【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种制备MEMS密闭腔的方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)首先在衬底上沉积牺牲材料；(2)然后在牺牲材料上涂覆有机聚合物，形成密闭外壳；(3)最后通过化学或物理的方法使牺牲材料以气体形式穿过有机聚合物，得到MEMS密闭腔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张华，
申请(专利权)人：苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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