一种专用于圆柱形晶体搬运的摆臂式真空吸吊机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种专用于圆柱形晶体搬运的摆臂式真空吸吊机，包括立体柱、水平摆臂滑轨、提升伸缩管、真空鼓风机及真空吸盘；水平摆臂滑轨通过旋转接头固定在立体柱上，并且能够围绕立体柱旋转180°；水平摆臂滑轨上设有滑块，提升伸缩管安装在滑块上，真空吸盘固定在提升伸缩管底部；真空鼓风机通过导气管与提升伸缩管连接，控制提升伸缩管内的真空压力，实现真空吸盘竖直方向的升降。通过本实用新型专利技术搬运圆柱型晶体，能够有效降低工人的劳动强度，减少安全隐患。另外，本实用新型专利技术操作简单，运行方便，维护方便，基本不受搬运场地限制。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种专用于圆柱形晶体搬运的摆臂式真空吸吊机。
技术介绍
随着晶体加工尺寸逐渐增大，晶体重量也随之提高，在实际生产加工过程中长时间搬运沉重物体对现场操作人员的身体有很大的损伤，并且劳动强度增加容易产生生产安全事故。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种专用于圆柱形晶体搬运的摆臂式真空吸吊机，减少搬运过程中意外脱落的产生，并且能够适应不同直径的圆柱晶体。为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种专用于圆柱形晶体搬运的摆臂式真空吸吊机，包括立体柱、水平摆臂滑轨、提升伸缩管、真空鼓风机及真空吸盘；水平摆臂滑轨通过旋转接头固定在立体柱上，并且能够围绕立体柱旋转180°；水平摆臂滑轨上设有滑块，提升伸缩管安装在滑块上，真空吸盘固定在提升伸缩管底部；真空鼓风机通过导气管与提升伸缩管连接，控制提升伸缩管内的真空压力，实现真空吸盘竖直方向的升降。优选地，所述真空鼓风机与提升伸缩管之间连接有缓冲罐及真空过滤器。优选地，所述提升伸缩管上设有控制单元，该控制单元包括旋转式调节阀、压力显示表及手刹式真空破坏阀；所述旋转式调节阀控制进气量，实现升降速度的控制，所述手刹式真空破坏阀可使吸盘唇与圆柱形晶体快速脱离。优选地，所述旋转接头上设有集成式的检测阀，该检测阀能够在供电系统故障或失去时延长晶体坠落或下降的时间。优选地，所述真空吸盘由吸盘支架和连接在吸盘支架上的吸盘唇组成，吸盘唇与吸盘支架之间可90°旋转。优选地，所述吸盘唇为弧形结构。优选地，所述吸盘支架上安装有保护铰链，该保护铰链配合晶体固定托使用。本技术的优点在于：通过本技术搬运圆柱型晶体，能够有效降低工人的劳动强度，减少安全隐患。另外，本技术操作简单，运行方便，维护方便，基本不受搬运场地限制。附图说明图1为本技术的专用于圆柱形晶体搬运的摆臂式真空吸吊机的结构示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步说明。如图1所示，一种专用于圆柱形晶体搬运的摆臂式真空吸吊机，包括立体柱3、水平摆臂滑轨13、提升伸缩管4、真空鼓风机1及真空吸盘；水平摆臂滑轨13通过旋转接头11固定在立体柱3上，并且能够围绕立体柱旋转180°；水平摆臂滑轨上设有滑块，提升伸缩管安装在滑块上，真空吸盘固定在提升伸缩管底部；真空鼓风机通过导气管与提升伸缩管连接，控制提升伸缩管内的真空压力，提升伸缩管4随着其内部真空压力的升高或降低而收缩或伸长，实现真空吸盘竖直方向的升降。立体柱3通过螺栓固定在地面上起到对整个机台支撑的作用。其中，旋转接头11使水平摆臂滑轨13能够围绕立体柱3旋转180°，实现圆柱形晶体的搬运；另外滑块12能够沿着水平摆臂滑轨13移动，该滑块12运动灵活，能够有效扩充吸吊机的使用范围，实现晶体的多点位搬运。