水气分离器及真空系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种水气分离器及真空系统，所述水气分离器包括上端具有出气口(14)、下端具有排水口(15)的外壳体(1)，所述外壳体(1)内设置有从所述外壳体(1)的上端向下端的方向延伸的内筒体(2)，所述内筒体(2)的下端与所述外壳体(1)之间具有间距；其中所述内筒体(2)的外壁面上设置有从上向下呈螺旋状延伸的导向结构(3)，所述外壳体(1)上设置有通向所述内筒体(2)的所述导向结构(3)的进气口(13)。本实用新型专利技术提供的水气分离器及真空系统能够实现气体与水及其它杂质的分离，从而有效避免水和其它杂质进入到真空系统中而对真空设施造成损害。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及水气分离技术，尤其涉及一种水气分离器及真空系统。
技术介绍
在真空系统中，通常设置真空泵来抽取气体以使得容器等保持真空。但是，在有水和杂质的环境中，水和杂质会随气体通过真空泵进入到真空系统中，从而会对真空设施造成损害。例如，电子玻璃研磨机一般使用真空系统将玻璃基板吸附在工作平台上，由于玻璃在研磨过程中都会供应冷却水以满足磨削区域冷却润滑的需要，因而有大量的水和磨削杂质会排泄到工作平台上，一部分会顺着真空系统进入到真空管路中，由此对真空设施造成损害。因此，为避免水和杂质进入到真空系统中，需要提供一种能够将气体与水及其它杂质进行分离的水气分离器。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种水气分离器，该水气分离器能够有效将气体与水和其它杂质分离，避免水和杂质进入到真空系统中。为了实现上述目的，本技术提供一种水气分离器，所述水气分离器包括上端具有出气口、下端具有排水口的外壳体，所述外壳体内设置有从所述外壳体的上端向下端的方向延伸的内筒体，所述内筒体的下端与所述外壳体之间具有间距；其中所述内筒体的外壁面上设置有从上向下呈螺旋状延伸的导向结构，所述外壳体上设置有通向所述内筒体的所述导向结构的进气口。优选地，所述导向结构与所述外壳体之间具有间距。优选地，所述外壳体为与所述内筒体同轴的圆柱形壳体，所述进气口设置为进气方向相切于所述外壳体的内壁面，且所述进气口位于所述内筒体的上部位置。优选地，所述内筒体的上端与所述外壳体之间封闭设置。优选地，所述内筒体的上端与所述外壳体之间设置有封盖所述外壳体与所述内筒体之间的间隙的环形件。优选地，所述外壳体包括筒状主体及固定在所述筒状主体上端的筒盖，所述出气口设置在所述筒盖上。优选地，所述筒状主体的上端和所述筒盖上分别设置有连接法兰，所述筒盖和所述筒状主体通过所述连接法兰固定连接。优选地，所述筒盖形成为外凸的第一圆弧形结构，所述出气口设置在该第一圆弧形结构的顶端；所述筒状主体的下端形成为外凸的第二圆弧形结构，所述排水口设置在该第二圆弧形结构的底端。优选地，所述排水口处设置有用于控制所述排水口是否排水的控制阀。本技术另一方面还提供一种真空系统，包括真空泵，所述真空系统还包括如上所述的水气分离器，所述水气分离器的所述出气口与所述真空泵的入口连接。本技术提供的水气分离器和真空系统，能够很好地实现水和气体的分离，避免水和杂质进入到真空泵等真空设施中而造成损害。而且本技术提供的水气分离器结构简单，性能稳定可靠。本技术的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。附图说明附图是用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本技术，但并不构成对本技术的限制。在附图中：图1为本技术的一个实施方式中水气分离器从外侧看的结构示意图；图2为图1中的水气分离器从另一角度看的结构示意图；图3为水气分离器的纵向剖视图；图4为水气分离器从进气口处横向剖切的横向剖视图；图5为水气分离器纵向剖切的正视图。附图标记说明：1-外壳体；11-筒状主体；111-第一法兰；12-筒盖；121-第二法兰；13-进气口；14-出气口；15-排水口；2-内筒体；3-导向结构；4-环形体。具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。在本技术中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下”是指水气分离器本身在正常应用状态或基于附图所示的方向或位置关系，“内、外”是指零部件本身轮廓的。本技术提供一种水气分离器，如图1-图3所示，该水气分离器包括上端具有出气口14、下端具有排水口15的外壳体1，外壳体1内设置有从所述外壳体1的上端向下端的方向延伸的内筒体2，所述内筒体2的下端与所述外壳体1之间具有间距；其中所述内筒体2的外壁面上设置有从上向下呈螺旋状延伸的导向结构3，所述外壳体1上还设置有通向所述内筒体2的所述导向结构3的进气口13。本技术提供的水气分离器可设置在真空系统的真空泵入口的管路上，水气分离器的出气口14与真空泵的入口连接。