【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于在半导体制造过程中监测泵的操作的计算机系统，包括：建立用于流体泵的基线型面的装置，其中，在所述流体泵的操作过程中，通过测量在一个或多个点处的参数而产生所述基线型面；在所述流体泵的随后操作过程中，通过测量在一个或多个点处的所述参数而产生与流体泵的参数相对应的操作型面的装置；以及确定至少一个拟合优度测量的值的装置，以便确定所述基线型面能多好地预测所述操作型面。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：G·贡内拉，J·塞德罗恩，P·马贡，
申请(专利权)人：恩特格里公司，
类型：发明
国别省市：
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