在本技术中，真空鼓风机1选用增压型高流量鼓风机，能够产生足够的真空负压保证“抓取”和“提升”功能，真空鼓风机1通过导气管5与提升伸缩管4相连接，导气管5连接在旋转接头6上，该旋转接头6配有一个集成式的检测阀，可以保证在供电系统故障或者失去时延长晶体坠落或下降的时间。旋转接头6与提升伸缩管4相连接，提升伸缩管4能够将真空负压输送至真空吸盘与工件的接触处，其内置的弹簧设计使气管压缩伸长，实现工件的上升和下降。真空鼓风机1外侧安装有静音箱，能够使噪音由78分贝降低至68分贝，减少对环境的影响。真空鼓风机1与提升伸缩管4之间还连接有缓冲罐及真空过滤器2，真空过滤器的主要作用为过滤空气中的杂质、保护真空鼓风机，缓冲罐的主要作用为在真空鼓风机供电异常时逐步释放真空，防止吸吊晶体突然坠落。提升伸缩管4上设有控制单元，主要是控制圆柱型晶体的吸取、保持、释放。该控制单元包括旋转式调节阀8、压力显示表及手刹式真空破坏阀7；所述旋转式调节阀8控制进气量，实现升降速度的控制，所述手刹式真空破坏阀7可使吸盘唇14与圆柱形晶体快速脱离。如图所示，右手位置为旋转式调节阀开关，顺时针旋转实现晶体的上升，逆时针实现晶体的下降；左手位置为手刹式真空破坏阀7，在按下时能够迅速的破坏提升伸缩管4内的真空平衡，实现真空吸盘与晶体的脱离。旋转式调节阀的工作原理为顺时针旋转时，其内置的平衡阀开口变小，流入控制室内的气体流量减小，真空系统负压升高，提升伸缩管4收缩，晶体提升；逆时针旋转时，其内置的平衡阀开口变大，流入控制室内的气体流量增大，真空系统负压降低，提升伸缩管4放松，晶体下降。真空吸盘由吸盘支架10和连接在吸盘支架10上的吸盘唇14组成，吸盘唇14与吸盘支架10之间可90°旋转，实现吸吊不同直径的圆柱型晶体。根据圆柱型晶体的特点，吸盘唇14的设计为弧形结构，能够更好的与圆柱形晶体表面贴合，增强吸力。吸盘支架10上安装有保护铰链，该保护铰链安装在吸盘支架10上的固定卡扣15上，在晶体被搬运时配合晶体固定托使用，防止任何因真空丢失产生的晶体坠落。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种专用于圆柱形晶体搬运的摆臂式真空吸吊机，其特征在于，包括立体柱、水平摆臂滑轨、提升伸缩管、真空鼓风机及真空吸盘；水平摆臂滑轨通过旋转接头固定在立体柱上，并且能够围绕立体柱旋转180°；水平摆臂滑轨上设有滑块，提升伸缩管安装在滑块上，真空吸盘固定在提升伸缩管底部；真空鼓风机通过导气管与提升伸缩管连接，控制提升伸缩管内的真空压力，实现真空吸盘竖直方向的升降。

【技术特征摘要】
1.一种专用于圆柱形晶体搬运的摆臂式真空吸吊机，其特征在于，包括立
体柱、水平摆臂滑轨、提升伸缩管、真空鼓风机及真空吸盘；水平摆臂滑轨通
过旋转接头固定在立体柱上，并且能够围绕立体柱旋转180°；水平摆臂滑轨上
设有滑块，提升伸缩管安装在滑块上，真空吸盘固定在提升伸缩管底部；真空
鼓风机通过导气管与提升伸缩管连接，控制提升伸缩管内的真空压力，实现真
空吸盘竖直方向的升降。
2.根据权利要求1所述的专用于圆柱形晶体搬运的摆臂式真空吸吊机，其
特征在于，所述真空鼓风机与提升伸缩管之间连接有缓冲罐及真空过滤器。
3.根据权利要求1所述的专用于圆柱形晶体搬运的摆臂式真空吸吊机，其
特征在于，所述提升伸缩管上设有控制单元，该控制单元包括旋转式调节阀、
压力显示表及手刹式真空破坏阀；所述旋转式调...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏冰，赵晨光，安瑞阳，刘克雷，李兆进，鲁进军，
申请(专利权)人：有研半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11