【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种热解碳微结构电极的制作工艺及其电性能表征方法,其特征在于,包括紫外光刻、热解碳化、掩膜制作、金属电极沉积、剥离浮脱和电性能表征,利用光刻胶的感光性能,通过紫外光刻工艺、半导体加工工艺、惰性气氛下的热解碳化工艺以制作图案化的热解碳微结构;然后通过掩膜制作、金属电极沉积、剥离浮脱工艺,使拟制作电极的部位精确得到电极,制作成与碳微结构相集成的金属电极;通过四探针法,对其电性能进行表征。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:何亮,麦立强,郝志猛,杨枭,周鹏,
申请(专利权)人:武汉理工大学,
类型:发明
国别省市:湖北;42
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。