工件处理系统、距离测量装置及工件放置路径设定方法制造方法及图纸

一种由工件处理系统对工件实施的工件放置路径设定方法，所述工件处理系统包含承载座及机械手臂，且所述工件放置路径设定方法包含：获得对应所述承载座的第一位置，以及在所述工件被放置于所述承载座的情况下获得对应所述工件的第二位置；根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异产生校正放置路径。其中，所述校正放置路径是用于控制所述机械手臂将待处理工件放置至所述承载座，而使得所述待处理工件的中心与所述承载座的中心之间的距离小于所述第一位置与所述第二位置之间的距离。所述校正放置路径能使所述机械手臂将待处理工件放置地与所述承载座更加对齐，所以能避免因所述待处理工件的放置位置偏差而对所述待处理工件的处理造成负面影响。处理工件的处理造成负面影响。处理工件的处理造成负面影响。

【技术实现步骤摘要】
工件处理系统、距离测量装置及工件放置路径设定方法


[0001]本专利技术涉及一种处理系统，特别是涉及一种适用于工件的工件处理系统。本专利技术还有关于该工件处理系统所包含的一种距离测量装置，以及由该工件处理系统对工件实施的一种工件放置路径设定方法。

技术介绍

[0002]许多加工产业会利用机械手臂来将工件(例如晶圆)放入各种处理设备(例如蚀刻设备)，以进行工件的加工或其他处理。而工件被放置在处理设备内的位置准确与否对处理成果而言至关重要，因此，如何确保工件能被准确地放置在处理设备中的正确位置，便成为一个值得探讨的议题。

技术实现思路

[0003]因此，本专利技术的其中一目的，便在于提供一种能够准确放置工件的工件处理系统。
[0004]本专利技术工件处理系统适用于处理工件，所述工件处理系统包含：工件处理设备，包括适用于承载所述工件的承载座、适用于固持并移动所述工件的机械手臂，以及处理单元；距离测量装置，与所述承载座位置相对应且与所述处理单元电连接；其中，所述处理单元用于根据由所述距离测量装置所产生的第一感测结果获得对应所述承本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工件处理系统，适用于处理工件，其特征在于：所述工件处理系统包含：工件处理设备，包括适用于承载所述工件的承载座、适用于固持并移动所述工件的机械手臂，以及处理单元；及距离测量装置，与所述承载座位置相对应且与所述处理单元电连接；其中，所述处理单元用于根据由所述距离测量装置所产生的第一感测结果获得对应所述承载座的第一位置，并根据由所述距离测量装置在所述工件被放置于所述承载座的情况下所产生的第二感测结果获得对应所述工件的第二位置，其中，所述第一位置与所述第二位置之间的距离被作为偏移距离，并且，所述处理单元还用于至少根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异产生对应所述机械手臂的校正放置路径，其中，所述校正放置路径是用于控制所述机械手臂将待处理工件放置至所述承载座，且使得所述待处理工件被所述机械手臂放置于所述承载座时的中心位置与所述承载座的中心位置之间的距离小于所述偏移距离。2.根据权利要求1所述的工件处理系统，其特征在于：所述处理单元还与所述机械手臂电连接，并且，所述处理单元在根据所述第一感测结果获得所述第一位置后，是先根据初始放置路径控制所述机械手臂将所述工件放置至所述承载座，再根据所述距离测量装置在所述工件被以所述初始放置路径放置于所述承载座的情况下所产生的所述第二感测结果获得所述第二位置，并且，所述处理单元是根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异调整所述初始放置路径，从而产生所述校正放置路径。3.根据权利要求2所述的工件处理系统，其特征在于：所述距离测量装置包括多个距离感测器，且所述第一感测结果及所述第二感测结果各包含多个分别对应所述距离感测器的感测距离值，并且，所述处理单元是至少根据所述第一感测结果的所述感测距离值计算出对应所述承载座的所述第一位置，以及至少根据所述第二感测结果的所述感测距离值计算出对应所述工件的所述第二位置。4.根据权利要求3所述的工件处理系统，其特征在于：所述承载座及所述工件各自呈圆盘状，且所述距离感测器是设置于所述承载座的周围；所述第一感测结果所包含的每一感测距离值，是代表该感测距离值所对应之该距离感测器与所述承载座之侧周面之间的距离；所述处理单元是先至少根据所述第一感测结果的所述感测距离值计算出多个分别对应所述感测距离值的第一圆周坐标，再根据所述第一圆周坐标计算出所述第一位置，且所述第一位置是代表所述承载座之圆形表面的圆心位置；所述第二感测结果所包含的每一感测距离值，是代表该感测距离值所对应之该距离感测器与所述工件之侧周面之间的距离；及所述处理单元是先至少根据所述第二感测结果的所述感测距离值计算出多个分别对应所述感测距离值的第二圆周坐标，再根据所述第二圆周坐标计算出所述第二位置，且所述第二位置是代表所述工件之圆形表面的圆心位置。5.根据权利要求2所述的工件处理系统，其特征在于：所述处理单元还适用于与用于供用户操作的输入单元电连接，并且，所述初始放置路径是由所述处理单元在接收到来自所述输入单元的初始放置坐标后，至少根据所述初始放置坐标所产生的。
6.根据权利要求1所述的工件处理系统，其特征在于：所述处理单元产生所述校正放置路径的方式，是至少根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异产生对应所述机械手臂的测试放置路径，并根据所述测试放置路径执行测试程序，其中，所述测试程序包含：控制所述机械手臂以所述测试放置路径将所述工件放置至所述承载座，并判断所述工件被放置在该承载座上时的当前中心位置与所述承载座的中心位置之间的距离是否小于更小于该偏移距离的偏移门槛，若判断结果为是，将所述测试放置路径作为所述校正放置路径，若判断结果为否，以所述当前中心位置更新所述第二位置，并至少根据更新后的所述第二位置产生另一对应该机械手臂的测试放置路径，并根据另该测试放置路径再次执行所述测试程序。7.一种距离测量装置，适用于设置在工件处理设备，且所述工件处理设备包含用于承载工件的承载座；其特征在于：所述距离测量装置包含：本体，适用于被设置在所述工件处理设备；及多个距离感测器，设置于所述本体并各自朝向所述承载座，以使每一距离感测器能在所述承载座上未放置工件时测量其本身与所述承载座之间的距离，并在所述承载座上有放置所述工件时测量其本身与所述工件之间的距离。8.根据权利要求7所述的距离测量装置，其特征在于：所述承载座呈圆盘状，且所述距离感测器相对于所述承载座呈扇...

【专利技术属性】
技术研发人员：童瑞发，林世佳，
申请(专利权)人：辛耘企业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：