分布式输入/输出（IO）控制和互锁环架构制造技术

一种系统包括可编程逻辑控制(PLC)模块、输入/输出(IO)网络总线，该网络总线耦接至PLC模块并设置在主机的小面处。第一处理腔室附接至所述小面的第一小面。该腔室接口IO子模块附接至第一小面并且耦接至IO网络总线及第一处理腔室的处理腔室IO控制器。腔室接口IO子模块用于：将经由与处理腔室IO控制器的干接触交换接收的互锁中继信号转换为数字信号；将数字信号组合为适合使用IO网络总线的协议进行通信的网络封包；并且经IO网络总线将网络封包传输至PLC模块。至PLC模块。至PLC模块。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】分布式输入/输出(IO)控制和互锁环架构


[0001]本公开内容的实施方式涉及分布式输入/输出(input/output；IO)控制和互锁环架构。

技术介绍

[0002]用于半导体处理的下一代主机将在尺寸上增长并且寻求增加高密度的处理腔室(例如，在主机上多达十个或更多个处理腔室)、在任何主机小面位置的任何腔室类型的高度灵活性，及支持多达三个主机群集。群集为在小面位置处连接的主机集合，该主机集合可为主机至主机配置或经由类似于装载锁定机构的缓冲空间。例如，诸如铝主体的连接空间被称为通孔并且可将主机连接在一起。此类主机的当前IO控制将高密度离散互锁及IO信号分散至平台模块，包括处理腔室、装载锁定机构、主机遥控器及额外主机。
[0003]然而，当前的控制架构经由主机IO控制器支持有限数目的处理腔室，例如2、4、6或8个处理腔室。此外，当前的IO控制(包括离散互锁和IO信号的传输)是使用电缆及线束实现的，所述电缆及线束由源自中央主机IO控制器的连接器及离散电线组成。此外，清洁干燥空气(clean dry air；CDA)供应线为多股电缆，该多股电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种系统，包含：可编程逻辑控制(PLC)模块；输入/输出(IO)网络总线，所述网络总线耦接至所述PLC模块并设置在主机的复多个小面；第一处理腔室，附接至所述多个小面的第一小面；腔室接口IO子模块，所述腔室接口IO子模块附接至所述第一小面并且耦接至所述IO网络总线及所述第一处理腔室的处理腔室IO控制器，其中所述腔室接口IO子模块用以：将经由与处理腔室IO控制器的干接触交换接收的互锁中继信号转换为数字信号；将所述数字信号组合为适合使用所述IO网络总线的协议进行通信的网络封包；和将所述网络封包经所述IO网络总线传输至所述PLC模块。2.如权利要求1所述的系统，其中所述PLC模块包括第一互锁总线端口，所述系统进一步包含：第二主机的第二PLC模块，所述第二PLC模块包含第二互锁总线端口，并且其中所述PLC模块及所述第二PLC模块为安全PLC模块；和互锁连接器，用以经互锁总线将所述第一互锁总线端口耦接至所述第二互锁总线端口。3.如权利要求1所述的系统，其中所述IO网络总线为附接有多个网络总线T形连接器的单个以太网络电缆，其中至少一个T形连接器位于多个小面的每一者处。4.如权利要求1所述的系统，进一步包含以下至少一者：装载锁定IO控制器，经第一本端IO总线耦接至所述PLC模块；传送腔室IO控制器，经所述第一本端IO总线或第二本端IO总线中的一者耦接至所述PLC模块；或泵IO，经所述第一本端IO总线、所述第二本端IO总线或第三本端IO总线的一者耦接至所述PLC模块。5.如权利要求1所述的系统，其中IO网络总线包含：第一多个网络连接器，位于所述多个小面处；和第二多个网络连接器，所述系统进一步包含附接至所述第二多个网络连接器的一者的子模块IO控制器，所述子模块IO控制器用以控制装载锁定加热器、集成质量流量系统、使用点泵、通孔狭缝阀，或遥控开关的一者。6.如权利要求1所述的系统，进一步包含：清洁干燥空气(CDA)供应环，定位在所述主机的周边周围并且包含位于所述多个小面处的多个CDA快速断开装置；和第一狭缝阀组件，耦接至所述第一小面，所述第一狭缝阀组件包含：腔室狭缝阀，包含位置传感器；和电动阀歧管，耦接至所述CDA供应环的CDA快速断开装置及至所述腔室狭缝阀；并且其中所述腔室接口IO子模块耦接至所述EV歧管及所述腔室狭缝阀，所述腔室接口IO子模块进一步将所述狭缝阀的位置值从所述位置传感器经IO网络总线中继至所述PLC模块。7.如权利要求6所述的系统，其中所述EV歧管包含一个或多个EV，并且其中所述腔室接口IO子模块进一步将经所述IO网络总线从所述PLC模块接收的控制信号中继至所述EV歧
管，以通过驱动所述一个或多个EV来控制狭缝阀气动装置。8.如权利要求6所述的系统，进一步包含耦接至所述多个小面中的附加小面的附加狭缝阀组件，附加处理腔室在所述小面处附接至所述主机。9.如权利要求6所述的系统，其中所述第一狭缝阀组件进一步包含连接至所述EV歧管的CDA多线，其中所述CDA快速断开装置将所述CDA多线连接至所述CDA供应环。10.如权利要求6所述的系统，其中所述IO网络总线包含在第一小面处的网络连接器，并且其中所述第一狭缝阀组件进一步包含附接至所述腔室接口IO子模块的网络下引电缆，其中所述网络连接器将所述网络下引电缆连接至所述IO网络总线。11.一种狭缝阀组件，包含：腔室狭缝阀，包含位置传感器；电动阀(EV)歧管，包含耦接至所述腔室狭缝阀的EV；清洁干燥空气(CDA)多线，耦接至所述EV歧管并耦接至主机的CDA供应环；和腔室接口输入/输出(IO)子模块，耦接至所述位置传感器、所述EV歧管并且耦接至所述主机的IO网络总线，所述腔室接口IO子模块用以：将来自所述位置传感器的所述狭缝阀的位置值经所述IO网络总线中继至所述主机的可编程...

【专利技术属性】
技术研发人员：詹姆斯，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：