载具的搬运系统以及搬运方法技术方案

本发明专利技术不在区间台车设置横向输送机构就可增加能够临时保管的载具的数量。利用桥式行驶车和区间台车在与处理装置的装载区之间搬运载具。桥式行驶车和区间台车都具备提升机，桥式行驶车还具备横向输送提升机的横向输送机构。以在装载区的正上部通过的方式配置有桥式行驶车的行驶轨道，区间台车的行驶轨道在桥式行驶车的行驶轨道的下方且在装载区的正上部设置。设有在区间台车的行驶轨道的正下方的前进位置与从区间台车的行驶轨道的正下方朝侧方远离的后退位置之间自由滑动的滑动缓冲区。为了进行载具的移载，在后退位置将滑动缓冲区的上方敞开。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对半导体晶圆等进行收纳的载具的搬运。
技术介绍
为了增加半导体处理装置的运转率，要求在其装载区(loadport)的附近设置临时保管装置(缓冲区)。对于此，申请人在专利文献1(JP2012-111635)中提出了如下方案：与桥式行驶车(OHT：OverheadHoistTransport)的行驶轨道平行地并且在其下方设置区间台车的行驶轨道。而且，若将区间台车和桥式行驶车双方能够进行移载的缓冲区设置于区间台车的行驶轨道的下方且设置于装载区的正上方以外的部分，则例如能够设置四个缓冲区。在缓冲区的数量不足的情况下，考虑在桥式行驶车和区间台车设置载具的横向输送机构，并在区间台车的行驶轨道的斜下方追加缓冲区。专利文献1：JP2012-111635然而，若在区间台车设置载具的横向输送机构，则区间台车的高度增加。因此需要不增加区间台车的高度就可以增加能够临时保管的载具的数量。本专利技术的课题在于，不在区间台车设置横向输送机构就可以增加能够临时保管的载具的数量。
技术实现思路
在本专利技术的搬运系统中，在与处理装置的装载区之间移载载具，其具备：桥式行驶车，其具备使载具升降的提升机、和对提升机进行横向输送的横向输送机构；桥式行驶车的行驶轨道，其以在装载区的正上部通过的方式配置于建筑物的顶棚空间；区间台车，其具备使载具升降的提升机；区间台车的行驶轨道，其在桥式行驶车的行驶轨道的下方且在装载区的正上部设置；滑动缓冲区，其在上述区间台车的行驶轨道的正下方的前进位置与从上述区间台车的行驶轨道的正下方朝侧方远离的后退位置之间自由滑动，并且自由载置载具；以及缓冲区控制器，其对上述区间台车和上述滑动缓冲区进行控制，为了进行载具的移载，在上述后退位置将上述滑动缓冲区的上方敞开，上述桥式行驶车构成为在与装载区以及处于上述后退位置的滑动缓冲区之间移载载具，上述区间台车构成为在与装载区以及处于上述前进位置的滑动缓冲区之间移载载具，另外，上述区间台车的行驶轨道从装载区的正上部延长并延伸至从正上部偏离的区间台车的待机位置，上述区间台车在上述待机位置待机。在本专利技术的载具的搬运方法中，利用具有桥式行驶车和区间台车的搬运系统在与处理装置的装载区之间搬运载具，上述搬运系统具备：桥式行驶车，其具备使载具升降的提升机、和对提升机进行横向输送的横向输送机构；桥式行驶车的行驶轨道，其以在装载区的正上部通过的方式配置于建筑物的顶棚空间；区间台车，其具备使载具升降的提升机；区间台车的行驶轨道，其在桥式行驶车的行驶轨道的下方且在装载区的正上部设置，滑动缓冲区，其在上述区间台车的行驶轨道的正下方的前进位置与从上述区间台车的行驶轨道的正下方朝侧方远离的后退位置之间自由滑动，并且自由载置载具；以及缓冲区控制器，其对上述区间台车和上述滑动缓冲区进行控制，为了进行载具的移载，在上述后退位置将上述滑动缓冲区的上方敞开，另外，上述区间台车的行驶轨道从装载区的正上部延长并延伸至从正上部偏离的区间台车的待机位置，在上述载具的搬运方法中，利用上述桥式行驶车，在与装载区以及处于上述后退位置的滑动缓冲区之间移载载具，利用上述区间台车，在与装载区以及处于上述前进位置的滑动缓冲区之间移载载具，上述区间台车在上述待机位置待机。区间台车以及桥式行驶车构成为通过机载的控制器的程序、或者上位的控制器的程序来如上述那样地工作。并且在该说明书中，关于载具的搬运系统的记载同样适用于载具的搬运方法，反过来关于载具的搬运方法的记载也同样适用于载具的搬运系统。