一种半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉制造技术

本实用新型专利技术公开一种半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，包括设置于炉体的一侧的炉门，炉体内部设置有台车，台车与炉门固定连接，台车的底部具有滚轮，台车外部连接有电机。炉体具有与炉门相对的炉体底部，所述炉门上和炉体底部上设置有进风口，所述炉体的中部的上方和下方分别设置有出风口。所述炉门、炉门底部、所述炉体的上表面、下表面、前表面、后表面分别设置有加热器，每个方位的加热器单独连接温控仪。本实用新型专利技术解决了大口径石英管装料困难的问题，使装卸、进出炉的安全性和可操作性显著提高，并使劳动强度和风险大幅度下降，可一次性地完成进出炉过程，避免多次周转的问题，不需要频繁地周转料架，使其操作过程更加快捷、使用寿命更长。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开一种半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，包括设置于炉体的一侧的炉门，炉体内部设置有台车，台车与炉门固定连接，台车的底部具有滚轮，台车外部连接有电机。炉体具有与炉门相对的炉体底部，所述炉门上和炉体底部上设置有进风口，所述炉体的中部的上方和下方分别设置有出风口。所述炉门、炉门底部、所述炉体的上表面、下表面、前表面、后表面分别设置有加热器，每个方位的加热器单独连接温控仪。本技术解决了大口径石英管装料困难的问题，使装卸、进出炉的安全性和可操作性显著提高，并使劳动强度和风险大幅度下降，可一次性地完成进出炉过程，避免多次周转的问题，不需要频繁地周转料架，使其操作过程更加快捷、使用寿命更长。【专利说明】一种半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉
本技术涉及一种真空脱羟炉，具体涉及一种半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉。
技术介绍
传统半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉的结构如图1所示，半导体石英玻璃制品在进出炉时，需要先松开锁紧装置后打开炉门，然后用叉车将装料装置的料盘从炉体中拉出来。并且，采用上述真空脱羟炉在冷却时，如图2所示，炉体的上表面是进风口，下表面是出风口，风向从上向下在管材表面流动，从外部四周向中心逐渐冷却，使冷却温度不均匀，造成制备的管材缺陷较多，同时容易使辅材氧化，设备生产效率非常低。因此，针对目前传统的真空脱羟炉其主要存在装料困难、安全隐患大、劳动强度大、设备效率低、产量低、生产成本高等问题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，解决了传统真空脱羟炉使用过程中针对大口径石英管装料困难的问题，可以一次性地完成进出炉过程，避免了现有技术中多次周转问题。本技术提供一种半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，包括炉门，所述炉门设置于炉体的一侧，所述炉体内部设置有台车，所述台车与炉门固定连接，所述台车的底部具有滚轮，所述台车外连有电机。所述炉门还连接有气动装置。所述炉体具有与炉门相对的炉体底部，所述炉门上设置有第一进风口，炉体底部上设置有第二进风口，所述炉体的中部的上方设置有第一出风口，所述炉体的中部的下方设置有第二出风口。所述第一进风口连接第一风冷机构，所述第二进风口连接第二风冷机构，所述第一出风口和第二出风口均连接第一风冷机构，且所述第一出风口和第二出风口均连接第二风冷机构。所述第一风冷机构通过第一换热器与第一进风口连接；所述第一风冷机构通过第二换热器分别与第一出风口、第二出风口连接；所述第二风冷机构通过第三换热器与第二进风口连接，所述第二风冷机构通过第四换热器分别与第一出风口、第二出风口连接。所述炉门上设置有第一加热器，炉门底部上设置有第二加热器，所述炉体的上表面、下表面、前表面、后表面分别设置有第三加热器、第四加热器、第五加热器、第六加热器。所述第一加热器连接第一温控仪；所述第二加热器连接第二温控仪；所述第三加热器连接第三温控仪；所述第四加热器连接第四温控仪；所述第五加热器连接第五温控仪；所述第六加热器连接第六温控仪。 所述第一风冷机构和第二风冷机构交替循环使用。所述半导体石英玻璃制品为半导体石英玻璃管或半导体石英玻璃棒。