晶圆转向装置制造方法及图纸

一种晶圆转向装置包括一壳体、一转向件和一晶圆载具。壳体包括一壳体内置空间与一壳体外表面。转向件连接壳体外表面，用以使壳体旋转。晶圆载具承载于壳体内置空间，用以收容至少一晶圆。在转向件使壳体旋转，以翻转收容至少一晶圆的晶圆载具时，晶圆载具的摆放方式会对应得由平放或直放之间改变，使得晶圆载具和至少一晶圆可以一起从壳体内置空间内被取出。

Wafer steering device

A wafer steering device includes a housing, a steering member, and a wafer carrier. The shell comprises a shell, a built-in space and an outer surface of the shell. The outer surface of the connecting case of the steering element is used for rotating the shell. The wafer carrier is housed in a housing built-in space for accommodating at least one wafer. In turn a rotation of the shell, to flip the receiving at least a wafer carrier wafer, wafer carrier will be placed with the corresponding flat or straight between the wafer carrier, and at least one wafer from the built-in space inside the shell can be removed.

【技术实现步骤摘要】
晶圆转向装置
本专利技术是关于一种晶圆转向装置，特别是一种将晶圆的摆放方式由平放或直放之间改变，并将晶圆从不同载具之间转换的晶圆转向装置。
技术介绍
在半导体工艺中，需要对晶圆进行多种加工工艺。在不同工艺中，用来承载晶圆的载具也会不用，并且晶圆的摆放方式也会不同。当晶圆在不同载具和不同的摆放方式之间转换时，会使用许多装置来让晶圆在二个不同载具之间安全得转换。若是需要将平放在平台或流水线机台上的晶圆300放置在直立摆放式的载具上时，如图1所示，会需要先使用机械臂400抬起平放的晶圆300，再将平放的晶圆300放入晶圆暂存盒500。当晶圆暂存盒500内放满晶圆300之后，如图2所示，可将晶圆暂存盒500旋转，使得晶圆暂存盒500的底部开口510朝向下方，以便顶升机构600沿着移动方向M移动而穿过底部开口510，而将晶圆暂存盒500内的晶圆300举起。接着，如图3所示，将晶圆移载机构700和晶圆暂存盒500对齐后，使用者可以让顶升机构600升高以穿过底部开口510并举起晶圆暂存盒500内的晶圆300，使得晶圆300进入晶圆移载机构700内，以便晶圆移载机构700的夹具710夹住晶圆300。最后，如图4所示，当夹具710夹住晶圆300后，夹具710可以沿着移动方向N移动至载具800的上方，并将直立的晶圆300放置在载具800上，如此一来，即可顺利完成载具之间的转换，并且也顺利得让晶圆300的摆放方式由平放改变为直放。然而，在上述的转换载具和改变摆放方式的作业流程中，需要用到许多机台来协助移动晶圆和暂放晶圆，因此该些机台会占用较大的空间，并且作业流程时间也较长。因此，在工艺机台空间要求越来越小，工艺时间要求缩短的情况下，上述的作业流程就无法符合使用要求。因此，有必要提供一种新的机台，其可以将晶圆的摆放方式由平放或直放之间改变，并将晶圆从不同载具之间转换，并且不会占用过多的空间和作业时间。
技术实现思路
本专利技术的主要目的是在提供一种晶圆转向装置，其可以将晶圆的摆放方式由平放或直放之间改变，并将晶圆从不同载具之间转换。为达成上述的目的，本专利技术的晶圆转向装置包括一壳体、一转向件和一晶圆载具。壳体包括一壳体内置空间与一壳体外表面。转向件连接壳体外表面，用以使壳体旋转。晶圆载具承载于壳体内置空间，用以收容至少一晶圆。在转向件使壳体旋转，以翻转收容至少一晶圆的晶圆载具时，晶圆载具的摆放方式会对应得由平放或直放之间改变，使得晶圆载具和至少一晶圆可以一起从壳体内置空间内被取出。根据本专利技术的一实施例，其中壳体更包括一底板和三个侧板，底板和三个侧板连接而形成壳体内置空间，当晶圆载具承载于壳体内置空间时，晶圆载具的部分侧面暴露于外。根据本专利技术的一实施例，其中当晶圆载具承载或取出于壳体内置空间时，可选择性得沿着两种不同轴向而从壳体内置空间进出。根据本专利技术的一实施例，其中壳体更包括一底板和四个侧板，底板和四个侧板连接而形成壳体内置空间，且四个侧板环绕式得连接而形成一开口；其中当晶圆载具承载或取出于壳体内置空间时，晶圆载具将仅经由开口进出。