并且关于滑动缓冲区，优选在区间台车的行驶轨道的单侧沿行驶方向一列地设有多个，并且优选在行驶轨道的两侧沿行驶方向两列地设有多个。在本专利技术中，不增加区间台车的高度而利用滑动缓冲区就能够增加能够缓冲的载具的个数。由于滑动缓冲区能够将装载区的正上部作为前进位置，所以与仅设于区间台车的行驶轨道的两端部的情况相比，能够设置更多。由于桥式行驶车在与处于后退位置的滑动缓冲区之间移载载具，区间台车在与处于前进位置的滑动缓冲区之间移载载具，所以相对于滑动缓冲区的移载的控制变得简单。由于区间台车在从装载区的正上部远离的位置待机，所以假使区间台车产生故障，也不会妨碍装载区与桥式行驶车之间的移载。桥式行驶车具有横向输送机构，通常不论相对于处于后退位置的滑动缓冲区、还是相对于处于前进位置的滑动缓冲区都能够载置载具。而且通过桥式行驶车本身的控制、或者通过来自实施例的OHT控制器等的上位的控制器的指令，在与处于后退位置的滑动缓冲区之间载置载具。由此，桥式行驶车与滑动缓冲区之间的移载不会妨碍区间台车的行驶以及与装载区之间的移载。此外，区间台车可以通过自身的控制向待机位置移动，也可以通过实施例的缓冲区控制器等的上位的控制器的指令向待机位置移动。优选为，在上述区间台车的行驶轨道的正下方、且在从装载区的正上部偏离的位置，以包括上述待机位置的正下方的方式设有自由载置载具的固定缓冲区。这样一来，能够进一步增加缓冲区的数量。这里，若将固定缓冲区设置于与滑动缓冲区相比以与一个载具的高度相对应的量低一层的位置，则能够以使固定缓冲区的上部作为前进位置的方式设置滑动缓冲区。优选为，作为滑动缓冲区，具备在区间台车的行驶轨道的一侧方自由滑动的滑动缓冲区、和在另一侧方自由滑动的滑动缓冲区。而且桥式行驶车的横向输送机构构成为在行驶轨道的两侧方自由地横向输送提升机，不论相对于区间台车的行驶轨道的一侧方的滑动缓冲区，还是相对于另一侧方的滑动缓冲区，使桥式行驶车都在后退位置移载载具。这样一来，在区间台车的行驶轨道的两侧方设置滑动缓冲区，从而能够在与桥式行驶车之间移载载具。优选为，沿上述桥式行驶车的行驶轨道设有用于进行上述桥式行驶车与上述缓冲区控制器的通信的终端，沿上述区间台车的行驶轨道设有用于进行上述区间台车与上述缓冲区控制器的通信的终端，上述滑动缓冲区由固定于上述后退位置的基座、和在上述前进位置与基座上之间进退的可动的台座构成，另外，设有对上述台座处于上述前进位置的情况进行检测的传感器、和对上述台座处于上述基座上的情况进行检测的传感器，上述区间台车在向装载区的正上部进入之前，经由终端向上述缓冲区控制器请求进入许可，并且在进行与上述滑动缓冲区之间的移载之前，经由终端向上述缓冲区控制器请求移载的许可，上述桥式行驶车在进行与装载区之间的移载之前，经由终端向上述缓冲区控制器请求与装载区之间的移载的许可，并且在进行与上述滑动缓冲区之间的移载之前，经由终端向上述缓冲区控制器请求与上述滑动缓冲区之间的移载的许可，上述缓冲区控制器在不和来自上述桥式行驶车的与装载区之间的移载产生冲突的情况下，经由终端对上述区间台车给予进入许可，并且在上述滑动缓冲区处于前进位置的情况下，经由终端对上述区间台车许可移载，并且，上述缓冲区控制器在不和上述区间台车的进入产生冲突的情况下，经由终端对上述桥式行驶车许可与装载区之间的移载，并且在上述滑动缓冲区处于后退位置的情况下，经由终端对上述桥式行驶车许可与上述滑动缓冲区之间的移载。这样一来，通过经由终端的通信，能够排除桥式行驶车在和装载区之间进行的移载与区间台车的行驶之间的干涉。因此，能够排除桥式行驶车与区间台车之间的干涉。