【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种低成本超薄MEMS结构制作工艺,其特征在于,包括下述步骤:S1,提供一硅基板(1);S2,在硅基板(1)背面先后沉积牺牲层(2)和阻挡层(3);S3,在硅基板(1)的背面刻蚀制作应力槽(4)和分割槽(5);分割槽(5)位于待划分的MEMS结构单元之间;确保每个待划分的MEMS结构单元对应的硅基板(1)背面区域至少有一个应力槽(4);S4,在硅基板(1)的背面覆盖一保护层(6),保护层(6)的材料填充硅基板(1)背面的应力槽(4)和分割槽(5);然后对保护层(6)表面进行平整化处理;S5,对硅基板(1)的正面进行减薄;S6,对硅基板(1)的正面进行:在减薄后的硅基板中刻蚀形成MEMS核心结构(100);MEMS核心结构(100)包括穿透硅基板(1)的通道(7)和通道(7)间的硅薄膜(8);S7,利用硅基板(1)中的通道(7),采用刻蚀工艺在MEMS核心结构(100)底部释放出MEMS结构单元需要的空腔(9);S8,在硅基板(1)正面的MEMS核心结构(100)上形成金属互连;S9,根据分割槽(5)位置对硅基板(1)进行划片,分割为各个独立的MEMS结构单元。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张文奇,靖向萌,上官东恺,
申请(专利权)人:华进半导体封装先导技术研发中心有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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