基板搬运机器人、基板搬运系统及基板搬运方法技术方案

本发明专利技术提供一种在不使机器人大型化时也能接近位于更远位置的基板载置部的基板搬运机器人、基板搬运系统和基板搬运方法。该基板搬运机器人（13）包括手部（131）、使手部（131）移动的臂（132）和控制手部（131）的移动的控制部（133）。控制部（133）控制手部（131）的位置和朝向，使得在俯视时基板保持中心（138）位于盒（30）的附近且位于与盒（30）分隔规定的间隔的接近起始位置（141）上，在该状态下，手中心线（139）相对于接近直线（304）倾斜，且在手中心线（139）与接近直线（304）一致的状态下，基板保持中心（138）到达盒（30）内的基板载置位置（142）。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种在不使机器人大型化时也能接近位于更远位置的基板载置部的基板搬运机器人、基板搬运系统和基板搬运方法。该基板搬运机器人（13）包括手部（131）、使手部（131）移动的臂（132）和控制手部（131）的移动的控制部（133）。控制部（133）控制手部（131）的位置和朝向，使得在俯视时基板保持中心（138）位于盒（30）的附近且位于与盒（30）分隔规定的间隔的接近起始位置（141）上，在该状态下，手中心线（139）相对于接近直线（304）倾斜，且在手中心线（139）与接近直线（304）一致的状态下，基板保持中心（138）到达盒（30）内的基板载置位置（142）。【专利说明】
本专利技术涉及。
技术介绍
以往，已知包括手部的基板搬运机器人，所述手部能向载置有基板(半导体晶片)的基板载置部接近并能够保持基板(例如，参照专利文献I)。 在上述专利文献I中，公开了一种水平多关节型基板搬运机器人，其包括:包含向前端串联连结的第一臂部以及第二臂部的臂；以及与臂前端连接的手部。基板搬运机器人被固定地配置在机器人设置区域内，从沿着机器人设置区域以直线状排列的多个基板载置部(基板收纳盒)进行基板的取出和放入。当为了基板的取出或收纳，手部向基板载置部接近时，手部在从根部朝向前端的手中心线与基板载置部的接近直线(与基板载置部的前表面垂直的、基板的取出放入方向的直线)一致的状态(与基板载置部正对的状态)下，在离开基板载置部的接近起始位置与基板载置部内的基板载置位置之间进行直线移动。基板搬运机器人对于对基板实施规定的处理的处理装置的基板载置部(处理室)，也进行同样的接近动作。 现有技术文献 专利文献 专利文献1:日本特开2011 - 228627号公报
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题 然而，在如上述专利文献I所公开的以往的基板搬运机器人中，被构成为:在使手部向基板载置部接近时，俯视时使手中心线与垂直于基板载置部的前表面的接近直线一致的状态下，在接近起始位置与基板载置位置之间进行直线移动，因此在接近起始位置，臂的前端(手部的根部)必须能够到达接近直线的延长线，无法将基板载置部配置到更远的位置。因此，要求手部也能够接近位于更远的位置上的基板载置部。 本专利技术是为了解决上述的问题而做出的，本专利技术的一个目的是提供一种在不使机器人大型化时也能够接近位于更远的位置上的基板载置部的基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法。 用于解决问题的手段 第一技术方案的基板搬运机器人包括:手部，所述手部能够向载置有基板的基板载置部接近并且能够保持基板；臂，所述臂用于使手部移动；以及控制部，所述控制部控制手部的移动，控制部控制手部的位置以及朝向，使得在俯视时手部保持基板时的基板保持中心位于基板载置部的附近、并且位于与基板载置部分隔规定的间隔的接近起始位置的状态下，从手部的根部朝向前端的手中心线相对于用于向基板载置部内接近的、与基板载置部的前表面垂直的接近直线倾斜，并且手中心线与接近直线一致的状态下，基板保持中心到达基板载置部内的基板载置位置。 第一技术方案涉及的基板搬运机器人中，如上所述，将控制部构成为控制手部的位置以及朝向，使得在俯视时手部保持基板时的基板保持中心位于基板载置部的附近、并且位于从基板载置部分隔规定的间隔的接近起始位置上的状态下，从手部的根部朝向前端的手中心线相对于用于向基板载置部内接近的、与基板载置部的前表面垂直的接近直线倾斜，并且在手中心线与接近直线一致的状态下基板保持中心到达基板载置部内的基板载置位置，由此能够在接近起始位置，使手中心线相对于接近直线倾斜从而使臂的前端(手部的根部)位于靠近基板搬运机器人的位置上，因此，对于在基板载置位置上能够将臂的前端配置在接近直线的延长线上的范围内位于较远的位置上的基板载置部，也能够使手部接近。