【技术实现步骤摘要】
一种区熔硅单晶的收尾方法
本专利技术涉及一种区熔硅单晶的收尾方法,属于半导体工艺
技术介绍
区熔硅单晶生产过程中一般分为化料、引晶、缩颈、放肩、转肩、收尾几个过程,其中收尾是为了减少位错产生,收尾时断棱产生位错会扩展到晶体等径部分,影响单晶收率,特别是大直径区熔硅单晶,收尾容易断棱,而且原料消耗占比达到10%以上。单晶稳定生长需要稳定的V/G比,其中V是单晶拉速,单位mm/min,G是温度梯度,单位K/mm,保证V/G在一个合理稳定的范围内是保证单晶稳定生长的基础。区熔硅单晶常规收尾方法是当多晶尾料剩余10kg左右时,开始缓慢降低加热功率、给料速度及晶体拉速,保持稳定的V/G比,使单晶直径缓慢变小,这个过程必须保持单晶状态,否则将会产生位错,导致收尾失败,不但造成尾料损失,位错还会扩展到单晶部分的大约同等直径长度,严重时损失可达25kg以上,影响收率20%左右。由于大直径区熔硅单晶工艺原因,温度梯度较大,大直径单晶收尾失败比例较高,可达60%以上,严重影响单晶收率。因此,大直径区熔硅单晶收尾很有必要另寻捷径,提高收尾成功率及单晶收率。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种区熔硅单晶的收尾方法,以获得无位错单晶,减少原料损耗,提高单晶收率。为实现上述目的,本专利技术采用以下技术方案:一种区熔硅单晶的收尾方法,包括以下步骤:(1)当多晶尾料剩余10kg时,继续保持等径生长,直至多晶尾料剩余2kg时,均匀降低多晶尾料速度直至多晶尾料速度归零 ...
【技术保护点】
1.一种区熔硅单晶的收尾方法,其特征在于,包括以下步骤:/n(1)当多晶尾料剩余10kg时,继续保持等径生长,直至多晶尾料剩余2kg时,均匀降低多晶尾料速度直至多晶尾料速度归零后快速提断,晶体拉速和加热功率保持不变,此过程单晶直径将缓慢减小;/n(2)当多晶尾料提断后,保持多晶尾料向提拉的方向移动,开启自动程序控制加热功率曲线和晶体拉速曲线,功率曲线先均匀快速地下降至初始功率值的75%-85%,再缓慢均匀增加,最高不超过初始功率值;晶体拉速匀速降低至0,直至单晶熔体完全结晶后停炉冷却即可。/n
【技术特征摘要】
1.一种区熔硅单晶的收尾方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)当多晶尾料剩余10kg时,继续保持等径生长,直至多晶尾料剩余2kg时,均匀降低多晶尾料速度直至多晶尾料速度归零后快速提断,晶体拉速和加热功率保持不变,此过程单晶直径将缓慢减小;
(2)当多晶尾料提断后,保持多晶尾料向提拉的方向移动,开启自动程序控制加热功率曲线和晶体拉速曲线,功率曲线先均匀快速地下降至初始功率值的75%-85%,再缓慢均匀增加,最高不超过初始功率值;晶体拉速...
【专利技术属性】
技术研发人员:尚锐刚,王永涛,白杜鹃,刘建涛,崔彬,闫志瑞,高源,李明飞,聂飞,
申请(专利权)人:有研半导体材料有限公司,
类型:发明
国别省市:北京;11
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