根据本专利技术的一实施例，晶圆转向装置更包括一晶圆限位件，晶圆限位件设于壳体内，以防止晶圆从该开口滑出。根据本专利技术的一实施例，晶圆转向装置更包括一晶圆夹持件，晶圆夹持件设于壳体内，其中晶圆夹持件与晶圆载具，用以夹持晶圆。根据本专利技术的一实施例，其中晶圆载具为半圆式结构，晶圆载具用以固定晶圆的一部份；其中晶圆夹持件位于晶圆载具的旁边，晶圆夹持件用以夹持晶圆的另一部份。根据本专利技术的一实施例，晶圆转向装置更包括一载具固定件，载具固定件设于壳体内，并位于晶圆载具的旁边以卡固住晶圆载具。根据本专利技术的一实施例，晶圆转向装置更包括一旋转底座，旋转底座连接壳体的底部；旋转底座的底座轴向旋转会带动壳体旋转至一方向角度，并且转向件也可以旋转壳体，使得晶圆载具或至少一晶圆的摆放方式对应得由平放或直放之间改变。根据本专利技术的一实施例，其中晶圆的摆放方式会随着壳体的旋转，而由平放改变为直放。根据本专利技术的一实施例，其中在晶圆从外部以平放的方式，放入壳体内的晶圆载具之后，转向件使壳体旋转，使得壳体旋转至直立，并且使得晶圆承载于晶圆载具，且晶圆及晶圆载具的摆放方式由平放改变为直放。根据本专利技术的一实施例，其中在晶圆从外部以平放的方式，放入壳体内的晶圆载具之前，晶圆载具承载进壳体内置空间，转向件使壳体旋转，使得壳体由直立旋转至平放，以供晶圆从外部以平放的方式放入。附图说明图1为现有技术的将晶圆放入晶圆暂存盒的示意图。图2为现有技术的顶升机构和晶圆暂存盒的示意图。图3为现有技术的顶升机构将晶圆移动至晶圆移载机构的示意图。图4为现有技术的晶圆移载机构将晶圆移动至载具上的示意图。图5为本专利技术的一实施例的开口朝向第一方向的晶圆转向装置的示意图。图5a为本专利技术的一实施例的另一态样的晶圆转向装置的示意图。图6为本专利技术的一实施例的载具固定件固定住晶圆载具的晶圆转向装置的示意图。图7为本专利技术的一实施例的旋转后的晶圆夹持件的晶圆转向装置的示意图。图8为本专利技术的一实施例的晶圆移动机构将晶圆放入开口朝向第二方向的晶圆转向装置的示意图。图9为本专利技术的一实施例的晶圆位于晶圆转向装置内的示意图。图10为本专利技术的一实施例的旋转后的晶圆限位件的晶圆转向装置的示意图。图11为本专利技术的一实施例的容纳着晶圆且旋转至朝向第一方向的晶圆转向装置的示意图。其中，附图标记为：现有技术：晶圆300机械臂400晶圆暂存盒500底部开口510顶升机构600晶圆移载机构700夹具710载具800移动方向M、N本专利技术：晶圆转向装置1、1a壳体10、10a开口11底板12侧板13、13a壳体内置空间14、14a壳体外表面15转向件20晶圆载具30载具凹槽31晶圆夹持件40夹持件凹槽41晶圆限位件50载具固定件60马达70旋转底座80晶圆100晶圆移动机构200第一方向A第二方向B旋转方向R1、R2、R3、R4、R5、R6放置方向P具体实施方式为能让贵审查委员能更了解本专利技术的
技术实现思路
，特举较佳具体实施例说明如下。以下请一并参考图5至图11关于依据本专利技术的一实施例的晶圆转向装置。图5为本专利技术的一实施例的开口朝向第一方向的晶圆转向装置的示意图；图5a为本专利技术的一实施例的另一态样的晶圆转向装置的示意图；图6为本专利技术的一实施例的载具固定件固定住晶圆载具的晶圆转向装置的示意图；图7为本专利技术的一实施例的旋转后的晶圆夹持件的晶圆转向装置的示意图；图8为本专利技术的一实施例的晶圆移动机构将晶圆放入开口朝向第二方向的晶圆转向装置的示意图；图9为本专利技术的一实施例的晶圆位于晶圆转向装置内的示意图；图10为本专利技术的一实施例的旋转后的晶圆限位件的晶圆转向装置的示意图；图11为本专利技术的一实施例的容纳着晶圆且旋转至朝向第一方向的晶圆转向装置的示意图。如图5和图8所示，在本专利技术的一实施例之中，晶圆转向装置1用以将收容着晶圆100的晶圆载具30的摆放方式由由平放或直放之间改变，并将原本平放的晶圆100放置在晶圆载具30上。晶圆转向装置1包括一壳体10、一转向件20、一晶圆载具30、二个晶圆夹持件40、二个晶圆限位件50、二个载具固定件60和一马达70。在本专利技术的一实施例之中，壳体10包括一开口11、一底板12、四个侧板13、13a、一壳本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆转向装置，其特征在于，包括：一壳体，包括一壳体内置空间与一壳体外表面；一转向件，连接该壳体外表面，该转向件用以使该壳体旋转；以及一晶圆载具，承载于该壳体内置空间，用以收容至少一晶圆；其中在该转向件使该壳体旋转，以翻转收容该至少一晶圆的该晶圆载具时，该晶圆载具的摆放方式会对应得由平放或直放之间改变，使得该晶圆载具和该至少一晶圆可以一起从该壳体内置空间内被取出。

