基板移送装置及包括其的基板处理系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种基板移送装置及包括其的基板处理系统，对进行药液涂覆工艺处理的基板进行移送的基板移送装置包括：振动板，其利用通过超声波产生的振动能来使得基板悬浮；移送部件，其使得通过振动板悬浮的基板移送；偏差补偿部，其对悬浮的基板和移送部件之间的高度偏差进行补偿，据此可得到的效果在于，使得基板的悬浮高度及悬浮姿势保持一致。

【技术实现步骤摘要】
基板移送装置及包括其的基板处理系统
本技术涉及一种基板移送装置及包括其的基板处理系统，更为具体地涉及一种基板移送装置及包括其的基板处理系统，所述基板移送装置在基板以悬浮的状态移动的期间，能够使得基板的悬浮高度及悬浮姿势保持平坦。
技术介绍
在制造LCD等平板显示器的工艺中，伴随着在由玻璃等制作的被处理基板的表面涂覆抗蚀剂液等药液的涂布(coating)工艺。在LCD的尺寸小的现有技术中使用了旋转涂布方法，所述旋转涂布方法在被处理基板的中央部涂覆药液的同时，使得被处理基板旋转，据此将药液涂覆于被处理基板的表面。但是，随着LCD画面的尺寸大型化，旋转涂布方式几乎不被使用，并且正使用如下方式的涂布方法：使得具有与被处理基板的宽度相对应的长度的狭缝(slit)形态的狭缝喷嘴和被处理基板相对移动，同时从狭缝喷嘴将药液涂覆于被处理基板的表面。最近，作为一种在所规定的时间内将药液涂布于更多数量的被处理基板的表面的方法的部分，在日本公开专利公报第2005-243670号公开一种如下形式的技术：设置有悬浮平台，所述悬浮平台通过沿着基板被搬入并涂覆且搬出的方向喷出空气来使得基板悬浮，在其两侧设置有由吸附垫等形成的基板排出装置，通过停止状态的狭缝喷嘴来将药液供给于连续被供给的被处理基板的表面并进行涂布。另外，在悬浮式基板涂层器(coater)装置中，在基板被移送的期间，如果基板的悬浮高度不一致或者部分产生下垂，则问题在于，药液难以以一致的高度涂覆于基板的表面，并且由于药液的不均匀涂覆而产生污点，因此在基板被移送的期间，基板的悬浮高度应该能够保持一致且稳定。但是，在现有悬浮式基板涂层器装置中，存在的问题在于，在悬浮力作用于基板的期间，难以使得基板的悬浮高度及悬浮姿势保持一定，并且由于基板的悬浮高度偏差而产生无法均匀地涂覆药液的现象。特别是，在现有技术中问题在于，如果在基板的悬浮高度和吸附于基板侧边的吸附垫的配置高度间产生高度偏差，则难以使得基板以一致的高度整体悬浮，据此存在的问题在于，在药液被涂覆的地点(狭缝喷嘴的下部)狭缝喷嘴和基板之间的间距无法保持一致，从而药液难以以均匀的厚度涂覆于基板的表面。据此，最近进行用于使得基板的悬浮高度保持一致并均匀地涂覆药液的多种研究，但是仍然存在不足，从而要求对此的开发。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种基板移送装置及包括其的基板处理系统，其能够使得基板的悬浮高度保持一致，并且能够以不晃动的状态使得基板稳定地悬浮。特别是，本技术的目的在于，对基板与使得基板移送的移送部件之间的高度偏差进行补偿，从而能够以一致的高度使得基板悬浮。此外，本技术的目的在于，在不对结构变更进行变更或者不增加另外的设备的状态下，可补偿相对于基板的悬浮高度的移送部件的高度偏差。此外，本技术的目的在于，可简化结构，并且能够有助于设备的小型化。此外，本技术的目的在于，提供一种基板处理装置，其在将药液涂覆于基板的过程中，均匀地涂覆药液，从而可抑制污点的产生。此外，本技术的目的在于，可形成高品质的药液涂覆层，并且能够提高收率。