搬运设备制造技术

提供一种可避免尘埃随搬运的进行侵入搬运容器内部的搬运设备。作为搬运对象的搬运容器（２）具有形成物品容纳用开口部的容器本体（２ａ）以及关闭开口部的盖体，当关闭开口部时，其内部空间处于密闭状态。搬运设备包括：支持支持部（５）的悬挂支持状态下一边升降操作搬运容器（２）一边进行搬运的升降装置（２０）以及用来移动升降装置（２０）的移动体（８Ａ），和托住并支持被悬挂支持的搬运容器（２）的底面（２ｃ）、可在托住并保持该搬运容器（２）的载荷的保持状态和从该搬运容器（２）的底面（２ｃ）避开的退避状态自由切换的托住装置（２１）。在托住装置（２１）切换到保持状态时，升降装置（２０）对支持部（５）的支持力减小或为零。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及搬运设备，这种搬运设备配有用来升降物品的升降装置及移动该升降装置的移动体。更具体地说，被搬运的搬运容器具有形成物品容纳用开口部并且上部设置有悬挂支持用的支持部的容器本体以及关闭该容器本体的开口部使其处于密闭状态的盖体，而且当用上述盖体关闭上述开口部时，上述容器本体的内部空间处于密闭状态。并且涉及搬运设备，该搬运设备包括在支持该搬运容器的支持部的悬挂支持状态下进行搬运容器的升降的升降装置以及使上述升降装置移动的移动体。
技术介绍
上述构成的搬运设备，例如将半导体基板之类的易受尘埃等恶劣影响的物品容纳在搬运容器内，从而可在不受尘埃影响的状态下进行搬运，该搬运设备用于制造设备，该制造设备相对用于制造半导体基板等的进行各种制造用处理的多个处理装置，顺次搬运容器，并对物品进行给定处理。并且在这样的制造设备中，将搬运容器载置在上述处理装置的物品搬出、搬入场所的载置面上的状态下进行放置。搬运搬运容器时，悬挂并支持容器本体的上部所形成的支持部，使搬运容器升降，在必要的情况下，沿水平方向进行搬运。在这样的搬运设备中，按照以往技术，在搬运该搬运容器时，开始搬运之后到搬运结束，悬挂并支持容器本体的上部所形成的支持部的状态一直持续着(参照例如特开平9-77455号公报)。在上述以往构成中，在搬运途中，有例如搬运容器沿上下方向振动的情况。但是，由于搬运容器处在由把持部悬挂并支持上部所形成的支持部的状态，所以，随着上述搬运的进行，会引起上下振动，导致容纳在容器本体内部的物品载荷产生动态作用。因此，搬运容器产生挠曲变形，使容器本体的内部空间的容积变大，外部空气有可能从盖体与容器本体的密封部分侵入容器本体的内部空间。用于容纳半导体基板等的物品的搬运容器大多情况下由合成树脂构成，如果是这样的合成树脂材料，随着搬运的进行所产生的上下振动，会导致容器本体变形，因此，容器本体的内部空间的容积就会变大，外部空气侵入，有可能受到物品质量下降等恶劣影响。本专利技术的说明本专利技术就是为了解决这些问题而提出的，其目的是，提供一种可以避免外部空气随着搬运的进行侵入搬运容器的内部空间的搬运设备。根据本专利技术，搬运搬运容器时，托住装置被切换到保持状态。因此，托住装置承接由升降装置悬挂支持的搬运容器的底面，托住并保持搬运容器的载荷。由此，升降装置对支持部的支持力减小或为零。于是，例如，即使搬运容器随着搬运产生上下方向的振动，也可以抑制容器本体的变形或消除这种变形，避免外部空气侵入容器本体的内部空间。因此，可以提供能避免外部空气随着搬运的进行侵入搬运容器的内部的搬运设备。附图的简要说明图1是搬运设备的平面图。图2是搬运设备的透视图。图3是搬运容器的示意图。图4是表示搬运状态的侧视图。图5是表示搬运车构成的侧视图。图6是表示升降操作机构的平面图。图7是表示搬运车构成的纵断面正面图。图8是表示托住保持部构成的平面图。图9是表示搬运状态的正面图。图10是表示其他实施形式的托住装置的示意图。专利技术的实施形式以下，参照附图说明本专利技术的搬运设备。图1示出了用于制造半导体基板的制造用设备的一部分。该设备设置在尘埃少的净化室内空间内。该设备上设置有对半导体基板的制造过程中的半成品等物品进行给定处理的多个物品处理装置A、相对这些物品处理装置的容器接受位置H搬运上述物品的搬运设备B。上述物品处理装置A以沿着搬运设备B的物品搬运方向(参照箭头)排列的状态设置多个。通过图示可以看出，一列物品处理装置A与另一列物品处理装置A对峙。由于这些都是公知的，因此不再详述，但是，这些多个的上述物品处理装置A，要顺次进行用于制造半导体基板的化学的多种处理。下文参照图1及图2，说明上述搬运设备B的构成。作为处理对象物品的半导体基板1，以设定枚数置于搬运容器2内。搬运容器2被搬运到多个物品处理装置A的各个容器接受场所H。