本技术具有的优点在于:本技术提供一种半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，解决了传统真空脱羟炉使用过程中针对大口径石英管装料困难的问题，使大口径石英玻璃制品装卸、进出炉的安全性和可操作性显著提高，并使劳动强度和风险大幅度下降，可以一次性地完成进出炉过程，避免了现有技术中多次周转的问题，不需要频繁地周转料架，使其操作过程更加快捷、使用寿命更长。本技术提供的半真空脱羟炉的冷却方式相对于传统技术有所改变，不仅提高了设备的生产效率和产量，而且还降低了生产成本，改善了生产产品的质量。【专利附图】【附图说明】图1为传统真空脱羟炉的结构示意图；图2为传统真空脱羟炉的冷却示意图；图3为本技术提供的真空脱羟炉的结构示意图；图4为本技术提供的真空脱羟炉的冷却示意图。图中:1-炉门；2_炉体；3-台车；4-第一风冷机构；5_第二风冷机构；6_第一换热器；7_第二换热器；8_第三换热器；9_第四换热器；10_第一进风口；11-第二进风口 ；12-第一出风口 ；13_第二出风口。【具体实施方式】下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本技术的限定。本技术提供一种半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，如图3所示，与现有真空脱羟炉的区别为将原有的固定式炉床改为移动式炉床，具体为，炉体2的一侧具有炉门1，该炉门I为对应现有保真空脱羟炉中前炉门的结构，而对应不再具有后炉门，对应位置与炉体2成型于一体，而形成为炉体底部。同时在炉体2中还设置有台车3，脱羟用的装料装置设置于该台车3上。所述台车3的底部具有滑动、拖拉用的滚轮，以便于台车3前后移动。所述台车3相对于炉门I的一侧与所述炉门内壁连接，即焊接固定于一体，且台车3还外连有电机。这样，所述炉门I通过气动装置松开锁紧装置而打开后，通过外连的电机驱动，可以直接驱动炉门I向外滑动，这样就将可以直接通过台车将装料装置从炉体中拉出来，以便于装料或卸料。所述台车3与炉门I 一体化形成L型结构，可以使真空脱羟炉的载料方式不同，不需要频繁的周转料架，可以大量节约拉动力，降低劳动成本，具有方便、安全、快捷等优点，并解决了大口径石英管装卸不方便、周转风险大、周转困难等问题，同时优化了炉体结构，提高了设备性能，降低了操作风险。另外本技术中真空脱羟炉所采用的冷却方式也发生改变，与现有技术中的冷却方式所产生的冷却效果明显不同，使真空脱羟过程的温度均匀性更加可靠。如图3所示，本技术中一改传统真空脱羟炉冷却方式，采用两套交替使用的循环冷却系统进行循环冷却，具体为:在炉门I位置、炉体底部(原后炉门位置)分别设置第一进风口 10、第二进风口 11，对应炉体2中部的上方、下方设置第一出风口 12、第二出风口 13，这样从炉门I或炉体底部的进风口吹入进入冷风，而从炉体中部的上方和下方的出风口出风，形成循环的冷却路径。两侧的第一进风口 10、第二进风口 11分别通过第一换热器6、第三换热器8连接第一风冷机构4、第二风冷机构5，第一出风口 12、第二出风口 13分别通过第二换热器7连接第一风冷机构4，第一出风口 12、第二出风口 13还分别通过第四换热器9连接第二风冷机构5，进而通过两套风冷机构分别形成两套循环冷却系统。两套系统间隔工作一般间隔时间为30?60分钟左右，对应的风冷机构可以采用25-30KW的风机。采用该循环冷却系统可以使整个炉体内部的石英玻璃制品的降温速度更快，将原有上下表面循环冷却改变为前后管径方向冷却，从管的一端吹向另一端。当冷却时，首先气动一套冷却系统，打开第一进风口 10和第一出风口 12、第二出风口 13，开启对应的第一风冷机构4的风机；冷却一段时间后，停止第一风冷机构4，开启另一套冷却系统，对应打开第二进风口 11和第一出风口12、第二出风口 13，开启对应的第二风冷机构5的风机进行冷却，就这样，两套冷却系统交替实用。对于空心的玻璃管，沿着管材管径空穴风向前后方向吹，双向交替循环冷却，风从第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，其特征在于，包括炉门，所述炉门设置于炉体的一侧，所述炉体内部设置有台车，所述台车与炉门固定连接，所述台车的底部具有滚轮，所述台车外连有电机。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈士斌，周明强，宁井班，刘明伟，徐同根，
申请(专利权)人：江苏太平洋石英股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32