晶圆转向装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种晶圆转向装置，用以将晶圆的摆放方式由平放改变为直放。晶圆转向装置包括一壳体、一转向件和一晶圆载具。壳体包括一开口。转向件连接壳体，用以使壳体旋转，使得开口旋转至朝向一第一方向或一第二方向。晶圆载具位于壳体内，用以承载晶圆。在晶圆从外部以平放的方式放入壳体内部之前，转向件使壳体旋转，使得开口朝向第二方向。当晶圆以平放的方式放入壳体内部之后，转向件使壳体旋转，使得开口朝向第一方向，并且使晶圆承载于晶圆载具，且晶圆的摆放方式由平放改变为直放。

Wafer steering device

The invention discloses a wafer steering device for changing the placement of wafers from flat to vertical. The wafer steering device includes a housing, a steering member, and a wafer carrier. The housing includes an opening. The steering element is connected to the housing for rotating the housing so as to rotate the opening toward a first direction or a second direction. The wafer carrier is located inside the housing to carry the wafer. Before the wafer is placed inside the housing in a flat manner from the outside, the steering member rotates the housing so that the opening is directed in the second direction. When the wafer to flat into the inside of the shell, the shell rotating steering member, the opening towards the first direction, and the wafer bearing on the wafer carrier, and wafer placed by flat change repeater.

【技术实现步骤摘要】
晶圆转向装置
本专利技术是关于一种晶圆转向装置，特别是一种将晶圆的摆放方式由平放改变为直放，并将晶圆从不同载具之间转换的晶圆转向装置。
技术介绍
在半导体制程中，需要对晶圆进行多种加工制程。在不同制程中，用来承载晶圆的载具也会不用，并且晶圆的摆放方式也会不同。当晶圆在不同载具和不同的摆放方式之间转换时，会使用许多装置来让晶圆在二个不同载具之间安全得转换。若是需要将平放在平台或流水线机台上的晶圆300放置在直立摆放式的载具上时，如图1所示，会需要先使用机械臂400抬起平放的晶圆300，再将平放的晶圆300放入晶圆暂存盒500。当晶圆暂存盒500内放满晶圆300之后，如图2所示，可将晶圆暂存盒500旋转，使得晶圆暂存盒500的底部开口510朝向下方，以便顶升机构600沿着移动方向M移动而穿过底部开口510，而将晶圆暂存盒500内的晶圆300举起。接着，如图3所示，将晶圆移载机构700和晶圆暂存盒500对齐后，使用者可以让顶升机构600升高以穿过底部开口510并举起晶圆暂存盒500内的晶圆300，使得晶圆300进入晶圆移载机构700内，以便晶圆移载机构700的夹具710夹住晶圆300。最后本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆转向装置，其特征在于，用以将至少一晶圆的摆放方式由平放改变为直放，该晶圆转向装置包括：一壳体，包括一开口；一转向件，连接该壳体，该转向件用以使该壳体旋转，使得该开口旋转至朝向一第一方向或一第二方向；以及一晶圆载具，位于该壳体内，用以承载该至少一晶圆；其中在该至少一晶圆从外部以平放的方式，从该开口放入该壳体内部之前，该转向件使该壳体旋转，使得该开口旋转至朝向该第二方向；当该至少一晶圆以平放的方式，从该开口放入壳体内部之后，该转向件使该壳体旋转，使得该开口旋转至朝向该第一方向，并且使得该至少一晶圆承载于该晶圆载具，且该至少一晶圆的摆放方式由平放改变为直放。

【技术特征摘要】
2016.03.29 TW 1051099201.一种晶圆转向装置，其特征在于，用以将至少一晶圆的摆放方式由平放改变为直放，该晶圆转向装置包括：一壳体，包括一开口；一转向件，连接该壳体，该转向件用以使该壳体旋转，使得该开口旋转至朝向一第一方向或一第二方向；以及一晶圆载具，位于该壳体内，用以承载该至少一晶圆；其中在该至少一晶圆从外部以平放的方式，从该开口放入该壳体内部之前，该转向件使该壳体旋转，使得该开口旋转至朝向该第二方向；当该至少一晶圆以平放的方式，从该开口放入壳体内部之后，该转向件使该壳体旋转，使得该开口旋转至朝向该第一方向，并且使得该至少一晶圆承载于该晶圆载具，且该至少一晶圆的摆放方式由平放改变为直放。2.如权利要求1所述的晶圆转向装置，其特征在于，该晶圆载具更包...

【专利技术属性】
技术研发人员：林生海，高自强，
申请(专利权)人：辛耘企业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71