由此，在不使机器人大型化(臂长延长)时，对于在接近起始位置上无法将臂的前端配置在接近直线的延长线上那样的较远的位置上的基板载置部，也能够使手部接近。 第二技术方案涉及的基板搬运系统包括:机器人设置区域；以及被配置在机器人设置区域内的基板搬运机器人，所述基板搬运机器人包括:手部，所述手部能够向载置有基板的基板载置部接近并且能够保持基板；以及臂，所述臂用于使手部移动，基板搬运机器人使手部移动，使得在俯视时手部保持基板时的基板保持中心位于基板载置部的附近、并且位于与基板载置部分隔规定的间隔的接近起始位置的状态下，从手部的根部朝向前端的手中心线相对于用于向基板载置部内接近的、与基板载置部的前表面垂直的接近直线倾斜，并且手中心线与接近直线一致的状态下，基板保持中心到达基板载置部内的基板载置位置。 在第二技术方案涉及的基板搬运系统中，如上所述，将基板搬运机器人构成为使手部移动，使得在俯视时手部保持基板时的基板保持中心位于基板载置部的附近、并且位于从基板载置部分隔规定的间隔的接近起始位置的状态下，从手部的根部朝向前端的手中心线相对于用于向基板载置部内接近的、与基板载置部的前表面垂直的接近直线倾斜，并且在手中心线与接近直线一致的状态下基板保持中心到达基板载置部内的基板载置位置，由此，能够在接近起始位置，使手中心线相对于接近直线倾斜从而使臂的前端(手部的根部)位于接近基板搬运机器人的位置上，因此，对于在基板载置位置上能够将臂的前端配置在接近直线的延长线上的范围内位于较远的位置上的基板载置部，也能够使手部接近。由此，在不使机器人大型化(臂长延长)时，对于在接近起始位置上无法将臂的前端配置在接近直线的延长线上那样的较远的位置上的基板载置部，也能够使手部接近。 第三技术方案涉及的基板搬运方法是用于使基板搬运机器人的手部向载置有基板的基板载置部接近并搬运基板的基板搬运方法，包括以下工序:在俯视时手部保持基板时的基板保持中心位于基板载置部的附近、并且位于从基板载置部分隔规定的间隔的接近起始位置上的状态下，使从手部的根部朝向前端的手中心线相对于用于向基板载置部内接近的、与基板载置部的前表面垂直的接近直线倾斜；以及改变手中心线的朝向使其在接近起始位置和基板载置部内的基板载置位置之间与接近直线一致的同时，在手中心线与接近直线一致的状态下使手部的基板保持中心到达基板载置位置。 在第三技术方案涉及的基板搬运方法中，如上所述，通过设置以下工序:在手部保持基板时的基板保持中心位于基板载置部的附近、并且位于从基板载置部分隔规定的间隔的接近起始位置上的状态下，使从手部的根部朝向前端的手中心线相对于用于向基板载置部内接近的、与基板载置部的前表面垂直的接近直线倾斜；以及改变手中心线的朝向使其在接近起始位置与基板载置部内的基板载置位置之间与接近直线一致的同时，在手中心线与接近直线一致的状态下使手部的基板保持中心到达基板载置位置，能够在接近起始位置，使手中心线相对于接近直线倾斜从而使手部的根部位于接近基板搬运机器人的位置上，因此，对于在基板载置位置上能够将手部的根部配置在接近直线的延长线上的范围内位于较远的位置上的基板载置部，也能够使手部接近。由此，在不使机器人大型化(臂长延长)时，对于在接近起始位置上无法将手部的根部配置在接近直线的延长线上那样的较远的位置上的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板搬运机器人，其特征在于，包括：手部，所述手部能够向载置有基板的基板载置部接近并且能够保持所述基板；臂，所述臂用于使所述手部移动；以及控制部，所述控制部控制所述手部的移动，所述控制部控制所述手部的位置以及朝向，使得在俯视时所述手部保持基板时的基板保持中心位于所述基板载置部的附近、并且位于与所述基板载置部分隔规定的间隔的接近起始位置的状态下，从所述手部的根部朝向前端的手中心线相对于用于向所述基板载置部内接近的、与所述基板载置部的前表面垂直的接近直线倾斜，并且所述手中心线与所述接近直线一致的状态下，所述基板保持中心到达所述基板载置部内的基板载置位置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：木村吉希，进大介，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：发明
国别省市：日本;JP