根据用于实现如上所述的本技术的目的的本技术的优选实施例，对进行药液涂覆工艺处理的基板进行移送的基板移送装置包括：振动板，其利用通过超声波产生的振动能来使得基板悬浮；移送部件，其使得通过振动板悬浮的基板移送；偏差补偿部，其对悬浮的基板和移送部件之间的高度偏差进行补偿。其目的在于，当基板以悬浮的状态移动的期间，使得基板的悬浮高度及悬浮姿势保持平坦。特别是，本技术中，利用偏差补偿部来对悬浮的基板和移送部件之间的高度偏差进行补偿，据此可得到的有利效果在于，使得基板的悬浮高度及悬浮姿势保持一定。换句话说，如果悬浮的基板和移送部件之间产生高度偏差，例如，如果移送部件的上面(吸附基板的面)的高度比悬浮的基板的底面高，则问题在于，被移送部件抓握(吸附)的基板的边缘部的高度部分地变高。相反，如果移送部件的上面高度比悬浮的基板的底面低，则问题在于，被移送部件抓握(吸附)的基板的边缘部的高度部分地变低。由此，本技术中，利用偏差补偿部来对悬浮的基板和移送部件之间的高度偏差进行补偿，据此可得到的有利效果在于，在没有基板的部分的高度变化的状态下使得基板的悬浮高度及悬浮姿势保持一定。尤其，当基板以悬浮于振动板的上部的状态(以一致的高度悬浮的状态)被移送的期间，使得药液涂覆于基板的表面，据此可得到的效果在于，以一致的厚度将药液涂覆于基板的表面，当基板以悬浮于振动板的上部的状态(以一致的高度悬浮的状态)被移送的期间，使得基板被加热，并且使得涂覆于基板的药液得到干燥，据此可得到的有利效果在于，均匀地对涂覆于基板的药液进行干燥。偏差补偿部可设置为能够对悬浮的基板和移送部件之间的高度偏差进行补偿的多种结构。更为具体地，偏差补偿部包括：测量部，其对悬浮的基板和移送部件之间的高度偏差进行测量；高度调节部，其根据在测量部测量的结果对相对于基板的移送部件的相对高度进行调节。例如，偏差补偿部包括：空气轴承部件，其结合于移送部件，并且沿着移送轨道直线移动，所述移送轨道沿着基板的移送路径配置；气体供给部，其供给用于在空气轴承部件和移送轨道之间形成气体润滑层的气体，高度调节部对从气体供给部供给的气体的供给压力进行调节，从而调节相对于移送轨道的空气轴承部件的悬浮高度，因此随着相对于移送轨道的空气轴承部件的悬浮高度变化，相对于基板的移送部件的高度得到调节。如上所述，对向空气轴承部件供给的气体的供给压力进行调节，从而调节相对于基板的移送部件的高度，据此可得到的有利效果在于，准确且微小地调节相对于基板的移送部件的高度。换句话说，也可以通过利用移送螺杆或者齿轮等的机械式调节来对相对于基板的移送部件的高度进行调节。但是，在机械式的高度调节方式中，不可避免地产生由于间隙(BACKLASH)等而引起的误差，因此存在的问题在于，难以准确且微小地调节相对于基板的移送部件的高度。特别是，在通过超声波振动能使得基板悬浮的方式中，基板以非常微小的高度(30～50μm)悬浮，并且相对于基板的移送部件的高度调节也在非常微小的范围(例如，2～5μm)内实现，但是通过机械式的高度调节方式存在的问题在于，难以微小地调节移送部件的高度。但是，本技术中，不是通过机械式的高度调节，而是通过可调节微小压力的空气压力控制来对相对于基板的移送部件的高度进行调节，据此可得到的有利效果在于，更加准确且微小地对相对于基板的移送部件的高度进行调节。并且，基板移送部包括：吸入孔，其形成于与基板相面对的移送部件(例如，移送部件的上面)；吸入压形成部，其在吸入孔形成吸入压，以便基板吸附固定于移送部件。如上所述，如果通过吸入压形成部向吸入孔施加吸入压，则基板可通过吸附基板表面的吸入压(负压)固定于移送部件。作为另外的一个例子，偏差补偿部包括：吸入孔，其形成于移送部件；吸入压形成部，其在吸入孔形成吸入压，以便基板吸附固定于移送部件，高度调节部对通过吸入压形成部形成于吸入孔的吸入压进行调节，并且根据吸入压的变化来调节相对于移送部件的基板的吸附高度。如上所述，不是通过机械式的高度调节，而是通过可调节微小压力的空气压力控制(吸入压控制)来对相对于移送部件的基板的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板移送装置，其移送进行药液涂覆工艺处理的基板，所述基板移送装置的特征在于，包括:振动板，其利用通过超声波产生的振动能来使得基板悬浮；移送部件，其使得通过所述振动板悬浮的所述基板移送；偏差补偿部，其对悬浮的所述基板和所述移送部件之间的高度偏差进行补偿。

