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本发明公开一种晶圆转向装置，用以将晶圆的摆放方式由平放改变为直放。晶圆转向装置包括一壳体、一转向件和一晶圆载具。壳体包括一开口。转向件连接壳体，用以使壳体旋转，使得开口旋转至朝向一第一方向或一第二方向。晶圆载具位于壳体内，用以承载晶圆。在晶...
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