保持类金刚石镀膜真空室真空度稳定的控制系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种保持类金刚石镀膜真空室真空度稳定的控制系统，它包括真空计、调节差分放大器、偏置电路、比较器电路、单片机控制器、驱动电路、步进电机、调节阀，真空计、调节电路连接单片机控制器与差分放大器，偏置电路连接差分放大器，差分放大器和比较电路连接单片机控制器，单片机控制器依次连接驱动电路、步进电机和调节阀，步进电机与比较电路相连。在真空抽气系统开始工作时，单片机控制器保证调节阀处于最大开启状态，待真空室真空度抽到相对稳定状态后，控制器动作，通过调节阀设置要求的真空度值并保证动态平衡，控制精度高。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于镀膜控制领域，具体涉及一种保持类金刚石镀膜真空室真空度稳定的控制系统。
技术介绍
在类金刚石镀膜时，由于沉积类金刚石膜的时间长达几十个小时，而真空室真空度的稳定性对成膜质量的好坏有很大的影响，所以保持真空度的稳定将成为一个关键的技术问题。
技术实现思路
为了克服现有
存在的上述缺陷，本技术的目的在于，提供一种保持类金刚石镀膜真空室真空度稳定的控制系统，保持镀膜过程中真空度的稳定。本技术提供的保持类金刚石镀膜真空室真空度稳定的控制系统，它包括真空计、调节差分放大器、偏置电路、比较器电路、单片机控制器、驱动电路、步进电机、调节阀，真空计、调节电路连接单片机控制器与差分放大器，偏置电路连接差分放大器，差分放大器和比较电路连接单片机控制器，单片机控制器依次连接驱动电路、步进电机和调节阀，步进电机与比较电路相连。进一步的，控制系统还包括报警显示，报警显示与单片机相连。本技术提供的保持类金刚石镀膜真空室真空度稳定的控制系统，其有益效果在于，在真空抽气系统开始工作时，单片机控制器保证调节阀处于最大开启状态，待真空室真空度抽到相对稳定状态后，控制器动作，通过调节阀设置要求的真空度值并保证动态平衡，控制精度高。附图说明图1是本技术一个实施例的原理方框图。具体实施方式下面参照附图，结合一个实施例，对本技术提供的保持类金刚石镀膜真空室真空度稳定的控制系统进行详细的说明。实施例参照图1，本实施例的保持类金刚石镀膜真空室真空度稳定的控制系统，它包括真空计、调节差分放大器、偏置电路、比较器电路、单片机控制器、驱动电路、步进电机、调节阀和报警显示，真空计、调节电路连接单片机控制器与差分放大器，偏置电路连接差分放大器，差分放大器和比较电路连接单片机控制器，单片机控制器依次连接驱动电路、步进电机和调节阀，步进电机与比较电路相连，报警显示与单片机相连。单片机控制器不断对真空计和调节电路输出的电压信号进行处理，处理的信号经驱动电路放大驱动步进电机，带动调节阀转动，从而改变出气量的大小，进而影响真空度的变化，真空度的改变引起真空计输出至单片机控制器的电压信号的变化，使电压值不断接近调节电路设定的电压信号值，当两者之间的差值小于控制精度值时，达到一种动态平衡。偏置电路的设置使控制精度更准确，当调节阀到达两个极点仍不能达到真空度要求时，报警显示启动。最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术实施例技术方案的精神和范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种保持类金刚石镀膜真空室真空度稳定的控制系统，其特征在于：真空计、调节差分放大器、偏置电路、比较器电路、单片机控制器、驱动电路、步进电机、调节阀，真空计、调节电路连接单片机控制器与差分放大器，偏置电路连接差分放大器，差分放大器和比较电路连接单片机控制器，单片机控制器依次连接驱动电路、步进电机和调节阀，步进电机与比较电路相连。

【技术特征摘要】
1.一种保持类金刚石镀膜真空室真空度稳定的控制系统，其特征在于：真空计、调节差分放大器、偏置电路、比较器电路、单片机控制器、驱动电路、步进电机、调节阀，真空计、调节电路连接单片机控制器与差分放大器，偏置电路连接差分放大器，差...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋永宾，邱月，王勇安，
申请(专利权)人：青岛优百宇真空设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37