【技术特征摘要】
2016.12.01 KR 10-2016-01624241.一种基板移送装置，其移送进行药液涂覆工艺处理的基板，所述基板移送装置的特征在于，包括:振动板，其利用通过超声波产生的振动能来使得基板悬浮；移送部件，其使得通过所述振动板悬浮的所述基板移送；偏差补偿部，其对悬浮的所述基板和所述移送部件之间的高度偏差进行补偿。2.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，所述偏差补偿部包括：测量部，其对悬浮的所述基板和所述移送部件之间的高度偏差进行测量；高度调节部，其根据在所述测量部测量的结果对相对于所述基板的所述移送部件的相对高度进行调节。3.根据权利要求2所述的基板移送装置，其特征在于，包括：空气轴承部件，其结合于所述移送部件，并且沿着移送轨道直线移动，所述移送轨道沿着所述基板的移送路径配置；气体供给部，其供给用于在所述空气轴承部件和所述移送轨道之间形成气体润滑层的气体，所述高度调节部对从所述气体供给部供给的所述气体的供给压力进行调节，从而调节相对于所述移送轨道的所述空气轴承部件的悬浮高度，随着相对于所述移送轨道的所述空气轴承部件的悬浮高度变化，相对于所述基板的所述移送部件的高度得到调节。4.根据权利要求3所述的基板移送装置，其特征在于，包括：吸入孔，其形成于所述移送部件；吸入压形成部，其在所述吸入孔形成吸入压，以便所述基板吸附固定于所述移送部件。5.根据权利要求2所述的基板移送装置，其特征在于，包括：吸入孔，其形成于所述移送部件；吸入压形成部，其在所述吸入孔形成吸入压，以便所述基板吸附固定于所述移送部件，所述高度调节部对通过所述吸入压形成部形成于所述吸入孔的所述吸入压进行调节，根据所述吸入压的变化来调节相对于所述移送部件的所述基板的吸附高度。6.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，所述移送部件包括第一移送部件和第二移送部件中至少任意一个，所述第一移送部件固定于沿着所述基板的移送方向的所述基板的一侧边，所述第二移送部件固定于沿着所述基板的移送方向的所述基板的其他侧边，所述偏差补偿部对所述第一移送部件和所述第二移送部件中至少任意一个与所述基板之间的高度偏差进行补偿。7.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，当所述基板以悬浮于所述振动板的上部的状态被移送的期间，药液涂覆于所述基板的表面。8.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，当所述基板以悬浮于所述振动板的上部的状态被移送的期间，所述基板被加热，并且涂覆于所述基板的药液得到干燥。9.一种基板处理系统，其对被处理基板进行药液涂覆工艺的处理，所述基板处理系统的特征在于，包括：基板移送部，其包括振动板、移送部件、偏差补偿部，所述振动板利用通过超声波产生的振动能来使得基板悬浮，所述移送部件使得通过所述振...

【专利技术属性】
技术研发人员：李气雨，赵珳技，
申请(专利权)人：KC科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：韩国,KR