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本发明实施例提供的一种点蒸发源、蒸镀设备及点蒸发源的控制方法,该点蒸发源,包括:用于填充蒸镀材料的坩埚,用于对坩埚进行分段加热的至少三个加热部,以及与各加热部一一对应电连接的多个电源系统;其中,各加热部在坩埚的外壁沿着垂直于坩埚底面的方向分...该专利属于合肥欣奕华智能机器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥欣奕华智能机器有限公司授权不得商用。
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