在多个物品处理装置A的各个容器接受场所H，设置有容器接受用设置台3。利用该搬运设备，将搬运容器2置于容器接受用设置台3上。上述搬运容器2由合成树脂材料形成，并且如图3所示，由容器本体2a和盖体2b构成，容器本体2a备有用于容纳半导体基板1的在横侧部开口的开口部4，盖体2用于关闭该开口部4，使其处于密闭状态。容器本体2a的上部形成有凸缘5，该凸缘5具有借助后述的把持部悬挂的作为支持部的功能。该搬运容器2通过盖体2b关闭上述开口部4时，使容器本体2a的内部空间成为密闭状态，外部的污染空气不会从间隙侵入到内部。下面，说明用于搬运该搬运容器2的设备。如图4所示，搬运车8沿着导轨7行走，该导轨7通过托架6相对顶壁固定。该搬运车8备有作为移动体的一个例子的、配置在导轨7内侧空间的行走车体8A以及相对该行走车体8A连接的位于导轨7下方的搬运作用部8B。该行走车体8A通过线性马达驱动，该线性马达用于产生使行走车体8A沿导轨7行走的行走推力。搬运作用部8B通过前后配置的连接杆9、10相对于该行走车体8A连接。从图7所示的导轨7的断面可以理解，导轨7具有整体沿上下方向延伸、并隔开间隔的左右一对脚部。在该左右脚部之间形成内部空间。脚部的下端形成有用于支持设置在搬运车8上的行走轮13的行走导向面14。除此之外，在脚部上还形成有相对振动限制轮15接触的振动限制导向面16。上述行走车体8A通过线性马达LM得到搬运车8的行走推力。该线性马达LM如图7所示，由装配在导轨7内部空间的磁铁11及与该磁铁11邻接并对峙的装配在搬运车8上的一次线圈12构成。另外，图中，17是装配在导轨7一侧的供电电线，18是装配在搬运车8一侧的受电线圈。借助于交流电流的通电，在供电电线17上产生磁场，通过该磁场，在受电线圈18中产生搬运车8一侧所需要的电力，由此，在无接触状态下进行供电。上述搬运作用部8B具有通过前后连杆9、10相对行走车体8A连接的框体19。在该框体19上支持有升降操作部20，该升降操作部20把持上述凸缘5，可在悬挂支持状态下一边升降操作搬运容器2，一边进行搬运。此外，搬运作用部8B还具有作为托住装置的托住保持部21，该托住保持部21托住并支持由升降操作部20悬挂支持的搬运容器2的底面2c，并在托住并保持该搬运容器2的载荷的保持状态和从该搬运容器2的底面2c避开的退避状态自由地进行切换。更详细地说，升降操作部20具有相对行走车体8A可自由升降操作的升降体23，而且还包括由该升降体23支持的、在把持搬运容器2的凸缘5的作用状态和解除该把持的解除状态之间自由切换的把持部22。该升降体23通过设置在框体19上的升降操作机构24沿上下方向自由升降操作地支持着。该升降操作部20和升降操作机构24形成升降装置。如图6及图7所示，该升降操作机构24具有旋转滚筒25，旋转滚筒25在滚筒驱动用马达M1的作用下，围绕上下方向的轴心旋转。该旋转滚筒25可同时卷绕或抽出4根钢丝索26。通过旋转滚筒25的正反旋转，可一边维持由4根钢丝索26悬挂支持的上述升降体23大致为水平姿势，一边进行操作。升降操作机构24不一定非得配置该旋转滚筒25，也可以利用由单独的马达卷绕各钢丝索26的结构。通过图5及图7所示的结构，可以理解，上述把持部22，可在把持动作用马达M2通过连杆机构27沿相互接近的方向摆动一对把持部件28、由此把持住凸缘5的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种搬运设备，以搬运容器（２）作为搬运对象，所述搬运容器（２）具有形成物品容纳用开口部（４）并且上部设置有悬挂支持用的支持部（５）的容器本体（２ａ）以及关闭该容器本体（２ａ）的开口部（４）使其处于密闭状态的盖体（２ｂ），而且当所述盖体（２ｂ）关闭所述开口部（４）时，所述容器本体（２ａ）的内部空间处于密闭状态，所述搬运设备包括：在所述支持支持部（５）悬挂的状态下进行所述搬运容器（２）的升降的升降装置（２０、２４）以及进行所述升降装置（２０、２４）的移动的移动体（８Ａ），其特征是， 还包括托住装置（２１），该托住装置（２１）可在通过与所述搬运容器的底面（２ｃ）接触、承受所述搬运容器（２）的载荷的可保持状态和从该搬运容器的底面（２ｃ）避开的退避状态之间进行切换，由此，当所述托住装置（２１）切换到所述保持状态时，所述升降装置（２０、２４）对所述支持部（５）的支持力减小或为零。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：饭塚雪夫，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：JP[日本]