【技术实现步骤摘要】
本技术涉及制程腔室，尤指一种具有侧吸结构的基板处理装置。
技术介绍
1、在半导体的制程中，灰尘和微细粒子的存在会对产品的质量和性能产生不利影响，如产品的外观、功能和持久性等。因此，对灰尘粒子数进行控制有助于确保产品达到预期的质量标准。
2、再者，随着半导体技术的提升，高精密度或高科技制程也要求提高对灰尘粒子数的控制，以避免微细粒子存在而损害芯片性能，进而确保产品稳定性。
3、然而，受限于目前机台尺寸及制程腔室的内部空间设置，如何通过改善制程腔室的扰流，并进一步减少灰尘粒子数，即为本申请人的研究动机。
4、有鉴于此，本申请人遂针对上述现有技术，特潜心研究并配合学理的运用，尽力解决上述的问题点，即成为本申请人改良的目标。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技术之一目的，在于提供一种具有侧吸结构的基板处理装置，其腔室空间内的气体通过侧壁的侧吸口并流入排放管，由此对腔室空间中的气流进行整流，并进一步降低腔室空间中的灰尘粒子数。
2、为了达成上述之目的，本技术提供了一种具有侧吸结构的基板处理装置，其连接抽气装置。基板处理装置包括腔室本体及排放管。腔室本体包含二侧壁、顶壁及底壁，二侧壁、顶壁及底壁围合有腔室空间，各侧壁包含骨梁空间、设置在骨梁空间的梁架及连通腔室空间的多个侧吸口。排放管设置在梁架中并连接抽气装置；其中，启动抽气装置可令腔室空间内的气体通过侧吸口并流入排放管。
3、于本技术的一实施例中，基板处理装置更包括流体收集单
4、于本技术的一实施例中，侧吸口成组的设置在腔室空间的左、右侧。
5、于本技术的一实施例中，基板处理装置更包括控制阀，控制阀设置在抽气装置及排放管之间。
6、于本技术的一实施例中，梁架在面向腔室空间的一侧设置有多个通气口。
7、于本技术的一实施例中，梁架的一侧贴接腔室本体的侧壁，通气口对应侧吸口的位置设置。
8、于本技术的一实施例中，侧吸口呈矩阵排列在各侧壁。
9、于本技术的一实施例中，侧吸口位于各侧壁接近底壁的一侧。
10、于本技术的一实施例中，腔室本体的数量为多个，多个腔室本体并邻设置且共同形成有骨梁空间，各腔室本体在面向骨梁空间的侧壁分别设置有多个侧吸口。
11、于本技术的一实施例中，腔室本体在骨梁空间设置有并接的多个梁架。
12、由以上方案可知，本技术的基板处理装置的侧壁包含骨梁空间、梁架及连通腔室空间的多个侧吸口，另外将排放管设置在梁架中并连接抽气装置，因此，启动抽气装置后可使腔室空间内的气体通过侧吸口并流入排放管，从而达到对腔室空间中的气流进行整流，并进一步降低腔室空间中的灰尘粒子数的目的。
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1.一种具有侧吸结构的基板处理装置，其连接一抽气装置，其特征在于，该基板处理装置包括:
2.根据权利要求1所述的具有侧吸结构的基板处理装置，其特征在于，该基板处理装置更包括一流体收集单元及一流体供应单元，该流体收集单元及该流体供应单元设置在该腔室空间中。
3.根据权利要求1所述的具有侧吸结构的基板处理装置，其特征在于，该些侧吸口成组的设置在该腔室空间的左、右侧。
4.根据权利要求1所述的具有侧吸结构的基板处理装置，其特征在于，更包括一控制阀，该控制阀设置在所述抽气装置及该排放管之间。
5.根据权利要求1所述的具有侧吸结构的基板处理装置，其特征在于，该梁架在面向该腔室空间的一侧设置有多个通气口。
6.根据权利要求5所述的具有侧吸结构的基板处理装置，其特征在于，该梁架的一侧贴接该腔室本体的侧壁，该些通气口对应该些侧吸口的位置设置。
7.根据权利要求1所述的具有侧吸结构的基板处理装置，其特征在于，该些侧吸口呈矩阵排列在各该侧壁。
8.根据权利要求1所述的具有侧吸结构的基板处理装置，其特征在于，该些侧吸口
9.根据权利要求1所述的具有侧吸结构的基板处理装置，其特征在于，该腔室本体的数量为多个，该多个腔室本体并邻设置且共同形成有该骨梁空间，各腔室本体在面向该骨梁空间的侧壁分别设置有多个侧吸口。
10.根据权利要求9所述的具有侧吸结构的基板处理装置，其特征在于，该些腔室本体在该骨梁空间设置有并接的多个梁架。
...【技术特征摘要】
1.一种具有侧吸结构的基板处理装置，其连接一抽气装置，其特征在于，该基板处理装置包括:
2.根据权利要求1所述的具有侧吸结构的基板处理装置，其特征在于，该基板处理装置更包括一流体收集单元及一流体供应单元，该流体收集单元及该流体供应单元设置在该腔室空间中。
3.根据权利要求1所述的具有侧吸结构的基板处理装置，其特征在于，该些侧吸口成组的设置在该腔室空间的左、右侧。
4.根据权利要求1所述的具有侧吸结构的基板处理装置，其特征在于，更包括一控制阀，该控制阀设置在所述抽气装置及该排放管之间。
5.根据权利要求1所述的具有侧吸结构的基板处理装置，其特征在于，该梁架在面向该腔室空间的一侧设置有多个通气口。
6.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈瑞志，
申请(专利权)人：辛耘企业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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