【技术特征摘要】
2016.03.29 TW 1051099201.一种晶圆转向装置，其特征在于，包括：一壳体，包括一壳体内置空间与一壳体外表面；一转向件，连接该壳体外表面，该转向件用以使该壳体旋转；以及一晶圆载具，承载于该壳体内置空间，用以收容至少一晶圆；其中在该转向件使该壳体旋转，以翻转收容该至少一晶圆的该晶圆载具时，该晶圆载具的摆放方式会对应得由平放或直放之间改变，使得该晶圆载具和该至少一晶圆可以一起从该壳体内置空间内被取出。2.如权利要求1所述的晶圆转向装置，其特征在于，该壳体更包括一底板和三个侧板，该底板和该三个侧板连接而形成该壳体内置空间，当该晶圆载具承载于该壳体内置空间时，该晶圆载具的部分侧面暴露于外。3.如权利要求2所述的晶圆转向装置，其特征在于，当该晶圆载具承载或取出于该壳体内置空间时，可选择性得沿着两种不同轴向而从该壳体内置空间进出。4.如权利要求1所述的晶圆转向装置，其特征在于，该壳体更包括一底板和四个侧板，该底板和该四个侧板连接而形成该壳体内置空间，且该四个侧板环绕式得连接而形成一开口；其中当该晶圆载具承载或取出于该壳体内置空间时，该晶圆载具将仅经由该开口进出。5.如权利要求4所述的晶圆转向装置，其特征在于，更包括一晶圆限位件，该晶圆限位件设于该壳体内，以防止晶圆从该开口滑出。6.如权利要求1所述的晶圆转向装置，其特征在于，更包括一晶圆夹持件，该晶圆夹持件设于该...

【专利技术属性】
技术研发人员：林生海，高自强，
申请(专利权)人：辛耘企业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71