节能消音器配件、具有节能消音器配件的半导体制造真空泵、以及加热氮气的方法技术

本发明专利技术涉及一种节能消音器配件，一种具有该节能消音器配件的半导体制造真空泵，以及一种加热氮气的方法。氮气被一消音器的表面的高温加热并被供应至该消音器的内部，以便解决因为反应副产品固化所产生的阻塞问题并节省使用额外热源的能源成本。本发明专利技术的上述节能消音器配件包括：一连接至一泵区段的一排气侧的消音器，其将反应副产品气体打入一真空泵，以便使该打入的反应副产品气体通过一后端部分至一前端部分；一以一间隔围绕该消音器的外围表面的外管，以便提供一介于该消音器与该外管之间的加热空间；用以将氮气供应至该加热空间的氮气供应区段；以及一氮气注入区段，用以将在该加热空间与该消音器的外围表面接触而被加热的氮气注入该消音器的内部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：李承龙，
申请(专利权)人：赞解株式会社，
类型：
国别省市：