自动转移蓝宝石基片的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种自动转移蓝宝石基片的装置，属于半导体技术领域，包括机架，机架上分别安装有导轨、上料单元、转移单元和控制单元，所述上料单元和控制单元连接，所述转移单元和控制单元连接；所述上料单元用于承载基片，所述转移单元用于转移基片，所述控制单元分别用于控制上料单元承载基片、及控制转移单元转移基片。该自动转移蓝宝石基片的装置，可有效替代人工，提高生产效率及成品良率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种基片转移装置，具体涉及一种自动转移蓝宝石基片的装置，属于半导体

技术介绍
PSS(PatternedSapphireSubstrate，图形化蓝宝石衬底)是在蓝宝石衬底表面形成具有微观图形的蓝宝石衬底。图形化衬底一方面能够有效降低外延结构层的位错密度，提高外延材料的晶体质量和均匀性，进而提高发光二极管的内部量子效率；另一方面，由于图形结构增加了光的散射，改变了发光二极管的光学线路，提升出光几率。PSS工艺包括清洗、甩干、涂胶、光刻、刻蚀、清洗、甩干等，由于不同工序的工装夹具的材质及基片数量不同，需要将PSS基片在不同工序的工装夹具之间进行转移。人工转移过程容易造成PSS基片划伤、破片等，降低生产良率；并且人员操作的速度慢，生产效率低。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题，本技术提供一种自动转移蓝宝石基片的装置，可有效提蓝宝石基片转移速度及成品良率。为了实现上述目的，本技术采用的一种自动转移蓝宝石基片的装置，包括机架，机架上分别安装有导轨、上料单元、转移单元和控制单元，所述上料单元和控制单元连接，所述转移单元和控制单元连接；所述上料单元用于承载基片，所述转移单元用于转移基片，所述控制单元分别用于控制上料单元承载基片、及控制转移单元转移基片；所述上料单元包括后道基片承载盒、与后道基片承载盒配合的前道基片承载盒，所述后道基片承载盒用于承载转移后的基片，且所述后道基片承载盒沿导轨移动，所述前道基片承载盒用于承载待转移的基片；所述转移单元包括机械手、用于驱动机械手的转移控制装置，所述转移控制装置控制机械手做水平位移，将基片由前道基片承载盒推送至后道基片承载盒內，基片转移后，机械手水平退出前道基片承载盒至等待位；所述控制单元控制后道基片承载盒沿导轨水平位移至升降支撑座，位于升降支撑座上的后道基片承载盒沿Z轴方向下降至与前道基片承载盒对应位置，在转移单元中机械手和转移控制装置的作用下完成基片转移后，沿升降支撑架下降至机架底端，后沿导轨水平传送至下料位。作为改进，所述控制单元中包括控制器、与控制器连接的信号发射器，所述后道基片承载盒、转移控制装置中分别设有信号接收器。作为改进，所述机械手的下端设有短轨，所述转移控制装置接收到控制单元发生的移动命令信号后，转移控制装置控制机械手在短轨上水平移动。作为改进，所述导轨包括水平轨一和水平轨二，水平轨一位于机架顶端，水平轨二位于机架底端。作为改进，所述控制单元设置在下料位的一侧。作为改进，所述升降支撑架的一侧设有驱动装置，所述驱动装置与控制单元连接，控制单元控制驱动装置驱动升降支撑座沿Z轴方向下降。与现有技术相比，当需要转移基片时，通过控制单元控制后道基片承载盒沿导轨水平位移至升降支撑座，位于升降支撑座上的后道基片承载盒沿Z轴方向下降至与前道基片承载盒对应位置，控制单元通过转移控制装置控制机械手做水平位移，将基片由前道基片承载盒推送至后道基片承载盒內，在转移单元中机械手和转移控制装置的作用下完成基片转移后，后道基片承载盒沿升降支撑架下降至机架底端，后沿水平导轨水平传送至下料位。该自动转移蓝宝石基片的装置，可有效替代人工，提高生产效率及成品良率。附图说明图1为本技术的结构示意图；图中：1、后道基片承载盒，2、前道基片承载盒，3、机械手，4、转移控制装置，5、机架，6、升降支撑座，7、控制单元，8、导轨，9、等待位，10、下料位，11、升降支撑架。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。但是应该理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限制本技术的范围。除非另有定义，本文所使用的所有的技术术语和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同，本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。如图1所示，一种自动转移蓝宝石基片的装置，包括机架5，机架5上分别安装有导轨8、上料单元、转移单元和控制单元，所述上料单元和控制单元连接，所述转移单元和控制单元连接；所述上料单元用于承载基片，所述转移单元用于转移基片，所述控制单元分别用于控制上料单元承载基片、及控制转移单元转移基片；所述上料单元包括后道基片承载盒1、与后道基片承载盒1配合的前道基片承载盒2，所述后道基片承载盒1用于承载转移后的基片，且所述后道基片承载盒1沿导轨8移动，所述前道基片承载盒2用于承载待转移的基片；所述转移单元包括机械手3、用于驱动机械手3的转移控制装置4，所述转移控制装置4控制机械手3做水平位移，将基片由前道基片承载盒2推送至后道基片承载盒1內，基片转移后，机械手3水平退出前道基片承载盒2至等待位9；所述控制单元控制后道基片承载盒1沿导轨8水平位移至升降支撑座6，位于升降支撑座6上的后道基片承载盒1沿Z轴方向下降至与前道基片承载盒2对应位置，在转移单元中机械手3和转移控制装置4的作用下完成基片转移后，沿升降支撑架11下降至机架5底端，后沿导轨8水平传送至下料位10。作为实施例的改进，所述控制单元中包括控制器、与控制器连接的信号发射器，所述后道基片承载盒1、转移控制装置4中分别设有信号接收器，所述控制器通过信号发射器向后道基片承载盒1中的信号接收器发出命令信号，使后道基片承载盒1在导轨8上移动，当后道基片承载盒1移动至与前道基片承载盒2对应位置时，控制器通过信号发射器向转移控制装置4的信号接收器发出命令，使转移控制装置4控制机械手3做水平位移，将基片由前道基片承载盒2推送至后道基片承载盒內1内，然后控制器再发出命令，控制后道基片承载盒1沿导轨8下降至机架5底端，后沿水平导轨水平传送至下料位10。作为实施例的改进，所述机械手3的下端设有短轨，所述转移控制装置4接收到控制单元发生的移动命令信号后，转移控制装置4控制机械手3在短轨上水平移动。采用短轨设计，使转移控制装置4驱动机械手3移动更方便、快捷。作为实施例的改进，所述导轨8包括水平轨一和水平轨二，水平轨一位于机架5顶端，水平轨二位于机架5底端，结构设计合理，安装使用方便，确保后道基片承载盒1在导轨8上移动更便捷。作为实施例的改进，所述控制单元7设置在下料位10的一侧，结构设计合理，安装使用方便。作为实施例的改进，所述升降支撑架11的一侧设有驱动装置，所述驱动装置与控制单元7连接，控制单元7控制驱动装置驱动升降支撑座6沿Z轴方向下降，当升降支撑座6沿升降支撑架11下降至与前道基片承载盒2同水平面时，驱动装置控制升降支撑座6停止移动，此时位于升降支撑座6上的后道基片承载盒1与前道基片承载盒2配合完成基片转移，待基片由前道基片承载盒2转移至后道基片承载盒1后，控制单元7继续控制驱动装置驱动升降支撑座6下降，至升降支撑座6处于水平轨二同平面时，升降支撑座6沿水平导轨水平传送至下料位10。当需要转移基片时，通过控制单元7控制后道基片承载盒1沿导轨8中水平轨一水平位移至升降支撑座6，然后后道基片承载盒1在升降支撑座6的作用下，沿Z轴方向下降至与前道基片承载盒2对应位置，控制单元7通过转移控制装置4控制机械手3做水平位移，将基片由前道基片承载盒2推送至后道基片承载盒1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动转移蓝宝石基片的装置，其特征在于，包括机架(5)，机架(5)上分别安装有导轨(8)、上料单元、转移单元和控制单元，所述上料单元和控制单元连接，所述转移单元和控制单元连接；所述上料单元用于承载基片，所述转移单元用于转移基片，所述控制单元分别用于控制上料单元承载基片、及控制转移单元转移基片；所述上料单元包括后道基片承载盒(1)、与后道基片承载盒(1)配合的前道基片承载盒(2)，所述后道基片承载盒(1)用于承载转移后的基片，且所述后道基片承载盒(1)沿导轨(8)移动，所述前道基片承载盒(2)用于承载待转移的基片；所述转移单元包括机械手(3)、用于驱动机械手(3)的转移控制装置(4)，所述转移控制装置(4)控制机械手(3)做水平位移，将基片由前道基片承载盒(2)推送至后道基片承载盒(1)內，基片转移后，机械手(3)水平退出前道基片承载盒(2)至等待位(9)；所述控制单元控制后道基片承载盒(1)沿导轨(8)水平位移至升降支撑座(6)，位于升降支撑座(6)上的后道基片承载盒(1)沿Z轴方向下降至与前道基片承载盒(2)对应位置，在转移单元中机械手(3)和转移控制装置(4)的作用下完成基片转移后，沿升降支撑架(11)下降至机架(5)底端，后沿导轨(8)水平传送至下料位(10)。...

【技术特征摘要】
1.一种自动转移蓝宝石基片的装置，其特征在于，包括机架(5)，机架(5)上分别安装有导轨(8)、上料单元、转移单元和控制单元，所述上料单元和控制单元连接，所述转移单元和控制单元连接；所述上料单元用于承载基片，所述转移单元用于转移基片，所述控制单元分别用于控制上料单元承载基片、及控制转移单元转移基片；所述上料单元包括后道基片承载盒(1)、与后道基片承载盒(1)配合的前道基片承载盒(2)，所述后道基片承载盒(1)用于承载转移后的基片，且所述后道基片承载盒(1)沿导轨(8)移动，所述前道基片承载盒(2)用于承载待转移的基片；所述转移单元包括机械手(3)、用于驱动机械手(3)的转移控制装置(4)，所述转移控制装置(4)控制机械手(3)做水平位移，将基片由前道基片承载盒(2)推送至后道基片承载盒(1)內，基片转移后，机械手(3)水平退出前道基片承载盒(2)至等待位(9)；所述控制单元控制后道基片承载盒(1)沿导轨(8)水平位移至升降支撑座(6)，位于升降支撑座(6)上的后道基片承载盒(1)沿Z轴方向下降至与前道基片承载盒(2)对应位置，在转移单元中机械手(3)和转移控制装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕承鹏，刘亚坤，吕康理，于玉斋，张黎明，王明明，吕飞，涂亮亮，魏明德，
申请(专利权)人：徐州同鑫光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32