在真空泵抽真空时，水气从所述水气分离器的进气口13进入到该水气分离器中，然后水气沿内筒体2外侧的螺旋状的导向结构3形成涡旋向下的运动，这时，由于离心力的作用，质量重的水和杂质由于惯性与气体分离，分离后的水和杂质大部分被抛到外壳体1的内壁上并沿外壳体1的内壁落下，落到导向结构3上的水和杂质会顺着导向结构3向下落到外壳体的下部，最终水和杂质汇集到外壳体1底部的排水口15排出。而分离后的气流在沿导向结构3在运动到内筒体2的下端后，突然急转向上经内筒体2的内部，从出气口14排出。由此通过该水气分离器能够很好地实现水和气体的分离，避免水和杂质进入到真空泵等真空设施中而造成损害。本技术提供的水气分离器结构简单，性能稳定可靠。在本技术的优选实施方式中，如图1和图4所示，所述外壳体1为与内筒体2同轴的圆柱形壳体，所述进气口13设置为进气方向相切于所述外壳体1的内壁面，且所述进气口13位于所述内筒体2的上部位置。外壳体1具体包括筒状主体11及固定在所述筒状主体11上端的筒盖12，所述出气口14设置在所述筒盖12上。优选地，筒状主体11的上端和筒盖12上分别设置有连接法兰，所述筒盖12和所述筒状主体11通过所述连接法兰固定连接。具体的，所述筒状主体11的上端径向向外延伸形成第一法兰111，筒盖12径向延伸形成第二法兰121，第一法兰111和第二法兰121通过沿圆周间隔设置的多个螺栓紧固在一起。优选地，所述筒盖12形成为外凸的第一圆弧形结构，所述出气口14设置在该第一圆弧形结构的顶端。这样气流在上升流到筒盖12处时，容易沿圆弧形的内壁汇聚到出气口14而排出。所述筒状主体11的下端形成为外凸的第二圆弧形结构，所述排水口15设置在该第二圆弧形结构的底端，这样水和杂质在下落到外壳体1内的下部时，容易沿圆弧形结构汇聚到排水口15并从排水口15排出。本实施方式中，内筒体2外壁面上的导向结构3优选为螺旋状的片体结构(如图3和图5所示)。导向结构3可通过焊接的方式固定在内筒体1的外壁面上。另外，导向结构3的结构形式并不限于片体结构的形式，例如也可为从内筒体1的外壁面径向向外逐渐变薄的楔形结构，该楔形结构的上部形成用于导向的斜面。优选地，所述导向结构3与所述外壳体1之间具有间距。在水气沿内筒体2外侧的螺旋状的导向结构3形成涡旋向下的运动过程中，分离后的水和杂质大部分被抛到外壳体1的内壁上，然后沿外壳体1的内壁从导向结构3和外壳体1之间的间隙落到底部，而部分水和杂质会落到导向结构3上，沿导向结构3落下。在此需说明的是，导向结构3的升角E、倾斜角C、螺距D、与外壳体1内壁的间距B以及内筒体2的外径、外壳体1的内径等是影响离心力的重要的参数，会影响分离的效果，这些参数具体可通过模拟计算确定。本实施方式中，所述内筒体2的上端与所述外壳体1之间封闭设置，使得从进气口13进入的水气只能沿螺旋状的导向结构3向下运动，进行水气分离的过程后从内筒体2内部向上排出，而不能直接向上从出气口14排出。具体如图3所示，所述内筒体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种水气分离器，其特征在于，所述水气分离器包括上端具有出气口(14)、下端具有排水口(15)的外壳体(1)，所述外壳体(1)内设置有从所述外壳体(1)的上端向下端的方向延伸的内筒体(2)，所述内筒体(2)的下端与所述外壳体(1)之间具有间距；其中所述内筒体(2)的外壁面上设置有从上向下呈螺旋状延伸的导向结构(3)，所述外壳体(1)上设置有通向所述内筒体(2)的所述导向结构(3)的进气口(13)。

【技术特征摘要】
1.一种水气分离器，其特征在于，所述水气分离器包括上端具有出气口(14)、下端具有排水口(15)的外壳体(1)，所述外壳体(1)内设置有从所述外壳体(1)的上端向下端的方向延伸的内筒体(2)，所述内筒体(2)的下端与所述外壳体(1)之间具有间距；其中所述内筒体(2)的外壁面上设置有从上向下呈螺旋状延伸的导向结构(3)，所述外壳体(1)上设置有通向所述内筒体(2)的所述导向结构(3)的进气口(13)。2.根据权利要求1所述的水气分离器，其特征在于，所述导向结构(3)与所述外壳体(1)之间具有间距。3.根据权利要求1所述的水气分离器，其特征在于，所述外壳体(1)为与所述内筒体(2)同轴的圆柱形壳体，所述进气口(13)设置为进气方向相切于所述外壳体(1)的内壁面，且所述进气口(13)位于所述内筒体(2)的上部位置。4.根据权利要求1所述的水气分离器，其特征在于，所述内筒体(2)的上端与所述外壳体(1)之间封闭设置。5.根据权利要求4所述的水气分离器，其特征在于，所述内筒体(2)的上端与所述外壳体(1)之间设置有封盖所述外壳体(1)与...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖民安，李学锋，张旭，王新营，
申请(专利权)人：东旭科技集团有限公司，东旭集团有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11