸发源的控制方法。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)是利用形成p-n结的有机薄膜层，从注入阳极的空穴(Hole)与阴极的电子(Electron)结合后发光的器件，具有响应速度快，重量轻，柔韧性好，视角广，低功耗等优点，是极具发展前景的新一代显示技术。为了满足大型OLED显示屏、OLED高分辨率手机显示的消费需求及量产效率最大化，通常使用基于大面积玻璃的量产工艺，在制作过程中最重要的工艺是有机薄膜及无机薄膜蒸镀的工艺。主要采用真空蒸镀工艺，是将装有粉末(Powder)或是颗粒(Pellet)状蒸镀材料的点蒸发源(PointSource)放置在真空设备内部，将装在蒸发源内部的蒸镀材料进行蒸发喷出使之在基板表面上形成有机或无机薄膜。但是，点蒸发源在蒸镀有机物材料时，当进行喷射的喷嘴的温度较低时，会导致喷嘴堵塞(Clogging)，并且有机物材料纯度低或是周边压力急剧的变化会导致飞溅现象(Spitting)以及由于点蒸发源的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种点蒸发源，其特征在于，包括：用于填充蒸镀材料的坩埚，用于对所述坩埚进行分段加热的至少三个加热部，以及与各所述加热部一一对应电连接的多个电源系统；其中，各所述加热部在所述坩埚的外壁沿着垂直于所述坩埚底面的方向分布；各所述电源系统，用于根据所述加热部对应位置处所述坩埚内的蒸镀材料的填充状态，控制存在所述蒸镀材料对应位置处的所述加热部以第一温度加热，以及控制不存在所述蒸镀材料对应位置处的所述加热部以第二温度加热；其中，所述第一温度为使所述蒸镀材料的表面不断蒸发的温度；所述第二温度为使蒸发的所述蒸镀材料保持均匀排出的温度。

【技术特征摘要】
1.一种点蒸发源，其特征在于，包括：用于填充蒸镀材料的坩埚，用于对所述坩埚进行分段加热的至少三个加热部，以及与各所述加热部一一对应电连接的多个电源系统；其中，各所述加热部在所述坩埚的外壁沿着垂直于所述坩埚底面的方向分布；各所述电源系统，用于根据所述加热部对应位置处所述坩埚内的蒸镀材料的填充状态，控制存在所述蒸镀材料对应位置处的所述加热部以第一温度加热，以及控制不存在所述蒸镀材料对应位置处的所述加热部以第二温度加热；其中，所述第一温度为使所述蒸镀材料的表面不断蒸发的温度；所述第二温度为使蒸发的所述蒸镀材料保持均匀排出的温度。2.如权利要求1所述的点蒸发源，其特征在于，还包括：分别设置在各所述加热部之间的联动部件；所述联动部件用于串联存在的多个需要以所述第一温度加热的所述加热部，串联存在的多个需要以所述第二温度加热的所述加热部。3.如权利要求1所述的点蒸发源，其特征在于，所述加热部由以U型回折往复缠绕所述坩埚外壁的热源组成；或，所述加热部由螺旋往复围绕所述坩埚外壁的热源组成。4.如权利要求1所述的点蒸发源，其特征在于，所述坩埚由单一材料构成的单层坩埚；或者，所述坩埚由至少两个不同材料构成的坩埚嵌套而成的多层坩埚。5.如权利要求4所述的点蒸发源，其特征在于，所述坩埚...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴泳镇，李浩永，丁熙荣，金甲锡，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34