并且，由于检测滑动缓冲区是处于前进位置还是处于后退位置来许可移载，所以桥式行驶本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种载具的搬运系统，是在与处理装置的装载区之间搬运载具的载具的搬运系统，其特征在于，具备：桥式行驶车，其具备使载具升降的提升机、和对提升机进行横向输送的横向输送机构；桥式行驶车的行驶轨道，其以在装载区的正上部通过的方式配置于建筑物的顶棚空间；区间台车，其具备使载具升降的提升机；区间台车的行驶轨道，其在桥式行驶车的行驶轨道的下方且在装载区的正上部设置；滑动缓冲区，其在上述区间台车的行驶轨道的正下方的前进位置与从上述区间台车的行驶轨道的正下方朝侧方远离的后退位置之间自由滑动，并且自由载置载具；以及缓冲区控制器，其对上述区间台车和上述滑动缓冲区进行控制，为了进行载具的移载，在上述后退位置将上述滑动缓冲区的上方敞开，上述桥式行驶车构成为在与装载区以及处于上述后退位置的滑动缓冲区之间移载载具，上述区间台车构成为在与装载区以及处于上述前进位置的滑动缓冲区之间移载载具，另外，上述区间台车的行驶轨道从装载区的正上部延长并延伸至从正上部偏离的区间台车的待机位置，上述区间台车在上述待机位置待机。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.06.19 JP 2014-1260131.一种载具的搬运系统，是在与处理装置的装载区之间搬运载具的载具的搬运系统，其特征在于，具备：桥式行驶车，其具备使载具升降的提升机、和对提升机进行横向输送的横向输送机构；桥式行驶车的行驶轨道，其以在装载区的正上部通过的方式配置于建筑物的顶棚空间；区间台车，其具备使载具升降的提升机；区间台车的行驶轨道，其在桥式行驶车的行驶轨道的下方且在装载区的正上部设置；滑动缓冲区，其在上述区间台车的行驶轨道的正下方的前进位置与从上述区间台车的行驶轨道的正下方朝侧方远离的后退位置之间自由滑动，并且自由载置载具；以及缓冲区控制器，其对上述区间台车和上述滑动缓冲区进行控制，为了进行载具的移载，在上述后退位置将上述滑动缓冲区的上方敞开，上述桥式行驶车构成为在与装载区以及处于上述后退位置的滑动缓冲区之间移载载具，上述区间台车构成为在与装载区以及处于上述前进位置的滑动缓冲区之间移载载具，另外，上述区间台车的行驶轨道从装载区的正上部延长并延伸至从正上部偏离的区间台车的待机位置，上述区间台车在上述待机位置待机。2.根据权利要求1所述的载具的搬运系统，其特征在于，在上述区间台车的行驶轨道的正下方、且在从装载区的正上部偏离的位置，以包括上述待机位置的正下方的方式设有自由载置载具的固定缓冲区。3.根据权利要求1或2所述的载具的搬运系统，其特征在于，作为上述滑动缓冲区，具备在上述区间台车的行驶轨道的一侧方自由滑动的滑动缓冲区、和在另一侧方自由滑动的滑动缓冲区，上述桥式行驶车的横向输送机构构成为在行驶轨道的两侧方自由地横向输送提升机，不论相对于上述区间台车的行驶轨道的一侧方的滑动缓冲区，还是相对于另一侧方的滑动缓冲区，上述桥式行驶车都在上述后退位置移载载具。4.根据权利要求1～3中任一项所述的载具的搬运系统，其特征在于，沿上述桥式行驶车的行驶轨道设有用于进行上述桥式行驶车与上述缓冲区控制器的通信的终端，沿上述区间台车的行驶轨道设有用于进行上述区间台车与上述缓冲区控制器的通信的终端，上述滑动缓冲区由固定于上述后退位置的基座、和在上述前进位置与基座上之间进退的可动的台座构成，另外，设有对上述台座处于上述前进位置的情况进行检测的传感器、和对上述台座处于上述基座上的情况进行检测的传感器，上述区间台车在向装载区的正上部进入之前，经由终端向上述缓冲区控制器请求进入许可，并且在进行与上述滑动缓冲区之间的移载之前，经由终端向上述缓冲区控制器请求移载的许可，上述桥式行驶车在进行与装载区之间的移载之前，经由终端向上述缓冲区控制器请求与装载区之间的移载的许可，并且在进行与上述滑动缓冲区之间的移载之前，经由终端向上述缓冲区控制器请求与上述滑动缓冲区之间的移载的许可，上述缓冲区控制器在不和来自上述桥式行驶车的与装载区之间的移载产生冲突的情况下，经由终端对上述区间台车给予进入许可，并且在上述滑动缓冲区处于前进位置的情况下，经由终端对上述区间台车许可移载，并且，上述缓冲区控制器在不和上述区间台车的进入产生冲突的情况下，经由终端对上述桥式行驶车许可与装载区之间的移载，并且在上述滑动缓冲区处于后退位置的情...

【专利技术属性】
技术研发人员：高井要，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP