【技术实现步骤摘要】
一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置
本技术涉及一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置,属于ICP设备干法蚀刻装置
技术介绍
ICP设备干法蚀刻在蓝宝石平片衬底上用标准的光刻工艺将掩膜刻出图形,利用ICP刻蚀技术刻蚀蓝宝石,并去掉掩膜,使平片蓝宝石衬底上产生图形,以此来提高LED的发光效率。ICP设备干法蚀刻技术,是在真空密闭的PMChamber内,通过电极将BCL3气体电离,电离出的离子轰击蓝宝石表面,以此来产生需要的图形。在生产时需要干泵连续为腔体提供真空环境,此时如果干泵排气管路不畅,将造成不良品产生,降低产品良率。通常采用的是计划性停泵清理,然而计划性停泵存在的问题:1停泵后泵体内粉尘静止时间久会导致干泵卡死无法开启、增加维修成本;2停泵后清洗管路等待时间长,安装比较吃力。
技术实现思路
为了克服上述现有技术的不足,本技术提供了一种解决干法蚀刻设备ICP上干泵后端尾气管路在使用一段时间后,尾气管路内的粉尘长时间堆积造成尾气管内部排气不畅,甚至堵塞尾气管导致干泵异常停止的尾气处理装置,具体为:一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置。本技术是通过如下技术方案实现的,一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置,包括干泵以及与干泵连通的尾气管;所述尾气管上安装有与管内连通的氮气吹扫装置,且在尾气管的管壁上包裹有保温棉;所述尾气管的自由端安装有可拆卸的清理管;所述清理管与洗涤塔相连通。作为本技术所述的一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置的优选方案:所述清理管的管壁上安装 ...
【技术保护点】
1.一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置,包括干泵(10)以及与干泵(10)连通的尾气管(11);其特征在于:所述尾气管(11)上安装有与管内连通的氮气吹扫装置(20),且在尾气管(11)的管壁上包裹有保温棉(12);/n所述尾气管(11)的自由端安装有可拆卸的清理管(13);所述清理管(13)与洗涤塔(30)相连通。/n
【技术特征摘要】
1.一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置,包括干泵(10)以及与干泵(10)连通的尾气管(11);其特征在于:所述尾气管(11)上安装有与管内连通的氮气吹扫装置(20),且在尾气管(11)的管壁上包裹有保温棉(12);
所述尾气管(11)的自由端安装有可拆卸的清理管(13);所述清理管(13)与洗涤塔(30)相连通。
2.根据权利要求1所述的一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置,其特征在于:所述清理管(13)的管壁上安装有冷凝管(14)。
3....
【专利技术属性】
技术研发人员:王明明,丁建峰,于玉斋,魏明德,
申请(专利权)人:徐州同鑫光电科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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